【課題】耐久性に優れ、高品位な印字を長期にわたって行い得るノズルプレート、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置、および、前記ノズルプレートを容易に製造可能なノズルプレートの製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズルプレート１１は、液滴を吐出する複数のノズル孔１１１が形成された基板１１２と、基板１１２の上面に設けられ、カップリング剤で構成された撥液膜１１３とを有し、基板１１２と撥液膜１１３との間に設けられ、プラズマ重合膜で構成された第１の下地膜１１４と第２の下地膜１１５とを有するものである。プラズマ重合膜は、シロキサン結合を含むＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合し有機基からなる脱離基とを含むものであり、エネルギーの付与により接着性を発現するものであり、この接着性によって、基板１１２と撥液膜１１３とが強固に密着している。 （もっと読む）

【課題】密着層の表面を均一に不動態化する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、吐出エネルギーを発生する発熱部と、該発熱部の上に配置された保護層と、該保護層の上に配置された導電性を有する密着層と、該密着層の上であって少なくとも前記発熱部の上方の領域に配置された上部保護層と、を有し、前記上部保護層は、電気化学反応により溶出する金属を含みかつ加熱により前記溶出を妨げるほどの酸化膜を形成しない材料で構成され、前記密着層を介して電気的に接続されている、液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、前記密着層の表面を酸素を含むガスを放電させることにより酸化し、密着層酸化部を形成する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【目的】上下２段に配置した圧力室の間に共通の配線層を配置することにより、高密度化及び小型化と工数の簡略化とを同時に図ることができると共に、上下の各圧力室を独立して動作させることが可能なインクジェットヘッドの提供。
【構成】圧力発生手段によってインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、第１の圧力室11が形成され、該第１の圧力室11の壁面の一部を形成する第１の振動板13に配設された第１の圧力発生手段を有する第１の層10と、第２の圧力室21が形成され、該第２の圧力室21の壁面の一部を形成する第２の振動板23に配設された第２の圧力発生手段を有する第２の層20と、前記第１の層10の前記第１の圧力発生手段及び前記第２の層20の前記第２の圧力発生手段にそれぞれ電圧を印加する配線が形成された配線層30とを有し、前記配線層30は、前記第１の層10と前記第２の層20との間に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成され、第１圧電体３０の密度より小さい密度を有する低密度領域４０と、第１圧電体３０および低密度領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上に形成された第２電極６０と、を含み、第１圧電体３０および第２圧電体５０の少なくとも一方は、低密度領域４０に近づくにつれてシリコンの濃度が大きくなる分布を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い、圧電素子、圧電アクチュエーター、液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】基板１０と、基板１０の上に形成された第１導電層２０と、第１導電層２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２導電層４０とを含む積層体１１０と、基板１０と、積層体１１０の上面及び側面とを覆うように形成された保護層５０と、保護層５０の上に形成され、保護層５０に形成された開口部５２を介して第２導電層４０と電気的に接続する配線層６０とを含み、保護層５０の材質は、有機系材料を含み、基板１０と配線層６０との間の保護層５０の厚さは、第２導電層４０と配線層６０との間の保護層５０の厚さよりも厚い。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いアクチュエーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター１００の製造方法は、第１領域１２５の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第１開口部１５０を形成し、かつ第２領域１２７の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第２開口部１５２を形成する工程と、第１領域１２５の上方、第２領域１２７の上方、および被覆層１３０の上方に第１金属層１４２を成膜する工程と、第１金属層１４２の上方に第２金属層１４４を成膜する工程と、第１金属層１４２および第２金属層１４４をパターニングして、第２開口部１５２を介して第２導電層１４６と電気的に接続するリード配線１４０を形成する工程と、第１領域１２５の上方に成膜された第２金属層１４４を除去して第３導電層１２８を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】成膜後の後処理により、シランカップリング剤からなる有機膜の耐久性と平滑性を向上させることができる有機膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材１００の表面上にシランカップリング剤により有機膜１１０を形成する有機膜形成工程と、有機膜１１０が形成された基材１００を、少なくとも水蒸気を含む雰囲気下で保持する水蒸気導入工程と、水蒸気導入工程の雰囲気下より、水蒸気の存在量が少ない雰囲気下で保持する脱水処理工程と、を含む後処理工程と、を有することを特徴とする有機膜の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】貫通電極と他の部材とを絶縁するための絶縁性の膜が精度良く形成され、電気的特性が良好である液体吐出ヘッド用基板を歩留まり良く製造する方法を提供する。
