【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価な原料によって耐薬品性、親水性を確保することのできる耐液保護膜を有した液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔１１と、それぞれのノズル孔１１に連通する複数の吐出室２１と、各吐出室２１に連通され吐出室２１に液体を供給する共通液滴室２３と、吐出室２１の壁面に形成された振動板６と、振動板６に対向配置された対向電極５とを備え、複数の基板１、２、３を積層してなる液滴吐出ヘッド１０であって、前記基板１、２、３の液体と接触する面に、窒素を導入したダイアモンドライクカーボン膜からなる親水性の耐液保護膜１５、１８が形成されたものである。この耐液保護膜１５、１８は、単層構造であってもよく、複数層構造であってもよい。 （もっと読む）

【課題】剛性及び液滴吐出速度に優れ、しかもインク吐出量を充分に確保することができ、製造に際しては工程数を削減することができるシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、液滴を吐出するためのノズル孔１１を複数有し、各ノズル孔１１はそれぞれ複数の筒状部１１ａ〜１１ｉから構成され、各筒状部１１ａ〜１１ｉの軸方向に垂直な断面積が上面から底面まで一定である。そして、軸方向に垂直な断面形状および断面積がそれぞれ同じである。筒状部１１ａ〜１１ｉは、それぞれの径が１０〜４０μｍであり、長さが３０〜１００μｍである。筒状部１１ａ〜１１ｉは円筒形であって、中心部とその同心円上に配設することができる。また、多角筒形であって、中心部とその同心上に配設するようにしてもよく、断面を正六角形状とし、ハニカム構造状に配置してもよい。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造にすることなく、インクのカラー化及びチップサイズの小型化を両立させるとともに、リザーバ間の隔壁の剛性を確保した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、ノズル列１５が形成されたノズル基板１と、底壁が振動板３２となる複数の圧力室３１が形成されたキャビティ基板３と、複数の圧力室３１の所定個数毎に液体を供給する開口形成された複数のリザーバ２１、ノズル連通穴２４、及び、リザーバ２１の開口部外周の一部を圧力室３１方向に延設させてリザーバ２１と圧力室３１とを連通させる供給口２２が形成されたリザーバ基板２と、振動板３１を駆動する個別電極４２が凹部４５内に形成された電極基板４と、を備え、供給口２２は、リザーバ基板２の開口部の形成面に所定の深さの凹部により構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、振動板の変位を抑制することなく振動板の変位量を効率的に増大できる変位アクチュエータ、この変位アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係る変位アクチュエータ２５においては、圧電体（能動素子）２а、２ｂを、振動板短辺方向の変位断面において、振動板１の各端２３а、２３ｂから直近の変曲点２１а、２１ｂまでの領域内及び振動板の変曲点２１аからこれに相隣る他の変曲点２１ｂまでの領域内の少なくとも一方の領域内に設けている。 （もっと読む）

【課題】より高密度、高解像度で、高耐久かつ低コストの回路基板を実現する。
【解決手段】抵抗体１６上に所定の間隔をおいて対向する一対の電極を抵抗体に接して設け、抵抗層のこれらの電極間に位置する部分を抵抗部とした発熱素子の複数と、各発熱素子の有する一対の電極間に通電するための第一及び第二の配線層１２，１５と、を有する回路が基板１０上に設けられた回路基板において、基板はSi基板、第一の配線層は少なくともSiを含む金属材料からなり、第一の配線層は基板と電気的に接続され、第二の配線層は第一の配線層の上層に、Si拡散を防止する金属膜１４を介して設けられ、第二の配線層の上層に抵抗体を有する。 （もっと読む）

