【課題】振動板を被固定対象物に磁力によって簡便に固定するとともに、固定解除後に振動板の残留磁化を消磁することが可能な、圧電アクチュエータの製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、強磁性体からなる振動板４０を、磁石を有するステージ５２に固定する。次に、振動板４０に、圧電材料からなる粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを吹き付けて粒子を堆積させて圧電層４１を成膜する。その後、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の消磁温度以上に加熱して、圧電層４１のアニール処理と振動板４０の残留磁化の消磁とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】圧電層形成工程においてエアロゾルが噴きつけられることによる振動板の変形を抑制する。
【解決手段】まず、補強フレーム８４の凹部８５にフィルタプレート３６を配置して、補強フレーム８４とフィルタプレート３６と振動板７０とを積層して、所定温度（例えば、１０００℃）に加熱しながら加圧し、金属拡散接合により接合する（接合工程）。次に、振動板７０の表面に、エアロゾルを噴きつけて圧電材料の粒子を堆積させて圧電層７１を形成する（圧電層形成工程）。その後、圧電層７１、フィルタプレート３６及び補強フレーム８４を所定温度に加熱して、圧電層７１に対して熱処理を施す（アニール処理工程）。次に、すでに接合された振動板７０、フィルタプレート３６及び補強フレーム８４と流路ユニット３１を構成する８枚のプレートとを積層して接着剤などで接合する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を維持しつつ、小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル列１４のうち並行したノズル列１４ａの一方に属する圧力室１７の圧電素子群２３ａと、他方のノズル列１４ｂに属する圧力発生室の圧電素子群２３ｂとを、共通する固定板２４に固定板を両側から挟み込むように接合し、接合板の圧力発生室とは反対側の後端部３０に配線部３１を形成し、配線部に、外部からの電気信号を圧電素子群に送るＣＯＦ２５を接続した。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上、及び、液体の温度検出精度の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】アクチュエータプレート３０とカバープレート３１とノズルプレート３３とを備えるチップ本体３４、及び、アクチュエータプレート３０に形成された溝部３５内に充填された液体の温度を検出する温度センサ５０、を備え、溝部３５の側壁３６に形成された駆動電極３７に対して温度センサ５０の検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を印圧することで側壁３６を変形させて溝部３５内の液体をノズル孔３３ａから吐出させるヘッドチップ２１において、温度センサ５０は、チップ本体３４の外周面に設置されていると共に、チップ本体３４に形成されてアクチュエータプレート３０の実装部３０ａまで延設された引回し配線５１を介して外部に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】高精度、高密度に形成された円筒状のチューブを具備したインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドは、複数の円管状チューブ５と、圧電素子６と、固定用プレート３と、ノズルプレート１とを有する。円管状チューブ５は、ガラスからなり、一端側５ｂからその内部にインクが供給される。圧電素子６は、円管状チューブ５の外壁５ｄを変形させて円管状チューブ５内のインクに圧力を印加するためのものであり、円管状チューブ５の外壁５ｄに設けられている。固定用プレート３は、円管状チューブ５の他端側５ｃが挿入されて固定される穴４が所定のピッチＰ３で複数形成されている。ノズルプレート１は、固定用プレート３の穴４が形成された位置と対応した位置に複数のノズル２が形成され、固定用プレート３に対して積層されている。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を吐出する場合にミスト等の発生を抑えてドットの分離を防止しつつ、駆動周波数の低下を抑制することが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】第１駆動信号ＣＯＭ１は、インクを吐出する吐出駆動パルスと、インクが吐出されない程度に圧電振動子を駆動するカット駆動パルスＤＰＣと、を含み、このカット駆動パルスは、圧力発生室を膨張させてメニスカスを引き込む引き込み要素から始まるパルスであり、駆動信号における最後の期間で発生され、吐出制御手段は、現在の記録周期で駆動パルスを圧電振動子に供給してノズルからインクを吐出する場合において、次の記録周期でインクを吐出するときはカット駆動パルスを圧電振動子に供給しない一方、次の記録周期でインクを吐出しないときはカット駆動パルスを圧電振動子に供給する。 （もっと読む）

