【課題】本発明の目的は、基板内を貫通する供給口の底部にフィルタ構造を精度良く形成できる吐出素子基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を有する流路形成部材と、前記液体流路に前記液体を供給する供給口を有する基板と、を備え、前記供給口の底部にフィルタ構造を有する吐出素子基板の製造方法であって、（１）前記基板の前記流路形成部材が配置される側の第一の面と反対側の第二の面から反応性イオンエッチングを行って貫通口を形成することにより前記供給口を形成する工程と、（２）前記供給口の側面及び底部に樹脂保護膜を配置する工程と、（３）前記供給口の底部の前記樹脂保護膜に前記第二の面側からのレーザー加工によって微細口を形成する工程と、を有することを特徴とする吐出素子基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって高精度で液滴を吐出できる吐出ヘッド及び吐出装置、その吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔２２はシリコン基板やガラス基板等の無機基板に形成されるので、位置精度が高いだけではなく、耐久性も高い。吐出ヘッド２０の吐出口２３が位置する表面には、ダイヤモンド薄膜３２が形成されているので、吐出ヘッド２０の耐久性が高いだけでなく、撥液性も高い。吐出液が吐出ヘッド２０表面で広がらないので、吐出液の吐出精度が高い。 （もっと読む）

【課題】高価な熱気化機を有するプラズマ重合装置を必要としない、安価に製造することができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材上に、常温大気圧下でガスである原料を用いて、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程で得られた薄膜に励起光を照射し、前記疎水性置換基は残存させて前記薄膜にＯＨ基を有するようにする照射工程と、該照射工程で得られた薄膜上にシランカップリング剤を塗布する塗布工程と、を有するように形成する。または、基材上に、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を塗布して焼成することで形成する薄膜形成工程と、前記照射工程と、前記塗布工程と、を有するように形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷ヘッド用の開口プレートであって、所望の放射率をもたらし、放射電力損失を低減することができる、改善された開口プレートの提供。
【解決手段】第１放射率を有する第１層１２と、第２放射率であって、第１放射率が第２放射率よりも高い第２放射率を有し、第１層の上に配置される第２層１４と、接触角を制御するコーティング層を含む第２層の上に配置される少なくとも１つの追加層１８とを含む、開口プレート１０。 （もっと読む）

【課題】インク漏れを防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法において、インクジェットヘッドは、圧力室が設けられた基材と、前記圧力室の内面を覆って形成された電極と、前記圧力室を塞ぐように前記基材に取り付けられるとともに、前記圧力室に向かって開口するノズルが設けられたノズルプレートと、を備える。まず、前記ノズルプレートに保護フィルムを貼り付ける。前記保護フィルムと前記ノズルプレートとを貫通する前記ノズルを形成する。前記圧力室内の前記電極と、前記圧力室に面する前記ノズルプレートの内面と、前記ノズルの内面と、前記保護フィルムの外面とを覆う保護膜を形成する。前記保護フィルムの外面の前記保護膜を除去する。前記保護フィルムを除去し、前記保護膜よりも濡れ性が低い前記ノズルプレートの外面を露出させる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の配向を容易に制御できる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上方に第１電極１０を形成する工程と、第１電極１０の上方に前駆体溶液を塗布する工程と、前駆体溶液を乾燥および脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層にマイクロ波を照射して前記前駆体層を結晶化し、圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上方に第２電極３０を形成する工程と、を含み、圧電体層２０は、鉛、ジルコニウム、チタンおよびニオブを含む酸化物である。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 保護層をエネルギー発生素子毎に独立して設けると、保護層とエネルギー発生素子との間のリーク電流検査を１度で行うことができず液体吐出ヘッド用基板の製造時の検査に時間がかかる懸念がある。
【解決手段】 複数の保護層と電気的に接続し、供給口となる位置に対応する基体の上側に設けられた接続部に接続する検査用端子と、複数のエネルギー発生素子が接続される端子と、の間のリーク電流検査を行った後に、前記接続部を除去して液体吐出ヘッド用基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、基板１の上方に、第１電極１０を形成する工程と、基板１および第１電極１０の上方に、樹脂層４０を成膜する工程と、樹脂層４０をパターニングして、第１電極１０を露出する工程と、露出した第１電極１０を覆うように、前駆体溶液２０ａを塗布する工程と、前駆体溶液２０ａを焼成により脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層を焼成により結晶化して、圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に、第２電極を形成する工程と、を含み、樹脂層４０は、前駆体溶液２０ａを脱脂するための焼成温度に対して、耐熱性を有する。 （もっと読む）

