【課題】高精度が求められる難しい工程を必要とせずに初期変形をなくし、必要量のインクを吐出することができるインクジェットヘッドを提供することである。
【解決手段】圧力室１９の側壁となる基板１０と、圧力室１９の上壁となる振動板とを有し、該振動板の変形動作により圧力室１９内のインクを吐出させるインクジェットヘッド２３において、振動板は、下から順に、弾性層２０、拡散防止層１０ａ、下電極密着層１３、下電極１４、圧電層１５、上電極密着層１７、上電極１８が積層されてなり、弾性層２０は、圧力室１９内の拡散防止層１０ａの下に形成され、拡散防止層１０ａより厚く、その残留応力は拡散防止層１０ａの残留応力より小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】可動電極である振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の酸化絶縁膜あるいはＤＬＣ膜である水素化アモルファスカーボン膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター等を提供する。
【解決手段】基板上に形成された固定電極となる個別電極５と、個別電極５に対して所定の間隔で対向配置し、個別電極５との間に発生した静電気力で変位する可動電極となる振動板６を備える静電アクチュエーター４において、振動板６と個別電極５との少なくとも一方に、水素化アモルファスカーボン膜８を形成し、さらに、振動板６と個別電極５との対向配置に係る密閉空間であるギャップＧを、有機系処理剤に係る雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】同一ノズルから吐出できる液滴量の幅を広くすることができ、またヘッドとして打ち分けることが可能な液滴量の種類を増やすことができる液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、それぞれのノズル孔３０に連通する複数の吐出室１０と、吐出室１０に連通して吐出室１０に液体を供給する共通液滴室１１と、吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａと、振動板Ａに対向して配置された個別電極Ｃとを備え、振動板Ａと個別電極Ｃとの間の静電力によって振動板Ａを変位させて吐出室１０の液をノズル孔３０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、各吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａ１、Ａ２は吐出室１０の幅方向ロに厚みが異なり、振動板Ａ１、Ａ２のそれぞれの厚みに対応させて個別電極Ｃ１、Ｃ２を幅方向ロに分割形成した。 （もっと読む）

【課題】陽極接合における精度向上、高歩留まりを実現することができる静電アクチュエーターの製造方法等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２を形成したシリコン基板５１に、アライメント用の凸状のＤＬＣ膜５２を形成する工程と、ガラス基板６１に溝部１１及びＤＬＣ膜５２を嵌合させるためのアライメント用凹部６２を形成し、溝部１１に振動板２２と所定の間隔で対向させて変位させるための電極部１２を形成する工程と、シリコン基板５１とガラス基板６１とを、ＤＬＣ膜５２をアライメント用凹部に嵌合させて位置合わせして陽極接合する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液との適合性に優れ、複雑な構造を必要とせず加工が容易で高精度の液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔５０を有するノズル基板５と、振動板３０が壁面の一部に形成されてノズル孔５０と連通する吐出室３２、及び吐出室３２に液を供給するリザーバ３３とを有するキャビティ基板１と、振動板３０と対向配置された個別電極４１を有する電極基板４とを備え、振動板３０と個別電極４１との間の静電力により振動板３０を変位させて吐出室３２の液をノズル孔５０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、キャビティ基板３は、第１キャビティ基材１と第２キャビティ基材２とからなり、第１キャビティ基材１はシリコン材料で形成され、第２キャビティ基材２は硼珪酸ガラス材料で形成され、電極基板４は硼珪酸ガラス材料で形成され、ノズル基板５はシリコン材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の剥離等の破壊や圧力発生素子の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、第１の層５０上に気相成膜法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、第２の層５６上に塗布液を塗布し、焼成することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、第３の層５６の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を抑制すると共に流路形成基板の破壊を抑制して耐久性を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０は、個別流路に連通する第１壁面１０Ａと、第１壁面１０Ａと相対向する第２壁面１０Ｂとを有し、第２壁面１０Ｂは積層板の端部よりもリザーバー１００側に突出して設けられ、流路形成基板１０の積層板の端部と第２壁面１０Ｂとの間には、積層金属層１９０の下地層９１が設けられており、積層金属層１９０の金属層９２は、第２壁面１０Ｂよりも突出することなく設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動板部に任意の寸法で精度良く高潤滑硬質膜を形成することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、絶縁膜１９の振動板８に対応する表面位置に高潤滑硬質膜（ＤＬＣ膜２０）を形成する工程と、絶縁膜１９及び高潤滑硬質膜を保護するエッチング保護膜２１を形成する工程と、シリコン基板３’の振動板８形成面とは反対側面からエッチングを施す工程と、含んでいる。 （もっと読む）

