【課題】 ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド３２は、インクプール室３８が、振動板４８（圧電素子４６）を間に置いて圧力室５０の反対側（上側）に設けられている。換言すれば、インクプール室３８と圧力室５０の間に振動板４８（圧電素子４６）が配置され、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないように構成されている。このように、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないようにすることで、圧力室５０を互いに近接して配設することができるので、圧力室５０毎に設けられるノズル５６を高密度に配設することができる。 （もっと読む）

【課題】 比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有する誘電体膜の製造方法であって、乾燥工程が、誘電体前駆体膜をゾルの主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第１の乾燥工程と、誘電体前駆体膜を再加熱して一定時間保持することでさらに乾燥させる第２の乾燥工程とを実施する。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層及び金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の密着層及び金属層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着剤によって接着する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び密着層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、連通部に対応する領域の密着層をウェットエッチングにより除去する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、連通部側からウェットエッチングすることによって金属層を除去しリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにするとともに、小型化も図れるようにしたインクジェット記録ヘッドの提供を課題とする。
【解決手段】 インク滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、インク１１０が充填される圧力室５０と、圧力室５０の一部を構成する振動板４８と、圧力室５０へインク流路６６、６８を介して供給するインク１１０をプールするインクプール室３８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有するインクジェット記録ヘッド３２において、振動板４８を間に置いて圧力室５０と反対側にインクプール室３８を設けるとともに、振動板４８を含んで形成された圧電素子基板７０に、圧電素子４６に電圧を印加する駆動ＩＣ６０を実装する。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状のコントロールを充分に行うことができる使い勝手のよいシリコン構造体製造方法、モールド金型製造方法、成形部材製造方法、シリコン構造体、インクジェット記録ヘッド、及び、画像形成装置を得ることを課題とする。
【解決手段】 パターンニングされた酸化膜１１４が形成された側からシリコン基板１１２に異方性エッチングと等方性エッチングとを交互に繰り返すことにより、窪み１４４よりも溝底側にテーパ状に広がる側壁面１１９を形成する。この後、酸化膜１１４を除去し、突起部分１４６を除去する。 （もっと読む）

【課題】 プレート間の空気を逃がしつつ、外部からのインクが流路ユニット内に侵入するのを抑制する。
【解決手段】 流路ユニット４は、８枚のプレート１１〜１８を有している。流路ユニット４の一部を構成するノズルプレート１１は、その上面に固定されたカバープレート１２と対向する領域の縁から外側に延在した延在部６を有しており、延在部６には補強フレーム７が固定されている。補強フレーム７は、カバープレート１２と離隔して配置されており、補強フレーム７とカバープレート１２との間に空隙２が形成されている。カバープレート１２のノズルプレート１１に対向する面には、凹部８５が形成されている。凹部８５は、カバープレート１２の側面において空隙２と連通している。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において電極の接続状態の検査を簡易に短時間で行い、接続状態を確認するとともに検査結果に基いて吐出状態のバラツキをなくす。
【解決手段】液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドに吐出駆動信号を供給する吐出駆動信号用配線基板を有する液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドと前記吐出駆動信号用配線基板の双方に形成された前記吐出駆動信号を受け渡しする駆動信号用電極同士の接続状態を検査するための接続検査用電極及び接続検査用配線素子を、前記液滴吐出ヘッドと前記吐出駆動信号用配線基板の双方に備えたことを特徴とする液滴吐出装置を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】基材間の接着剤層中の気泡の残留を抑制し、接着剤層の均一性を高め、且つ、生産性が高く、基材の大判化にも対応可能な基材の接着方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】接着されるべき第１の基材及び第２の基材のうちの第１の基材の接着面に、熱硬化性の接着剤を、該接着剤が存在する部位と存在しない部位とが所定のパターン状に形成されるように塗布した後、第１の基材上に第２の基材を接着剤を介して重ね合わせることにより、第１の基材と第２の基材との間に接着剤と気泡とをパターン状に配置させ、接着剤の硬化温度未満の第１加熱温度で加熱と同時にあるいは加熱後に、減圧状態にし、気泡を溶解した後、接着面方向に向かって均一に圧力をかけ、その後、接着剤の硬化温度以上の第２加熱温度で加熱し、接着剤を硬化して第１の基材及び第２の基材を相互に一体化する。 （もっと読む）