【解決手段】（１）液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子１と、該素子と電気的に接続された電極層１１と、を第１の面側に有する基材２を用意する工程と、（２）基材の第１の面の裏面である第２の面に、電極層の一部が底面となる凹部５を設ける工程と、（３）凹部の内側面と底面とを絶縁性の膜２１で被覆する工程と、（４）底面を被覆する絶縁性の膜の一部をレーザー光２２により除去して、電極層を部分的に露出させる工程と、（５）電極層の露出した部分と電気的に接続するように、基板の第１の面と第２の面との間を貫通する貫通電極を設ける工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる、圧電方式のインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に設けられ、シリコン基板２との対向方向に振動可能な振動膜５と、振動膜５上に設けられた圧電素子６と、振動膜５に対してシリコン基板２側に振動膜５に臨んで形成され、インクが充填される加圧室６２と、振動膜５を貫通して形成され、加圧室６２と連通し、加圧室６２から送出されるインクを吐出するノズル６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド用基板において、電極へのインクの染み込み防止を達成することができ、かつ、面積を縮小することができる液体吐出ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】基板１０１の第一の面１０２と、基板１０１の第三の面１０４との間に設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子２０１と電気的に接続する複数の電極２０５と電気的に接続する電極層２０２が領域１０５の内側に設けられている。さらに、領域１０５には電極層２０２を被覆する樹脂からなる部材４０２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】素子基板の構成材料と同じシリコンからなるオリフィスプレートを用いて液体吐出ヘッドを製造する際に信頼性の高い長尺の液体吐出ヘッドを製造することを可能にする。
【解決手段】オリフィスプレートを作製するためのシリコン基板２１の表面に、パターニングされたＡｌ層２２を形成し、Ａｌ層２２をマスクとしてシリコン基板２１のドライエッチングを行うことで、シリコン基板２１の表面における吐出口に対応する位置に配置された、凹部としての穴２１ａ、および溝状の切断ライン２１ｄを形成する。次に、シリコン基板２１の裏面を研削、研磨してシリコン基板２１を薄くすることにより穴２１ａを貫通させ、シリコン基板２１に吐出口３を形成するとともに、切断ライン２１ｂでシリコン基板２１が複数枚のオリフィスプレート１６分割される。これにより、シリコン基板２１に吐出口３が形成されてなるオリフィスプレート１６が作製される。 （もっと読む）

【課題】精度良く、再現良く、確実に圧電素子を形成でき、量産性に優れ、歩留まりを向上でき、低コスト且つ特性のばらつきが低減された圧電型アクチュエータの製造方法、これにより製造された圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ及び画像形成装置を提供すること。
【解決手段】基板５０上に１以上の連通溝１３を有する隔壁を設けて複数の圧電素子形成領域５を画成する工程と、ＩＪ法により共通電極材料前駆体液４ａを、圧電素子形成領域５及び連通溝１３に塗布・焼成して共通電極４を形成する工程と、ＩＪ法により圧電体ゾルゲル液７ａを、圧電素子形成領域５に塗布・焼成して圧電材料層７を形成する工程と、ＩＪ法により個別電極材料前駆体液８ａを、圧電素子形成領域５に塗布・焼成して個別電極８を形成する工程とを備え、隔壁はこれを介して隣り合う２の圧電素子形成領域５を連通溝１３により連通させてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングでシリコン基板に液体の供給口を、高精度に歩留まり良く形成することが可能な液体吐出ヘッド用の基板の製造方法を提供する。
【解決手段】供給口を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、（１）シリコン基板の第１の面の供給口に対応した部分に金属の窒化物を含む第１の層１２を設ける工程と、（２）アルミニウム、銅および金のいずれか１つ、またはそれらのうちの複数の合金からなる第２の層１０を前記第１の層の上に設ける工程と、（３）前記第２の面から前記第１の面に向かって、反応性イオンエッチングで前記シリコン基板をエッチングし、被エッチング領域を前記第１の層１２に到達させる工程と、を含む液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】高い寸法精度、信頼性、耐久性を確保しつつ、各液室間の相互干渉を抑えることができる液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドを用いた液体カートリッジと、前記液滴吐出ヘッド又は液体カートリッジを搭載した画像形成装置を提供する。
【解決手段】圧電体素子２を有する振動板３上に、ノズル孔６を有する複数の加圧液室５が配列されてなる液滴吐出ヘッド１において、隣接する加圧液室５の間を仕切る隔壁４ａと、前記加圧液室５のノズル層４ｂが、単結晶シリコンよりもヤング率の大きな無機材料で一体的に形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに適用した際に、長期間にわたって高品位の印字を可能とするノズルプレート、かかるノズルプレートの製造方法、寸法精度に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドの製造方法、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、ノズル孔１１を有し、一方の面に撥水膜１４、他方の面に接合膜１５を備えたノズルプレート８０と、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、ノズルプレート８０が備える撥水膜１４と接合膜１５とは、ともに、シロキサン結合を含み、ランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合するアルキル基とを含むプラズマ重合膜で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】所望の領域のみに精度よく圧電体及び電極を形成できる圧電型アクチュエータの製造方法、該圧電型アクチュエータの製造方法で製造される圧電型アクチュエータ、並びに各装置を提供する。
【解決手段】基板上に圧電体素子を形成する圧電型アクチュエータの製造方法として、シリコン基板５１に設けられた共通電極４表面の圧電体素子形成領域５ａを囲む凹部５を有する隔壁層３を設ける工程と、前記凹部５に圧電体材料を含む圧電体ゾルゲル液７ａをインクジェット法により塗布して圧電体７を形成する工程と、前記凹部５の前記圧電体７上に電極材料を含む液体をインクジェット法により塗布して対向電極を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）