【課題】液体吐出ヘッドを構成する基板の反りを低減し、基板間の剥離を防止して好ましい吐出性能が維持される液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの方法を提供する。
【解決手段】圧電素子４２を密閉する第１の凹部５４が形成された封止基板５０には、第１の凹部５４が形成される第１の面と反対側の面に第２の凹部５８が形成される。第２の凹部５８は第１の凹部５４と略同一の形状を有し、第１の凹部に対応する位置に形成されるので、封止基板５０が対称形状となり、反りが防止される。また、第２の凹部には圧電素子４２に印加される駆動信号を生成する駆動ＩＣ６０が実装されるので、ヘッドの高さを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】吐出口の中心軸に関して対称に配置された複数の連通路を微細に形成することに適した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記吐出口の下に配され前記液体が前記吐出口から吐出されるように前記液体に圧力を加えるための加圧空間を含む供給室と、前記液体を前記供給室へ供給する液体供給流路及び前記液体供給流路と前記供給室とを仕切る仕切り部を含む半導体基板とを備え、前記仕切り部には、前記液体供給流路を前記供給室へ連通させる複数の連通路が形成されており、前記複数の連通路は、前記吐出口の中心軸に関して対称に配されており、前記仕切り部は、前記半導体基板における前記仕切り部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、半導体基板内における表面近傍に、単純な製造工程で製造可能な構造を有したフィルタ部を設ける。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記液体を前記吐出口へ供給する第１の液体供給流路と、前記液体を前記第１の液体供給流路へ供給する第２の液体供給流路と、前記第２の液体供給流路と前記第１の液体供給流路との間に配されたフィルタ部とを含む半導体基板とを備え、前記フィルタ部は、前記第１の液体供給流路により供給された前記液体から異物を除去して、異物が除去された液体を前記第１の液体供給流路へ通過させるように配された複数のスルーホールを有し、前記半導体基板における前記フィルタ部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】低抵抗性で耐熱性に優れ、表面凹凸が小さい低抵抗金属層を備える積層体、このような積層体上に形成され、膜質のバラツキや表面粗さの小さい高品質な圧電体層を備える圧電素子、およびこの圧電素子を用いた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、積層体３０を用いるもので、基板１２、熱酸化膜１４、密着金属層１６、金含有層１８、密着金属層２０、金属層２２、圧電体層２４、上部電極層２６をこの順で積層した積層構造を有する。密着金属層１６、金含有層１８、密着金属層２０および金属層２２は、電極層、特に、下部電極層として用いられる低抵抗金属層２８を構成し、基板１２、熱酸化膜１４および低抵抗金属層２８は、積層体３０を構成する。 （もっと読む）

【課題】各ノズルからのインク吐出量の安定化や、ノズル及び吐出室の高密度化、多列化が可能な液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル３１が形成されたノズル基板３０と、ノズル３１のそれぞれに連通し、底壁が振動板２２となる複数の吐出室２１、振動板２２のそれぞれに形成された複数の個別電極２４、及び個別電極２４のそれぞれの間に形成された絶縁層２３を有するキャビティ基板２０と、少なくとも振動板２２と対向する範囲に振動板２２を駆動する共通電極１１が形成された電極基板１０と、キャビティ基板２０と電極基板１０との間に設けられ、振動板２２と共通電極１１との間にギャップを形成するスペーサ層１５とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、半導体基板に貫通孔を作成することなく犠牲層を溶解液により溶解除去してインク液室等を作成する構成において、溶解液による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。
【解決手段】犠牲層の溶解液から電極７０を保護する保護層８８を電極７０に設ける。 （もっと読む）

【課題】エージング特性が優れた液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッドの製造方法は、圧力室５２１が形成される圧力室基板５２を準備する工程と、前記圧力室基板５２の一方の側に振動板を形成する工程と、前記振動板の上方であって、前記圧力室が形成される領域に対応する位置に、圧電素子５４を形成する工程と、前記圧力室基板５２に前記圧力室５２１を形成する工程と、前記圧力室基板の他方の側に、前記圧力室に連通するノズル孔を有するノズル板を形成する工程と、を含む。前記圧電素子５４を形成する工程は、前記振動板の上方に下部電極４を形成する工程と、前記下部電極の上方に配向層７を形成する工程と、前記配向層の上方に圧電体層５を形成する工程と、前記圧電体層の上方に上部電極６を形成する工程と、を含む。前記配向層７は、ランタン酸化物とニッケル酸化物とシリコン化合物とを含むターゲットを用いてスパッタ法によって形成される。 （もっと読む）