【課題】 個別電極間のショートを防ぐとともに、製造コストを減少させる。
【解決手段】 アクチュエータユニット２１の上面には、複数の個別電極２６及び共通電極２７とそれぞれ電気的に接続された表面電極２８，２９が形成されている。アクチュエータユニット２１上に配置されたフレキシブルプリント回路５０は、ベースフィルム８１と導体パターン８２ａ，８２ｂとを含んでいる。導体パターン８２ａはドライバＩＣと、導体パターン８２ｂはグランドと接続されており、各導体パターン８２ａ，８２ｂがそれぞれ各表面電極２８，２９と接続されている。ベースフィルム８１には、流路ユニット４に向かって突出した突出部５２が形成されている。導体パターン８２ｂには、突出部５２上に延在する延出部５３が形成されている。そして、導体パターン８２ｂの延出部５３と流路ユニット４とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】各インクチャネル内の駆動電極と導通する接続配線を簡単且つ安価にヘッドチップの裏面まで貫通形成して引き出すこと。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁とインクチャネルとを交互に並設し、インクチャネル内に駆動電極を形成し、インクチャネルの上方にカバー部材を接着し、各駆動電極と導通する接続配線がインクチャネル内の底部からヘッドチップの外面に貫通形成されて引き出され、接続配線を介して各駆動電極に電圧を印加するインクジェットヘッドのヘッドチップの作製工程が、感光性ガラス基板に露光工程及びエッチング工程を経て多数の貫通孔を形成する工程と、貫通孔内に導電性物質を充填する工程と、感光性ガラス基板の表面に分極処理された圧電素子基板を接着し、該圧電素子基板の側から、貫通孔に対応する位置にインクチャネルを該貫通孔内の導電性物質がインクチャネルの底部に露出する深さまで形成する工程と、インクチャネル内に前記導電性物質と導通する駆動電極を形成する工程と、インクチャネルの上方を覆うようにカバー部材を接着する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子列毎の駆動電圧調整ができ、尚且つ生産性の良い、速度ばらつきやクロストークを抑えるなどのインク吐出の優れた圧電振動子群を有する圧電アクチュエータを具備するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 圧電素子群１４列毎に共通電極を分割するために、圧力発生室３に対応する第１、第２圧電振動子群を圧電振動子群列毎に導体パターニングされた非導電性支持部材１６に支持し、その支持部材１６を位置決め部を有する固定部材１７に固定する。 （もっと読む）

【課題】 流路ユニットと共通電極との間に電位差が生じにくくなるようにしつつ個別電極間のショートを防ぐ。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４は、複数のプレートが積層されて構成されている。流路ユニット４のキャビティプレート１８には、一部が曲げられた折り曲げ部６が形成されている。アクチュエータユニット２１は流路ユニット４の上面に固定され、複数の圧力室１０を跨るように配置された共通電極５９と各圧力室１０に対応する複数の個別電極５８とを有している。共通電極５９は、アクチュエータユニット２１の上面に形成された表面電極６５とスルーホール６７内の導体６７ａを介して電気的に接続されている。流路ユニット４は、折り曲げ部６を介して共通電極５９と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、圧電素子の変形を用いてインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、圧電素子を単独で駆動した場合のインクの吐出速度と、複数の圧電素子を同時に駆動したときのインクの吐出速度の変動比を低減することにある。
【解決手段】隣接する圧電素子同士を弾性体で連結することにより、流路形成基板の変形に起因する第１のクロストークを、圧電素子間の弾性体により生ずる第２のクロストークで相殺する構造にした。 （もっと読む）