【課題】きわめて簡単な構成により静電駆動方式における残留電荷を消失させることができる静電アクチュエーターおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５上に形成された絶縁膜７と、絶縁膜７上に表面保護膜として形成されたＤＬＣ膜８とを備え、ＤＬＣ膜８と個別電極５とを、絶縁膜７を貫通する導通部９により導通させる。 （もっと読む）

【課題】管状基材上に圧電素子を短時間で、低温かつ任意の厚さで接着工程もなく直接形成してなるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、円管状基材１５の外面に下電極１６、圧電素子１７、上電極１８をこの順に積層してなる。駆動素子として用いられる圧電素子１７は、下電極１６が形成された円管状基材１５に圧電材料からなる微粒子をガスとともに吹き付けることにより直接形成されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な制御システムを必要とすることなく、異なるサイズのインク滴で同時に記録することが可能であるインクジェット記録装置およびインクジェット記録方法を提供すること。
【解決手段】記録ヘッドから吐出された飛翔中のインク滴に対して、加熱エネルギを投入するか、投入しないかによってインク滴の径を変化させる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおいて、インクの吐出効率を低下させることなく、気泡を除去する効果を高めること。
【解決手段】インクを吐出させる複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルプレートの一面と接合されノズルのそれぞれに連通する複数の開口部を有する板状部材と、開口部に各々連通するとともに一端からインクが供給され他端からインクが排出される複数の圧力室と、圧力室の容積を可変させて圧力室内のインクを加圧する圧力発生手段とを有し、圧力室の一面が板状部材の一面で構成されたインクジェットヘッドにおいて、開口部は圧力室と接する開口面積がノズルプレートと接する開口面積より大きく、かつ開口部の圧力室の長手方向の断面におけるテーパー角が開口部の圧力室の配列方向の断面におけるテーパー角より大きくした。 （もっと読む）

【課題】吐出特性を正確に把握して印字品質の向上を図ることができる液滴吐出ヘッド及
び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル列３８が所定方向に設けられるノズル基板３３と、
ノズル基板３３を支持するヘッドケース２０とを備える液滴吐出ヘッド１０であって、ヘ
ッドケース２０の側部２０ａであって上記所定方向において最も温度が高い位置に熱電対
５０が設けられているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】背圧を印加した高粘度な液を安定に吐出できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル１６の反吐出方向では梁部材１４およびアクチュエータ３６に開口１１６が設けられ、大気中に開放された構成とされている。これにより液流路１３より給送された液Ｌは、梁部材１４に設けられた開口１１６の近傍で形成された液溜まり１００に一時的に滞留する。回転エンコーダ２０Ｂに設けられた液吸引プール１２４は図示しない吸引手段と連通し、負圧を印加される。ノズル１６を挟んで長手方向反対側の流路部材１２には吸引路４２が設けられ、液吸引プール１２４と連通している。このため吸引路４２は開口１１６近傍の液溜まり１００に滞留する液Ｌを逐次吸引、除去する。 （もっと読む）

【課題】短時間で高精度な評価を行い、信頼性を向上することができる液体噴射ヘッドの
評価方法及びアクチュエーター装置の評価方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する流路となる凹部１２が形成された流路形成基板１０と
、該凹部１２の上方に形成された第１電極６０、該第１電極６０上に形成された圧電体層
７０、及び該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０から
なる圧電素子３００と、を具備する液体噴射ヘッドの評価方法であって、前記凹部１２が
形成される前の前記流路形成基板１０に前記圧電素子３００を形成する工程と、前記流路
形成基板１０に前記凹部１２を形成する工程と、前記流路形成基板１０に前記圧電素子３
００を形成した後に前記第２電極８０を除去する工程と、前記第２電極８０を除去した前
記圧電体層７０の反り量を測定する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、液体吐出ヘッドの吐出量を広範囲に制御する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１００は、液体が充填される流路１０９と、該流路１０９に充填された液体を吐出する吐出口１０３と、を有している。そして、液体吐出ヘッド１００は、吐出口１０３の開口面積を調整する開口面積調整手段である柱状部材１１２をさらに有している。 （もっと読む）