【課題】吐出口開口とエネルギー発生素子との距離の均一化が図られた液体吐出ヘッドを簡便に精度よく得られる製造方法を提供すること。
【解決手段】同一基板上に液体吐出ヘッドの複数を形成してから各液体吐出ヘッドを分離することによる液体吐出ヘッドの製造方法において、基板上に各液体吐出ヘッドの流路の側壁となる層と基板の周縁領域にダミー層とを設け、研磨処理により各側壁の高さを調整する際にダミー層が研磨されることで各側壁の高さの均一性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、印字品質を高めつつ、耐久性を維持できるインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッド(1)は、圧力室(19)と隔壁(12)を有する圧電体(7)と、レーザ加工されたノズル(21)を有するノズルプレート(5)と、隔壁(12)の先端にノズルプレート(5)を接着する接着剤(18)と、電極(24)を覆う第１の保護膜(32)と、第１の保護膜(32)の上に積層された第２の保護膜(33)とを備えている。接着剤(18)は圧力室(19)内に食み出す余剰部分(20)を有し、余剰部分(20)にレーザ光の照射方向に沿うカット部(22)が形成されている。第２の保護膜(33)はレーザ光が入射された部位にダメージ穴(35)を有し、ダメージ穴(35)から第１の保護膜(32)が露出されている。第１の保護膜(32)のうちダメージ穴(35)に対応する部分の膜厚が０．１μｍ〜０．５μｍ、第１の保護膜(32)の屈折率が１．１〜２．０の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】振動板の挙動を制御することが可能な静電アクチュエーターを提供する。また、この静電アクチュエーターを備えた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】可動電極となる振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される固定電極２２と、振動板４の固定電極２２との対向面に形成された絶縁膜１０と、固定電極２２の振動板４との対向面に形成された絶縁膜２３とを備え、絶縁膜１０又は絶縁膜２３のどちらか一方の一部がエレクトレット化されているものである。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られ、信頼性の高い高画質記録が可能な圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１１上に積層された振動板２０を有して、振動板２０の撓み方向に圧力を発生する圧電型アクチュエータにおいて、振動板２０を、複数のチャネルに分離された圧電体膜２４と、圧電体膜２４の両面側に積層され圧電体膜２４に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜と、一対の電極膜のうちの基板側１１の一方及び基板１１の間に設けた圧電体膜２４のチャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部１４及び各空隙部１４をはさむ隔壁１５からなる層とから構成した。 （もっと読む）

