【課題】圧電体膜を用いた圧電素子に係わり、特に、駆動電圧を高くすることなく大きな撓み変形が得られる圧電素子を提供する。
【解決手段】
圧電素子を、櫛形形状の導電性弾性板２と、導電性弾性板２の各櫛歯部に設けた圧電素子セグメント１ａ〜ｅと、により構成し、圧電素子セグメントを。、櫛歯部の一方の面に順次形成した第１の圧電体膜３及び第１の電極５と、他方の面に順次形成した第１の圧電体膜４と分極方向が同じ第２の圧電体膜及４び第２の電極６と、により構成し、第１の電極５及び第２の電極６の接続点と、導電性弾性板２と、の間に電圧を印加することにより第１の圧電体膜３と第２の圧電体膜４が同方向に撓み変形して大きな撓み変動が起こるようにした。 （もっと読む）

【課題】耐吐出液保護膜の組成を管理してアルカリ耐性を向上させることができるシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】ノズル孔１１を有し、耐吐出液保護膜１３を表面に形成したシリコン製ノズル基板１であって、液滴吐出側のシリコン基材１００の表面１００ａと耐吐出液保護膜１３との間の一部に、赤外線反射膜１５を設けた。この場合、耐吐出液保護膜１３が、シリコン基材１００の液滴吐出側の面１００ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して設けられ、赤外線反射膜１５はアルミニウムを主成分とし、あるいは酸化チタンを主成分として、ノズルクリーニングの影響を受けない領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】液保護膜の表面に傷やピンホール等を生じさせず、アルカリ耐性を向上させることができる高品質のシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ドライ酸化膜１２にＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層した。このとき、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ノズル孔１１の液吐出側の面１ａに撥水膜１４をさらに形成し、ドライ酸化膜１２に、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃの開口部１１ｄまで連続するＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層する。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の液滴吐出面に形成された液滴保護膜の剥離又は破損の発生を抑制することができ、液滴に対するノズル基板の耐久性を向上させることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにこれらの製造方法を得る。
【解決手段】シリコン基板１００を貫通させて、液滴を吐出するためのノズル孔１１を形成したノズル基板１であって、シリコン基板１００の液滴吐出面１００ａに形成された第２の液滴保護膜１４と、液滴吐出面１００ａ側に形成され、第２の液滴保護膜１４より絶縁耐圧が低い導電性端子１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの基板裏面側で外部との電気接続を行う構成において、工程の増大を抑制して上記電気接続部を形成し、記録ヘッドを小型化する。
【解決手段】貫通孔２０を形成しその内部に突起状電極２３を配置することによって基板１０の上面側と裏面側との間の電気接続を行う。これにより、この表裏面間の電極接続のためには基本的に貫通孔２０を形成する工程だけを実施すればよく、埋め込み電極を設ける場合のように製造工程の大幅な増大を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエーターの能力をさらに向上させるために駆動電圧を上げた場合でも、表面層の帯電を軽減しその駆動を安定化させ、信頼性を向上させた静電アクチュエーター並びにそれを備えた液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】振動板４に形成された振動板側絶縁膜６上に振動板側ＤＬＣ膜８、そして、固定電極５に形成された固定電極側絶縁膜７上に固定電極側ＤＬＣ膜９を形成し、かつ、これらのＤＬＣ膜を、セグメント形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス、構成を簡単にし、残留電荷等の除去等を行うことができる静電ア
クチュエーター等を得る。
【解決手段】電極基板１０上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａと
、個別電極部１２Ａと所定の距離で対向し、個別電極部１２Ａとの間で発生した静電気力
により動作する可動電極となる振動板２２と、個別電極部１２Ａを覆う絶縁膜１３と、振
動板２２の個別電極部１２Ａと対向する面に直接設けられ、接触による摩耗から絶縁膜１
３を保護する、カーボン系材料からなる表面保護膜２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電解質濃度等に起因する電気化学反応のばらつきが、保護層の溶出量に影響をあたえ、保護層の厚さが不均一になる。
【解決手段】 発熱部に対応する領域に形成された上部保護層１０７ａは、液体との電気化学反応により、前記液体中に溶出する第１の層と、不動態となる第２の層とが其々２層以上積層された構成である液体吐出ヘッド用基板。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が９０ａｔ．％以上でかつ９９ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】シリコン結晶欠陥の発生を防止し、絶縁耐圧を確保した絶縁膜を形成して、安定した吐出特性、駆動耐久性を有する静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】ボロン拡散源を用いてシリコン基板２の一方の面にボロンドープ層２２０を形成する工程を有し、エッチングストップ技術によりボロンドープ層２２０を振動板として形成する静電アクチュエータの製造方法であって、ボロンドープ層２２０を形成する際のボロン拡散源が、Ｂ₂Ｏ₃を主成分とし、Ｐｄ含有量が０．１ｐｐｍ以下である。この場合、Ｐｄ含有量は０．０９ｐｐｍ以下が好ましい。そして、ボロン拡散する際には、エージングによりボロン拡散源内のＰｄ含有量を低減してボロン拡散する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせると共に、第１電極６０と、該第１電極６０上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とを具備する圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０が同じ格子間距離を有する２つの誘電体膜７１と、この２つの前記誘電体膜７１の間に設けられて、格子間距離が前記誘電体膜７１と異なる介在層７２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の傾斜部の傾斜角を所望の角度とすることができ、ノズル密度を高めることができ、ノズル孔の傾斜部が垂直部と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って、円筒孔部１１ｃを形成する工程と、少なくとも円筒孔部１１ｃ内に酸化膜を形成する工程と、円筒孔部１１ｃを形成した面と反対側の面からシリコン基材４１を研磨して、円筒孔部１１ｃの底部側に所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂを形成し、研磨されず残った円筒孔部１１ｃを第１のノズル孔部１１ａとする工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】薄いノズル板を備えた、有用なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、基板と、基板上に形成された複数のチャンバであって、各チャンバには、基板上に立設された複数の壁および厚さが１０ミクロンより薄くなるように化学気相成長法によって複数の壁の上に形成されたノズル板により囲まれた空間が形成され、ノズル板を貫通して形成されたノズルが設けられた当該複数のチャンバと、複数のヒーター素子であって少なくとも１台のヒーター素子が各チャンバ内に配置された当該複数のヒーター素子と、を備える。各ヒーター素子は、各チャンバ内でインクを、該インクの沸点以上の温度まで加熱して、各チャンバ内に気泡を形成し、これによりノズルを通してインクを射出する。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動制御回路４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、振動板６または個別電極５上に酸化物系絶縁膜７が形成され、この酸化物系絶縁膜７の上に当接面側が最も体積抵抗率が高くなるように、厚み方向に連続的に体積抵抗率が変化する水素化アモルファスカーボン膜８を形成する。 （もっと読む）