【課題】良好な印刷が可能でエージング特性が優れた液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】液体吐出ヘッド５０は、圧力室５２１を有する圧力室基板５２と、前記圧力室基板の一方の側に設けられた振動板５５と、前記振動板の上方であって、前記圧力室に対応する位置に設けられた圧電素子５４と、前記圧力室基板の他方の側に設けられ、前記圧力室に連通するノズル孔を有するノズル板５１と、を含む。前記圧電素子は、下部電極４と、前記下部電極の上方に形成された配向層７と、前記配向層の上方に形成された圧電体層５と、前記圧電体層の上方に形成された上部電極６と、を有する。前記配向層７は、ニッケル酸ランタンの混晶を含み、前記混晶に含まれるニッケル酸ランタンは、式Ｌａ_ｘＮｉ_ｙＯ_ｚで示したとき、ｘが１から３のいずれかの整数、ｙが１または２、およびｚが２から７のいずれかの整数からなる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性に優れた複合酸化物積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０と、前記基板２０の上方に形成され、一般式ＡＢＯ₃で表される第１複合酸化物層２４と、前記第１複合酸化物層２４の上方に形成され、一般式ＡＢ_1-xＣ_xＯ₃で表される第２複合酸化物層２６と、を含み、Ａ元素は、少なくともＰｂからなり、Ｂ元素は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおける基板と流路形成部材との間の剥離を抑えながら、記録ヘッドの製造工程が簡素化され、製造コストが抑えられた記録ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】記録ヘッドの発熱部２における流路形成部材側の部分には、保護層が形成されている。その保護層２０は、貴金属を含んでいる。そして、保護層２０における流路形成部材側の部分は、発熱部２に対応した部分を除いて、表面が貴金属の酸化物によって形成され、保護層２０における流路形成部材側の発熱部２に対応した部分は、表面が貴金属によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高品位の記録を達成することができるとともに、サイズの増大を防止することができるインクジェットヘッド用基板を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド用基板上の電極配線は、第一の部分と第二の部分とを具える。第一の部分は、電極配線の電極パッドの側から基板の長手方向に延びている。第二の部分は、第一の部分の、電極パッドの側とは反対の側からエネルギー発生体に向かって長手方向に関して交差する交差方向に延び、抵抗素子が設けられている。抵抗素子の抵抗値は、各抵抗素子が設けられた電極配線の抵抗値に応じて互いに異なる。 （もっと読む）

【課題】電極パッド部周辺へのインク侵入の検知感度を高める。
【解決手段】このインクジェット記録ヘッド用基板は、インクを吐出するためのエネルギーを発生する発熱素子と、フレキシブル配線基板に設けられた電極リードと発熱素子とを電気的に接続する電気配線３２と、電気配線３２を保護する保護膜３３と、電極リードを接合するため電気配線３２の上の保護膜を開口してなる電極パッド１４と、電極パッド１４と電極リードとの電気接合部を保護するための封止樹脂が塗布される領域と、を有する。封止樹脂が塗布される領域には、インクを検知するための検知電極１が設けられている。検知電極１は、保護膜３３から露出される金属配線で形成されている。さらに、保護膜３３の、該金属配線を露出するための開口の幅よりも、該金属配線の幅が狭くなっている。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された個別電極５と、この個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５と振動板６との間に静電気力を発生させて、振動板６に変位を生じさせる駆動制御回路４０とを備えた静電アクチュエータにおいて、振動板６または個別電極５上に酸化物系絶縁膜が形成され、この酸化物系絶縁膜の上に、さらに体積抵抗率が異なる、複数の水素化アモルファスカーボン膜を重ねて形成する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドの小型化と低コスト化をさらに進展できるようにしたインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１と、流路形成基板１の表面に形成された圧力発生室３と、流路形成基板１に形成されて圧力発生室３に連通するノズル開口部５と、流路形成基板１の表面側に形成されて圧力発生室３を覆う振動膜７と、振動膜７を挟んで圧力発生室３と対向する領域に形成された圧電素子１０と、流路形成基板１の表面であって圧力発生室３と並ぶ領域に形成されたドライバ回路９と