【課題】寸法精度が高い溝を容易に形成する。
【解決手段】振動板４０の圧力室２４と対向することとなる領域の搬送方向に関する両端部の外側に、走査方向に沿って延在した貫通孔４０ａを形成する（貫通孔形成工程）。振動板４０のいずれか一方の面に貫通孔４０ａを閉塞するように閉塞層７０を接合する（閉塞層形成工程）。振動板４０の上面、振動板４０の貫通孔４０ａの内壁、及び、振動板４０の貫通孔４０ａから露出した閉塞層７０の上面に跨って、薄膜６２を形成する（成膜工程）。薄膜６２の表面に、圧電材料を用いて、圧電材料の粒子を堆積させることにより圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。閉塞層７０を加熱して除去する（除去工程）。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの圧電層を保護して損傷を防止するとともに、圧電層に液体が付着することによる電極間ショートや電極材料のマイグレーションを防止することも可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、ノズル２０が開口する液滴噴射面１３ａ、及び、ノズル２０に連通する圧力室１４を含むインク流路を有する流路ユニット４と、流路ユニット４に設けられるとともに、圧力室１４と対向するように配置された圧電層３１とこの圧電層３１に設けられた個別電極３２とを有する圧電アクチュエータ５を備えている。そして、流路ユニット４の液滴噴射面１３ａには、撥液性を有する撥液膜２２が設けられる一方で、圧電アクチュエータ５の圧電層３１の表面は、撥液膜２２と同じ膜材料で形成された保護膜３８によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】孔部を有する基材の表面をムラなく均一に撥液処理を行う。
【解決手段】孔部を有する基材の表面に撥液性を付与する撥液処理方法であって、前記基材の表面及び孔部内壁面に有機膜を形成する有機膜形成工程と、前記基材の表面の有機膜上に保護部材を形成する保護部材形成工程と、前記基材の孔部内壁面の有機膜を除去する有機膜除去工程と、前記基材の表面の有機膜上の前記保護部材を除去する保護部材除去工程と、前記基材の表面の有機膜をフッ化処理するフッ化処理工程と、を含むことを特徴とする撥液処理方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】溝内に電極とその電極上に無機絶縁膜と有機絶縁膜からなる２層保護膜を形成した圧電部材に、溝を覆い圧力室を形成するための天板を接着し、ポリイミドプレートが溝を覆うように接着した後に、エキシマレーザー加工によって圧力室にあわせてポリイミド上にノズルを形成してインクジェットヘッドを形成する。この場合、エキシマレーザーがノズル加工のためにポリイミドプレートを貫通し、さらに有機絶縁膜に照射される。そのため、レーザー光によって有機絶縁膜が破壊される。
【解決手段】有機絶縁膜の破壊を防止するため、有機絶縁膜のエキシマレーザーが照射される部位における無機絶縁膜の厚さを０．５μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】簡便なプロセスで液体噴射ヘッドを製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる液体噴射ヘッド１００の製造方法は、基板１０を準備する工程と、基板１０の上方に犠牲層２０を形成する工程と、犠牲層２０の上方に振動板３０を形成する工程と、振動板３０の上方に圧電素子４０を形成する工程と、振動板３０の上方に封止板５０を設け、圧電素子４０を封止する工程と、基板１０を剥離する工程と、振動板３０の封止板５０が設けられた面と反対側の面に、液相プロセスによって圧力室７２の側壁となる側壁部材７０を形成する工程と、側壁部材７０の下方にノズル板９０を設け、圧力室７２を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ユニポーラ駆動において分極反転が起こらないＰＺＴ系の圧電体を提供する。
【解決手段】本発明の圧電体は、下記式で表されるペロブスカイト型酸化物（Ｐ）からなり（不可避不純物を含んでいてもよい）、ＸＡＦＳで計測されるＰｂ^４＋とＰｂ^２＋の信号強度比Ｉ（Ｐｂ^４＋）／Ｉ（Ｐｂ^２＋）が０．６０以上である。
Ｐｂ_ａ（Ｚｒ_ｘ，Ｔｉ_ｙ，Ｍ_{ｂ−ｘ−ｙ}）_ｂＯ_ｃ・・・（Ｐ）
（式中、Ｍは１種又は２種以上の金属元素。０＜ｘ＜ｂ、０＜ｙ＜ｂ、０≦ｂ−ｘ−ｙ。ａ：ｂ：ｃ＝１：１：３が標準であるが、これらのモル比はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準モル比からずれてもよい。） （もっと読む）

【課題】絶縁膜間に発生する界面分極による帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のうち少なくとも一方に絶縁膜を多層に形成し、絶縁膜間に導電性の導線部２１を介在させている。 （もっと読む）

【課題】駆動耐久性に優れ、かつ高電圧駆動が可能で高密度化に対応でき、またプロセス適応性に優れた静電アクチュエータおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、個別電極５の対向面を階段状の多段構造に形成した静電アクチュエータ４であって、個別電極５の対向面の最上段と最下段とに、物性が異なる表面保護膜８ａ、８ｂを形成する。 （もっと読む）