【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供すること。
【解決手段】基体と、該基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、該発熱抵抗層に積層され、その端部が該発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、該発熱抵抗層と該段差部を含む該配線層とを覆い、該発熱抵抗層と該流路との間に配された複数の保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、複数の該保護層のうち最も該流路に近い保護層が、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成された窒化シリコン系の膜であり、複数の該保護層のうち最も該発熱抵抗層に近い保護層が、プラズマＣＶＤ法により形成された、ＳｉＯ膜、もしくは窒化シリコン系の膜であることを特徴とする液体吐出ヘッド基体。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高耐電圧により大電流化が可能で、オン抵抗が低く高速動作が可能で、高集積化と省エネルギーが可能で、素子間分離の容易な、電気熱変換素子駆動用の半導体装置を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子とそれに通電するためのスイッチング素子とがｐ型半導体基体１に集積化されている。スイッチング素子は、半導体基体１の表面に設けられたｎ型ウェル領域２と、それに隣接して設けられチャネル領域を提供するｐ型ベース領域６と、その表面側に設けられたｎ型ソース領域７と、ｎ型ウェル領域２の表面側に設けられたｎ型ドレイン領域８，９と、チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極４とを有する絶縁ゲート型電界効果トランジスタである。ベース領域６は、ドレイン領域８，９を横方向に分離するように設けられた、ウェル領域２より不純物濃度の高い半導体からなる。 （もっと読む）

【課題】ノズル内のメニスカス位置を精度よく制御することにより、インク液滴の吐出性能の向上を図るノズルプレートの製造方法を提供することである。
【解決手段】液体が吐出するノズルを有するノズルプレートにおいて、前記ノズルの内面は、前記液体が吐出する吐出口から順に、親液性を有する第１親液面、撥液性を有する撥液面、親液性を有する第２親液面が形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体による液体流路の壁面の浸食を抑制し、液滴の噴射特性を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】振動板５０の流路形成基板１０側の最表層が、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５１で構成されていると共に、流路形成基板１０の表面には、耐液体性を有する材料からなる保護膜２０が液体流路の壁面を覆って設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】保護膜と圧電体層との密着性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、基板の上に形成された第１電極と、前記第１電極の上に形成された圧電体層と、前記圧電体層の上に形成された第２電極と、少なくとも前記圧電体層の側面を覆う保護膜と、を含み、前記圧電体層の前記側面は、前記第２電極から前記第１電極に向かう方向に沿って延びる複数の溝を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートにシリコンを用いたインクジェットヘッドを長期間使用しても精度良く吐出を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】シリコンからなるノズルプレート３０にインク吐出用ノズル３２を形成するノズル形成工程と、ノズル３２のインク吐出側の面に、ノズル３２内部に入り込むように、金属膜４２を成膜する金属膜成膜工程と、シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】微粒子が微細孔の内部に累積して微細孔を塞ぐのを回避可能なノズルプレートを提供する。
【解決手段】プレート１２は、当該プレート１２の頂部および底部を貫通するよう形成され、かつ内表面が平滑であり、内径がプレート１２の底部から頂部へ向かうに従い大きくなるよう形成される複数の微細孔１４を有する。 （もっと読む）

【課題】均一な形状を有する圧電アクチュエータを容易に形成することができ、駆動電圧に比べて駆動効率が良いインクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流入されたインクをノズル４５に吐出するためにインクを貯蔵する圧力チャンバ５０と、圧力チャンバ５０に対応する外部面において圧力チャンバ５０の方向に凹溝形成される圧電アクチュエータ収容部２０と、圧電アクチュエータ収容部２０に粘度がある圧電体液が充填されて固化され、圧力チャンバ５０にインクの吐出駆動力を提供する圧電アクチュエータ２００と、を含むインクジェットプリントヘッド１００。 （もっと読む）