【課題】信頼性の高いノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００の製造方法は、シリコン基板１０に、シリコン基板１０の第１面１３から第２面１４まで貫通するノズル孔２０を形成する工程と、第１面１３と、第１面１３および第２面１４に接続されたシリコン基板１０の第３面１６と、に被覆膜を形成する工程と、平面視において、被覆膜が形成された第１面１３の、ノズル孔２０を含む第１領域１１をマスク部材で覆うことにより、第１面１３を、第１領域１１と、第１領域１１を囲む第２領域１２と、に区画する工程と、マスク部材をマスクとしてエッチングを行い、第２領域１２に形成された被覆膜の少なくとも一部と、第３面１６に形成された被覆膜と、を除去する工程と、酸素プラズマアッシングを行い、少なくとも被覆膜が除去された第３面１６に、酸化シリコン膜３４を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制すると共に、高密度化しても小型化可能なインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板１１１と振動板１１２ａの間が隔壁１１２ｂにより隔てられる液室１１０を有するインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、圧電素子１２０が形成されており、共通電極１２１は、隔壁１１２ｂ上に延在し、振動板１１２ａ上に、絶縁膜１３２が積層され、開口部１３２ａを介して、個別電極１２３から共通電極１２１の一部を含む領域上に配線１４０が引き出され、絶縁膜１３２と配線１４０を含む領域との間に、配線１４０が引き出される開口部１３３ａが形成されており、配線１４０上にコンタクトホール１３４ａが形成される絶縁膜１３４が形成され、絶縁膜１３３及び１３４は、隔壁１１２ｂに隔てられる空間上の領域を除く領域にはない。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置の構造を最適化して吐出性能のバラツキを抑え、高画質化する。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズル孔２０を有するノズル基板２と、複数の流路隔壁４により仕切られ、前記ノズル孔２０に連通する加圧液室１４を有する液室基板１と、前記加圧液室１４の一方の壁を構成する振動板（５〜７）と、前記振動板上に設け互いに積層された下電極８、圧電材層９、上電極１０とを備え、前記振動板（５〜７）上の前記流路隔壁部１４に対応する位置に補強層１２を設け、前記補強層１２の振動板側の下面の幅を補強層上部の幅より広く形成した。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】液体流路を高精度に形成することができると共にコストを低減することができる
液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーター３００が一方面に形成された流路形成基板１０の他方
面にクロムが含有されたマスク５２を形成すると共にパターニングする工程と、前記流路
形成基板１０を他方面側から前記マスク５２を介して異方性エッチングすることにより、
液体流路１２等を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を提供することを目的とする。
を提供する。
【解決手段】圧電素子３００は、第１電極６０と、第１電極上に設けられた圧電体層７０
と、圧電体層上に設けられた第２電極８０と、第２電極上に設けられた絶縁膜（保護膜）
１００とを具備し、第２電極の絶縁膜と接触する領域に、凹凸部８３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高精細な液体吐出ヘッド用基板を歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）シリコン基板１のうち機能素子が形成された第一の面と反対側の面である第二の面を研削する工程と、（ｂ）研削して得られた第二の面を研磨する工程と、（ｃ）イオンの入射エネルギーを利用したリアクティブイオンエッチングにより、研磨して得られた第二の面をエッチングする工程と、（ｄ）リアクティブイオンエッチング後の第二の面にエッチングマスクを形成する工程と、（ｅ）エッチングマスクを用いてシリコン基板１をウェットエッチング処理し、液体供給口１２を形成する工程と、をこの順で有する。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きく且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ニオブ酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｎｂと、Ｎｂ及びＴｉの総量とのモル比であるＮｂ／（Ｎｂ＋Ｔｉ）が、０．０７２５以上０．１２５以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出する液滴吐出孔と、液滴吐出孔と連通する加圧液室と、加圧液室の壁面の一部を構成する振動板と、振動板を振動させることにより加圧液室内部の圧力を変化させて液滴吐出孔から液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、振動板の幅を精度よく規制することのできる液滴吐出ヘッドの提供。
【解決手段】振動板３を構成する膜２３に溝を形成することにより、振動板幅変位規制部１３を設け、規制部１３の幅内に、加圧液室隔壁４と加圧液室の境界が収まるように配置する。 （もっと読む）

【課題】液体噴出ヘッドのノズルプレートに高密度で高耐久性能を有する撥液膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】気相成膜法を用いてノズルプレート１８表面に金属アルコキシドの分子膜２４を形成する。第１撥液剤２５をノズルプレートに成膜する第１成膜工程と、第２撥液剤２６を前記ノズルプレート１８に成膜する第２成膜工程と、を有し、第１成膜工程の後に第２成膜工程が行われる。また、第２撥液剤２６は第１撥液剤２５よりも分子鎖の短いものを選定する。 （もっと読む）