【課題】封止剤としてダイアモンドライクカーボンを適切に使用することにより、プロセス適応性に優れ、優れた気密性を有する静電アクチュエータおよび小型化が可能な液滴吐出ヘッド、それらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】固定電極（個別電極５）が形成された第１の基板（電極基板１）と、この第１の基板に接合され、固定電極に対して所定のギャップ９を介して対向配置される可動電極（振動板６）が形成された第２の基板（キャビティ基板２）と、固定電極と可動電極との間に静電気力を発生させて可動電極に変位を生じさせる駆動手段４０と、固定電極と可動電極との間に形成されるギャップの外部連通口部分９ａを封止剤として無機材料を用いて気密に封止する封止部１５とを備えた静電アクチュエータにおいて、封止部１５がダイアモンドライクカーボン膜で形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングを行うエッチング溶液が、封止したリザーバ部の開口部から漏れてしまい、リザーバ形成基板に形成された接続配線を損傷し、断線などに至る場合がある。
【解決手段】第１流路としてのリザーバ部３１が形成された第１基板としてのリザーバ形成基板用ウェハ１３０と、リザーバ形成基板用ウェハ１３０の一方側に接合され、第２流路としての連通部１３が形成された第２基板としての流路形成基板用ウェハ１１０と、リザーバ部３１と連通部１３とを区切る分離層としての金属層９２と、を備えた基板群を準備する準備工程と、リザーバ形成基板用ウェハ１３０の流路形成基板用ウェハ１１０と反対側に、粘着層によって封止膜としてのフィルム１を粘着し、リザーバ部３１を封止する封止工程と、封止工程の後に、金属層９２を除去する除去工程と、を含み、除去工程では、リザーバ部３１の圧力が外部の圧力より低い状態で行う。 （もっと読む）

【課題】静電型アクチュエータの大気開放孔（疎水剤導入孔）の封止性が完全でない場合でも、空隙内の疎水剤濃度の経時的な低下を防止して耐久性劣化を防止する。
【解決手段】振動板２０と固定電極１３ａの空隙側１５ａの表面に疎水膜を形成し、空隙１５ａ中に疎水基を有する疎水剤の蒸気を封入するとともに、空隙１５ａを連通する連通路５３に接して液体の疎水剤を保持する疎水剤保持部５２を設け、空隙１５ａ内における疎水剤の蒸気の封止が僅かに不完全であっても液体の疎水剤を保持した疎水剤保持部５２より疎水剤の蒸気が供給されて、空隙１５ａ内の疎水剤濃度の低下を防止して静電型アクチュエータの耐久性が劣化することを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】供給口の内壁面に形成された保護層の剥離を抑え、かつ、インクが基板にまで容易に浸透するのを防ぐ。
【解決手段】インクを吐出する吐出口１１と、吐出口１１に連通するインク流路１９と、吐出口１１からインクを吐出させるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子１３及び吐出エネルギ発生素子１３を駆動するための複数の機能層が積層されてなる駆動回路を有するシリコン基板１０と、シリコン基板１０及び複数の機能層を貫通して設けられインク流路１９にインクを供給するための供給口３と、供給口３の内壁面を覆って形成された保護層２ａと、を備える。複数の機能層の間、又は機能層とシリコン基板１０との間に、保護層２ａの一部が挟まれ、かつ、一部に穴が形成され、この穴の内側で、保護層２ａを間に挟む複数の機能層同士、又は機能層とシリコン基板１０とが接触される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の圧電特性を向上することができる圧電素子の製造方法、圧電特性が向上された圧電素子、及び圧電特性が向上された圧電素子を用いた液滴吐出装置の製造方法、を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板１２上に下部電極膜１４を形成し（ステップ１００）、ＰＺＴのアモルファス層を形成し（ステップ１０２）、アモルファス層の上にＰｂＯ膜１８をスパッタ法で成膜して形成し（ステップ１０４）、その後、大気中でアニール処理してアモルファス層の結晶化処理を行い圧電体層１６を形成し（ステップ１０６）、圧電体層１６の上に上部電極膜２０を形成する（ステップ１０８）。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生しない液体噴射ヘッド及びその製造方法、並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通し隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された流路形成基板と、当該流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室１２に相対する領域に設けられた圧電素子３００と、前記圧電素子３００へ前記圧電素子３００を駆動するための信号を送出する駆動回路を備え、前記隔壁１１の前記圧電素子３００が形成される側の面に形成された溝１８０の内壁に電子素子形成層１８が形成されると共に、当該電子素子形成層１８で溝部１７が構成されており、前記電子素子形成層１８により形成された電子素子が前記駆動回路に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属板の材質が柔らかであっても打ち込んだパンチの周りに隆起部が生じてノズル開口の形状が変形することのないノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板３１の一方の面に酸化膜３７を形成する酸化膜形成工程と、酸化膜側から金属板側にパンチ３６の挿入突部３６´を打ち込んで、パンチの打ち込みに伴って挿入突部により酸化膜を金属板の板厚の内部まで引き込みながら凹部４０を形成する凹部形成工程と、凹部形成工程でパンチを打ち込んだ面とは反対側の面を研削して底部を除去することで、前記凹部を一連の貫通孔に貫通させてノズル開口とする貫通孔形成工程と、
を含む。 （もっと読む）