【課題】 ノズルからのインク吐出量を増加させ且つ電極間ショートなどの圧電アクチュエータの故障が生じにくくなるようにする。
【解決手段】 キャビティプレート１５においてベースプレート１４に接する面には凹部５１が形成されている。凹部５１の底面５１ａとアクチュエータユニット２０との間には、キャビティプレート１５の一部である壁体１６が存在している。壁体１６は、個別電極２４に対向する領域１６ａと対向しない領域１６ｂとからなる。アクチュエータユニット２０において圧力室３６に面する面の領域１６ａに接する領域には、インクが直接触れることがないので、アクチュエータユニット２０の故障が生じにくい。また、領域１６ｂには長孔５２が形成されているため、壁体１６によるアクチュエータユニット２０の変形阻害が抑制されてインク吐出量が増加する。 （もっと読む）

【課題】 接着剤の塗布量に関する管理を寛容なものとする。
【解決手段】 流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０との接着面において、ノズルに連通した圧力室３６からその長手方向に離隔した位置には、捕獲孔３４が形成されている。捕獲孔３４は、各圧力室３６に対して１つずつ付随している。捕獲孔３４から圧力室３６に向かう方向に順次流路ユニット１０に接着剤が塗布されると、流路ユニット１０上を捕獲孔３４から圧力室３６に向かう方向に余剰接着剤が移動していく。この余剰接着剤は捕獲孔３４に流れ込むので、圧力室３６にほとんど流れ込むことがない。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する駆動素子の連続的遅延変位駆動を可能とし、吐出効率を向上させる。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口及び液体供給口を有する圧力室と、前記圧力室の隔壁に形成された薄膜状の圧電体と、前記圧電体を駆動する電極とを備えた液体吐出ヘッドであって、前記電極に駆動信号を供給する電極接続部が前記供給口側に配置され、前記電極が、一つの面内で、前記液体供給口側から前記液体吐出口側へ向かって複数に枝分かれした電極となっていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜のウエハ面内で圧電特性のばらつきを低減することにある。
【解決手段】基板１上に少なくとも下部電極２、圧電薄膜３、上部電極４が順次積層された圧電薄膜素子において、基板表面に連続的なステップ構造５を有し、そのステップ構造５のテラス幅ｗの平均が０．５nm以上、且つ１０nm以下である構造とする。 （もっと読む）

【課題】多数のノズルを備えたヘッドにて、各ノズルの加圧手段を駆動する駆動素子数及び該加圧手段へ信号を伝搬する信号線数を減らし、その駆動回路の小型化、簡易化を実現する圧電素子駆動回路とその駆動方法及び液吐出装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】マトリクス接続された圧電素子Ｃ11〜Ｃ23は第１の電極５７Ａ及び第２の電極５７Ｂに同じ極性の駆動信号が連続して順次印加される。第１の電極に駆動信号が印加されると各圧電素子は引き込み方向に動作し、第２の電極に駆動信号が印加されると各圧電素子は吐出方向に動作し、この引き込み動作及び吐出動作が連続して行われると、インクが吐出される。圧電素子の数より少ない数のトランジスタで各圧電素子を選択的に所望のタイミングで動作させ、好ましいインク吐出を実現する。駆動信号用の電源は単一極性でよく、また、駆動回路や配線を簡略化することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来構成の流路では、圧力室内に気泡が残留しやすい。
【解決手段】 インクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路基板を構成する前記各プレートは全て単結晶シリコンを有する基板をエッチング加工して形成され、前記振動板の一部と前記リストリクタの一部とが対面してなり、且つ、前記振動板は、チャンバープレートに接合される側及び圧電素子と接合される両面がダイアフラムプレートに比べて凹形状に構成する。 （もっと読む）

【課題】
印刷開始時および印刷中におけるインク粘度をヘッドが有する複数ノズルの各々について検出する手段を提供することである。
【解決手段】
複数の圧電体素子夫々の共振周波数または反共振周波数を測定する共振周波数測定手段と、測定結果データ、共振周波数または反共振周波数とインク粘度の相関データ及び、インク粘度と圧電体素子駆動条件の相関データを記憶する記憶手段と、前記共振周波数測定手段の測定結果と前記相関データとを対比し、前記圧電体素子の駆動条件を算出する演算手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）