【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が多い圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子３００を具備し、前記圧電体層は、チタン酸バリウム系複合酸化物であってバリウム、チタン及び前記チタンに対して３モル％以下の銅を含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなる液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる複数の孔が重なる孔を製造するとき、孔を分離する分離膜が破れ難い製造方法を提供する。
【解決手段】第１面３ａと第２面３ｂとが対向するノズルプレート３に第２位置決め孔１９を形成する。ノズルプレート３の第１面３ａより第２外側凹部１９ａを形成する第１凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａに熱酸化膜を形成する分離膜形成工程と、第２面３ｂにエッチングガスを流動して第２外側凹部１９ａと対向する場所に第２面３ｂから熱酸化膜まで第２内側孔１９ｂを形成する第２凹部形成工程と、第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとの間に位置する熱酸化膜３０を除去して第２外側凹部１９ａと第２内側孔１９ｂとを貫通する第２位置決め孔１９を形成する分離膜除去工程と、を有し、第２内側孔１９ｂは平面視において辺１９ｄと辺１９ｄとが交差する場所が円弧１９ｅとなっている多角形または円形である。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸との共重合体を主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、白金からなる第１電極６０、第１電極６０上に設けられ少なくともビスマスを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０、及び圧電体層７０上に設けられる第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０の第１電極６０側界面には、ビスマス及び白金を含む酸化物からなる酸化物部６５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して破壊を抑制する。
【解決手段】圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、流路形成基板の一方面側に圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を有する圧電素子３００とを具備し、第１電極が、圧力発生室毎に設けられて並設方向の幅が圧力発生室の幅より小さい個別電極であると共に、第２電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と第１及び第２電極の何れかが存在しない非活性部３３０との境界Ａが、第２電極の端部８１によって規定され、この境界Ａに対応する領域の第１電極には並設方向の幅が圧力発生室の幅より大きい部分６７があり、境界Ａに対応する領域の圧力発生室には深さが浅くなった段差部１１０がある。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出する位置や方向にばらつきがなく、印字品質を向上することが可能なラインヘッド、ラインヘッドの製造方法、及び記録装置を提供する。
【解決手段】複数の第１ノズル孔２３を有するベースプレート２１と、ベースプレート２１上に配置された、第１ノズル孔２３に連通する第２ノズル孔２５と、第２ノズル孔２５毎に設けられたアクチュエーターと、を有するノズルユニット２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】高価な熱気化機を有するプラズマ重合装置を必要としない、安価に製造することができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材上に、常温大気圧下でガスである原料を用いて、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程で得られた薄膜に励起光を照射し、前記疎水性置換基は残存させて前記薄膜にＯＨ基を有するようにする照射工程と、該照射工程で得られた薄膜上にシランカップリング剤を塗布する塗布工程と、を有するように形成する。または、基材上に、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに疎水性置換基を直接接合された薄膜を塗布して焼成することで形成する薄膜形成工程と、前記照射工程と、前記塗布工程と、を有するように形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板１枚あたりの取り数を多くでき、もにコストダウンを図ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、ノズル１ａが形成されたノズル基板１と、ノズル基板１と接合されかつ側壁と振動板３とにより区切られた液室２ａとインク導入路２ｂとが形成された液室基板２と、振動板３と一体的に形成されて振動板３を振動させることにより液室に発生した圧力によりノズル１ａからインクを吐出させる電気機械変換素子と、振動板３を介して液室基板２に接合されかつインク供給溝４ａを有する液体供給基板４と、電気機械変換素子に配線部材を介して接合されかつ電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材とを備え、液体供給基板４にインク供給溝４ａを加工形成する際に生じたテーパ状開口の開口面積又は開口幅が小さい面が液室基板２のインク導入路１ｂに対向させて接合されている。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１００）面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１１０）面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、エポキシ変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、インクなどの液体に対する耐性に優れ、流路形成部材の基体との密着性が良好であり、信頼性の高い吐出性能を有する液体吐出ヘッドを提供とすることにある。
【解決手段】本発明は、基体と、該基体の上に液体を吐出するための吐出口と該吐出口に連通する液体流路とを構成する流路形成部材と、を含む液体吐出ヘッドであって、前記流路形成部材は有機樹脂で形成され、前記基体の上であって前記流路形成部材の内部に無機材料からなる土台部材を有し、該土台部材は前記流路形成部材と接する面に凹凸を有することを特徴とする液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】インク流路内に気泡が滞留することに起因するインク吐出効率の低下を招くおそれがなく、高画質の画像記録を行うことのできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ガラス基板１とシリコン基板２とが積層一体化された積層体１０と、インクが供給される圧力室４と、該圧力室４内のインクを吐出させるノズルとを有すると共に、前記圧力室４から前記ノズルの出口７に向かうインク流路が前記ガラス基板１と前記シリコン基板２とに亘って貫通形成されてなるインクジェットヘッドにおいて、インク流路のうちガラス基板１に貫通形成される部分の出口側の内面は、出口に向けて次第に拡径する形状を有しており、ガラス基板１からシリコン基板２にかけて貫通形成されたインク流路のうち、ガラス基板１に貫通形成される部分の出口直径をＤ１、前記シリコン基板２に貫通形成される部分の入口直径をＤ２としたとき、Ｄ１≦Ｄ２である。 （もっと読む）

【課題】ガラスを用い、ノズル孔が吐出により適したテーパー面を有するノズルプレートを、より簡便に製造することができるノズルプレートの製造方法およびその製造方法を含む液滴噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレートの製造方法は、ガラス基板にレーザービームを照射し、前記ガラス基板の前記レーザービームが集光した焦点領域において、前記ガラス基板の改質部分を形成する照射工程と、前記ガラス基板のノズル孔が形成される領域が、前記改質部分となるように、前記レーザービームを前記ガラス基板に対して相対的に走査する走査工程と、前記ガラス基板をウェットエッチングし、前記改質部分を除去するエッチング工程と、前記ガラス基板を所望の厚みまで研削し、ノズル孔を有するノズルプレートを形成する研削工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】微粒子が微細孔の内部に累積して微細孔を塞ぐのを回避可能なノズルプレートを提供する。
【解決手段】プレート１２は、当該プレート１２の頂部および底部を貫通するよう形成され、かつ内表面が平滑であり、内径がプレート１２の底部から頂部へ向かうに従い大きくなるよう形成される複数の微細孔１４を有する。 （もっと読む）

【目的】上下２段に配置した圧力室にそれぞれ対応する絞り部の加工時間及び加工コストを抑制可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【構成】複数の層からなる積層体によって構成され、前記積層体内に設けられた圧力室内のインクを圧力発生手段によってノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、前記積層体を構成する第１の層１２に形成された第１の圧力室１２１に連通する第１のインク供給路５０に設けられた第１の絞り部５２と、前記積層体を構成する第２の層１３に形成された第２の圧力室１３１に連通する第２のインク供給路７０に設けられた第２の絞り部７２とを有し、前記第１の絞り部５２と前記第２の絞り部７２は、共に前記積層体中の同一の層に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）