【課題】振動板の構成膜である圧縮応力膜と引張応力膜を３層以上積層し、高精度で安定した吐出特性を有する。
【解決手段】振動板３を、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された圧縮応力を有するシリコン酸化膜２２とポリシリコン膜２３、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜された引張応力を有するシリコン窒化膜２４、ＬＰ−ＣＶＤ法で成膜されたポリシリコン膜２５、シリコン酸化膜２６の５層の構成膜により形成する。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が抑制され高い絶縁性を有して絶縁破壊が防止される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】エネルギー作用室体積を損なうことなくノズル密度を向上させインクを良好に吐出できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】明細書中に定義される各工程を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であり型材を形成する工程の前に基板上のノズル壁の一部となる位置に第１の面および第２の面を有する三角部材を形成する工程を有しただし該第１の面は該第２の面より該作用室側に形成されかつ該三角部材の外部に該基板と直角又は鋭角を成し該第２の面は該三角部材の外部に該基板と鈍角を成し型材を形成する工程において該基板および該三角部材の上に感光性樹脂層を形成しこの樹脂層を露光する際に発生する回折光を該三角部材の第２の面で反射させ該回折光の反射光を該ノズル壁となる部分に位置する樹脂層によって吸収させるインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】良好な変位特性および高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極層１０と、第１電極層１０の上方に形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極層３０と、を含み、第２電極層３０は、圧電体層２０の上面２２に形成された第１層３２と、第１層３２の上面３４に形成された第２層３６と、を有し、第２層３６の材質は、第１層３２の材質と同じであり、第２層３６の密度は、第１層３２の密度より小さい。 （もっと読む）

【課題】保護膜の中抜き部をエッチングする際に、上部電極のオーバーエッチングが減少して断線の危険性が少なくなり、上部電極の薄膜化によりコストの低減した圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１電極２０を形成する工程と、第１電極２０の上方に圧電体層３０を形成する工程と、圧電体層３０の上方に第２電極４０を形成する工程と、第２電極４０の上方に第３電極５０を形成する工程と、少なくとも圧電体層３０の側面を覆う保護膜６０を形成する工程と、第３電極５０をストッパー層として保護膜６０を第３電極５０が露出するまでエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡便な電位制御により、ノズルプレート等の被処理物に対しそれぞれに適した重合膜の生成および重合膜の表面改質が容易に行なえる、プラズマ装置を提供する。
【解決手段】プラズマ装置３０は、内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバー３１と、電力を供給する高周波電源３４と、チャンバー３１内に設けられ、高周波電源３４に接続された高周波電極３３およびアース３８に接続されノズルプレート２０を載置するための接地電極３６を有する放電電極と、を備え、アース３８と接地電極３６との間に、可変コイル４０ａおよび可変コンデンサー４０ｂを有する電位制御部４０をさらに備えていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの熱処理でも安定して膜の積層が可能で、製造工程を短縮できる電気−機械変換膜の作製方法と、電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第1の電極と、電気-機械変換膜８３と、第2の電極とを順次設けて成る電気-機械変換素子を基板又は下地膜上に備えた液体吐出ヘッド構成体の、電気-機械変換膜８３を、少なくとも酸化チタン等の光触媒機能を有する化合物から成る表面改質膜８０を形成する工程と、表面改質膜８０に選択的に光を照射して光照射部位の親水性を高め、光照射部位と光未照射部位との水に対する接触角の差を60°を超えるように制御する工程により親水性とされた部位８１に直接、もしくは親水性部位８１に第1の電極を設けこれを介してインクジェット法によりパターン化して設ける電気−機械変換素子。 （もっと読む）

【課題】インク保護膜が剥離しにくく、接着不良を起こしにくいシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通させて形成したノズル孔２１を有し、吐出面１５側からノズル孔２１を介してインクの液滴を吐出するシリコンノズル基板１であって、吐出面１５は平面視でノズル孔２１を含み表面に撥水膜４３が形成されている撥水領域１１と撥水領域１１を囲む環状の領域である非撥水領域１２とに区画されており、撥水領域１１には撥水膜４３とシリコン基板４４との間にインク保護膜４１が形成されており、非撥水領域１２にはインク保護膜４１が薄く形成されているか又は全く形成されておらず、シリコン基板４４の端面１３にはインク保護膜４１が全く形成されていないことを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）