【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００の製造方法であって、基板１の表面に圧力発生室となる溝部５１を形成する工程と、溝部５１の底面にノズル開口部となる溝部５２を形成する工程と、溝部５１、５２に犠牲膜５３を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜５３及び基板１の表面上に振動膜２０を形成する工程と、振動膜２０上に圧電素子３０を形成する工程と、基板１の裏面を研削して溝部５２の底面を開口させる工程と、基板１の表面側から犠牲膜５３を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜５３をエッチングし除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表面側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０をエッチングして犠牲膜を底面とする貫通孔ｈを形成する工程と、基板１を裏面側からエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、流路形成膜１０をエッチングしてノズル開口部２２を形成する工程と、リザーバ５及び貫通孔ｈを介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成して貫通孔ｈを塞ぐ工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大気導入部と連通部を連通する部分を塞ぐような異物が付着しても、アクチュエータ空隙に疎水膜となるガス、液体を滞りなく導入して静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくする。
【解決手段】振動板１２と固定電極１４との間の空隙１３の耐久性を向上させるために、空隙１３に通じた連通路１５に通ずる大気導入孔からガス等を導入するが、大気開放部１６の固定電極１４を有する基板側に大気開放部溝４５を設け、製造工程において大気開放孔４２から大気開放部１６に異物が入り込んでも大気開放部１６に設けた大気開放部溝４５を介して空隙１３にガス等を導入することができ、静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくするとともに精度を高める。 （もっと読む）

【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ドライバ回路３を有する基板１の表側に流路形成膜１０を形成する工程と、流路形成膜１０に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜１０上に振動膜３０を形成する工程と、振動膜３０上に圧電素子５０を形成する工程と、基板１を裏面側から犠牲膜が露出するまでエッチングしてリザーバ５を形成する工程と、リザーバ５を介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、流路形成膜１０にノズル開口部２２を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電膜等のパターニングに有効であり、パターン形状精度が良好で、パターニングが容易で低コストな新規な無機膜のパターニング技術を提供する。
【解決手段】無機膜３０は、単数又は複数の凸部３１からなる所定パターンを有する膜であり、表面酸化レベルが低い低酸化部２１と表面酸化レベルが高い高酸化部２２とを有する金属膜２０を下地として形成され、単数又は複数の凸部３１が低酸化部２１上にパターン形成されたものである。無機膜３０は、低酸化部２１と高酸化部２２とを有する金属膜２０上にベタ無機膜３０Ｘを成膜した後、ベタ無機膜３０Ｘの高酸化部２２上に位置する部分を除去して、製造することができる。 （もっと読む）

【課題】特殊なエッチング液等を用いることなく、μｍオーダーの膜に対しても高精度且つ容易にパターニングが可能な積層構造体を提供する。
【解決手段】積層構造体は、基板１０と、基板１０上に成膜された、潮解性を有する無機物を主成分とする分離層３０と、分離層３０上に成膜された、機能性膜４２を含む被剥離層４０とレジストによるマスク５０とを備え、分離層３０が、被剥離層４０の表面に水を接触させることにより、非パターン部分の被剥離層４０と基板１０との接合強度を低下させて、被剥離層４０を基板１０から剥離させるものである。機能性膜４２としては、圧電体膜、焦電体膜、強誘電体膜、超伝導体膜、磁性体膜、半導体膜、導電体膜、絶縁体膜、誘電体膜、イオン交換膜、光学機能性膜等が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法などのエピタキシャル成長法或いは配向成長法よって成膜された圧電体膜の変位量及び変位方向の制御を可能とする圧電アクチュエータの駆動方法及び液体吐出ヘッドの駆動方法を提供する。
【解決手段】振動板２５６にスパッタ法で（１１１）に優先配向させて成膜された圧電体膜２０を有する圧電素子２３が接合された圧電アクチュエータに、上部電極２５７Ｂをアドレス電極、下部電極２５７Ａをグランド電極として上部電極２５７Ｂに抗電界以上のプラス電圧を有する駆動信号を印加して駆動すと、振動板２５６が圧力室２５２の内側に変形して、ノズル２５１から液体が吐出される。分極方向と反対方向に電界を印加して駆動しても、分極方向と同じ方向に電界を印加して駆動した場合と比べて変位量の減少や変位方向の反転がなく、好ましい液体吐出が実現される。 （もっと読む）