、流路形成基板１の表面側に形成されて、ドライバ回路９と圧電素子１０とを接続する配線層２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特性の劣化を抑制した圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の上方に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上方に形成された上部電極４０と、上部電極４０の上面の端部に形成された第１保護層５０と、少なくとも第１保護層５０、上部電極４０および圧電体層３０を覆うように形成された第２保護層６０と、を含み、第１保護層５０の一方の側面、上部電極４０の側面および圧電体層３０の側面は、それぞれ連続して、１つの傾斜面７０となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】製造上の不都合を回避可能で、且つ、振動板の駆動形態や当接順序を制御することができ、安定した振動板動作を行うことが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】静電気力によって駆動される振動板４と、振動板４にギャップを隔てて対向する対向電極１１とを備え、対向電極１１の振動板側表面に、複数の領域（第１の領域３１、第２の領域３２）を有する絶縁層３０が形成され、各領域３１、３２毎に、それぞれ異なる材料からなる絶縁膜３１ａ、３２ａが形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部と該発熱部に通電を行うための金属の配線部とを有する基板と、発熱部に対応して吐出口が形成される有機樹脂の部材とが接して配置されることで構成されるインクジェットヘッドにおいて、基板と有機樹脂の部材との密着力を高め、両者の剥れを抑制する。
【解決手段】金属の配線部を、有機樹脂の部材（ノズル形成部材）の端部において分断し、当該分断された配線部を、有機樹脂との密着性がよい保護層の下に設けられた迂回配線を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】絶縁層を構成する表面保護膜を改質処理し、寿命が長く、しかも高い吐出能力を維持して安定して駆動することができる静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板２０と対向電極３０との対向面のいずれか一方または両者に絶縁層２５、２５０が設けられ、絶縁層２５、２５０が、誘電体膜２６、２６０とその上に形成された表面保護膜２７、２７０とからなり、表面保護膜２７、２７０が表層部にＣ−Ｆ結合部分２７ｂ、２７０ｂを有するダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａである。この製造工程は、シリコン基板２の表面と、対向電極３の表面とのいずれか一方または両者に誘電体膜２６、２６０を形成し、その上にダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａを形成する工程と、ダイヤモンドライクカーボン膜２７ａ、２７０ａの表面にフッ素系ガスのプラズマを照射して表層部をＣ−Ｆ結合に改質する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】内部応力の発生を抑制できるとともに、発泡室のパターン不良の発生を防止できる、インクジェット記録ヘッド用基板、記録ヘッド、記録装置及びインクジェット記録ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッド用基板１１は、インク流路２５及び吐出口２３に連通する発泡室２２が形成されることとなる流路形成部材２１が積層されるものである。このインクジェット記録ヘッド用基板１１において、流路形成部材２１の、発泡室２２の周縁であって発泡室２２の側壁２１ａに繋がる下端面２１ｂに対応する位置に形成された、上面が平坦な平坦化層１を有する。さらに本発明のインクジェット記録ヘッド用基板１１は、平坦化層１の周囲に形成された、流路形成部材２１が直接接触する接触面２１ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】製造工程途中において、エッチング液やエッチングガスのギャップへの侵入に起因する歩留まり低下を防止することが可能な静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】振動板と振動板にギャップを介して対向配置された対向電極とを有し封止されているアクチュエータ部を備えた静電アクチュエータの製造方法であって、ガラス基板３００に凹部３２を形成し、凹部３２内に対向電極３１を形成する工程と、ガラス基板３００の凹部３２内に、封止用の壁を低融点ガラス３５ａにより形成する工程と、ガラス基板３００とシリコン基板２００とを接合し、封止用の壁により、凹部３２を最終的にアクチュエータ部となる部分とそれ以外の部分とに分離するとともに、最終的にアクチュエータ部となる部分を封止する工程と、シリコン基板２００を薄板化して少なくとも振動板２２を形成し、アクチュエータ部を完成する工程とを有する。 （もっと読む）