【課題】各圧力発生室を区画する隔壁の端部近傍の破壊や当該端部近傍の振動板の破壊を防止し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通し隔壁１１によって区画された圧力発生室１２が並設された流路形成基板１０と、この流路形成基板１０に接合された振動板５０と、圧力発生室１２の共通の液体室となるリザーバ１００と、隔壁１１のリザーバ１００の先端と振動板５０とが形成する第１の角部に接着された接着剤１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 点欠陥が存在しても破壊に至ることのない振動膜及び圧電素子を備えた液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室の一方面側に設けられた弾性膜５０及び絶縁体膜５５を有する振動膜と、該振動膜の上に配設された第１電極６０と第２電極８０との間に配設された圧電体層７０を有して前記第１電極及び第２電極間に印加する電圧により変位して前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子３００とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記変位により発生する応力の中立面１１０が前記第１電極の中に在るように構成するとともに、前記第１電極よりも前記圧力発生室側の層は、層状膜、又はアモルファス膜となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】吐出量の大小による吐出ノズルのグループ化、および当該グループごとの適正駆動電圧を容易に且つ精度良く行うことができる。
【解決手段】複数の吐出ノズル２１の吐出駆動を実施して、測定シート７１上に複数の着弾ドットを形成する着弾ドット形成工程と、形成した複数の着弾ドットの面積を測定する面積測定工程と、測定した複数の着弾ドットの面積の大小に基づいて、複数の吐出ノズル２１を２以上のグループにグループ化するグループ化工程と、グループごとの全ての吐出ノズル２１の吐出駆動を、重量測定ユニット５８の受け容器６２に対し、それぞれ実施して、グループごとの機能液の吐出重量を測定する吐出重量測定工程と、測定したグループごとの吐出重量に基づいて、グループごとの適正駆動電圧を決定する駆動電圧決定工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する吐出口と、吐出口と連通する個別液室と、個別液室の内側面の一部をなす振動板と、該振動板を変形させることで前記個別液室の容積を変化させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータに個別液室を膨張、収縮、再膨張、再収縮させるための駆動信号を入力することで液体を吐出させる液体吐出方法において、駆動信号入力完了後のメニスカスのオーバーシュートを防止して、突き出し液柱の屈曲を要因とした液体吐出方向の偏向を抑制する。
【解決手段】上記駆動信号入力完了後に出現する振動板の極小変位に対し、当該出現後から吐出口側にて液柱切断部が観察される時点までの振動板変位が極小変位を下回らないように、個別液室を膨張させるための波形部分と、個別液室を初期容積に戻すための波形部分とを含む補助駆動信号をアクチュエータに入力する。 （もっと読む）

【課題】空気チャネルの電極に印加される駆動波形の駆動電圧を低下させる。
【解決手段】インクチャネルと空気チャネルとが下記の条件（１）及び（２）を満足するように配置されてチャネル列を構成し、前記空気チャネル内で対向する側壁面の電極同士が電気的に接続されていて、前記インクチャネルは、隣接したインクチャネルのインク吐出タイミングが同一にならないように、Ｎ（Ｎは３以上の整数）個の群に分割し、各群毎にインクチャネルの側壁を隔てた両側の空気チャネル内の前記電極に駆動波形を印加する。（１）インクチャネルの前記側壁を隔てた両側は空気チャネルが配置される（２）隣接するインクチャネル間には、１つの空気チャネルが配置される。 （もっと読む）

【課題】吐出特性を正確に把握して印字品質の向上を図ることができる液滴吐出ヘッド及
び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル列３８が２列並設されるノズル基板３３と、ノズル
基板３３を支持するヘッドケース２０とを備える液滴吐出ヘッド１０であって、ヘッドケ
ース２０内において上記並設されたノズル列３８の間に沿って配設され、ヘッドケース２
０外に一部が露出する露出部４２を備える熱伝導板４０と、露出部４２と接触して温度を
計測する熱電対５０とを有するという構成を採用する。 （もっと読む）