【課題】所望の体積の液滴を形成することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は、ノズルプレート１０と、ノズルプレート１０の上方に形成された圧力室２２と、圧力室２２の上方に形成された振動板３０と、振動板３０の上方に形成された第１圧電素子４０と、を含み、ノズルプレート１０は、 ノズル孔１２が設けられた基板１１と、基板１１の下方に形成され、ノズル孔１２と連通している開口部１４が設けられた第２圧電素子１３と、を有する。 （もっと読む）

第１の表面、第１の表面と表裏をなす第２の表面及び、半導体材料体を貫通して形成された、第１と第２の表面を連結するノズルを有する半導体材料体を有し、第２の表面のノズル噴出口を通して液体を射出するようにノズルが構成され、噴出口が丸められたコーナーで連結された直辺を有する、ノズル層が説明される。
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【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基が導入された膜である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を要することなく低コストに圧電体膜を容易にパターニングすることができ、圧電体膜のパターンの形状精度が良く、成膜時のコンタミネーションの問題がない新規なパターニング技術を提供する。
【解決手段】下部電極２０が形成された基板１０上に、パターニングされていないベタ圧電体膜３０Ｐを成膜する工程（Ａ）と、ベタ圧電体膜３０Ｐ上に、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎに対応したパターンを有し、ベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去するための除去用電極４１を形成する工程（Ｂ）と、下部電極２０と除去用電極４１との間に電界を印加して、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎにクラックを発生させる工程（Ｃ）と、除去用電極４１及びベタ圧電体膜の不要部分３０Ｎを除去する工程（Ｄ）とを順次実施する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの低コスト化を可能としたインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された圧力発生室１０と、基板１の表面側に形成されて圧力発生室１０を覆う振動膜２０と、基板１の表面側であって振動膜２０を挟んで圧力発生室１０と対向する領域に形成された圧電素子３０と、基板１の表面側に形成されて圧電素子３０に接続する配線３４、３５と、ＩＣ素子５０（基板５１と、基板５１の表面に形成されたドライバ回路５２と、基板５１の表面側に形成されてドライバ回路５２に接続するバンプ電極５３と、を含む。）と、凹部４１ａを有する封止板４０と、を備える。バンプ電極５３は配線３４、３５に接合され、封止板４０は、ＩＣ素子５０と圧電素子３０とを凹部４１ａの内側に収納した状態で、基板１の表面側に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】より高い圧電性能を得ることが可能な新規なドメイン構造の圧電体膜を提供する。
【解決手段】圧電体膜１は、結晶配向性を有する複数のペロブスカイト型酸化物膜１Ａ，１Ｂが積層されたものである。複数のペロブスカイト型酸化物膜は、互いに隣接する膜の自発分極軸方向が異なるという関係を有している。複数のペロブスカイト型酸化物膜は、互いに隣接する膜の結晶系が異なっていることが好ましい。 （もっと読む）