【課題】駆動パルス数による着弾位置ずれを改善する。
【解決手段】１印刷周期内に、同じパルス形状の複数の駆動パルスを出力し、ノズル開口10から流体抵抗部までの液体流路によって決まる固有振動数の周期をＴｃ、１印刷周期内の最大駆動パルス数をｎ、連続するnの駆動パルス列の第ｍ駆動パルスをＰｍ、第ｍ駆動パルス開始から第ｍ＋１駆動パルス開始までのパルス間隔をＴｍ、ｉを自然数とすると、各パルス間隔と固有振動数周期Ｔｃの自然数倍の差の絶対値は、０．５×Ｔｃ≧｜ｉ×Ｔｃ−Ｔ１｜≧｜ｉ×Ｔｃ−Ｔ２｜≧・・・・≧｜ｉ×Ｔｃ−Ｔ（ｎ−１）｜≧０であり、かつ、駆動パルスの選択は、駆動パルス数が１の場合はＰ1を選択し、駆動パルス数が２の場合はＰ1以外の連続する２パルスを選択し、駆動パルス数がｄ（２≦ｄ＜ｎ）の場合はＰ１以外の連続するｄパルスを選択し、駆動パルス数がｎの場合は、Ｐ1、Ｐ２、・・Ｐｎを選択する。 （もっと読む）

【課題】液滴の噴射特性を安定させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル１３と、ノズル１３に接続され隔壁１７によって区画された複数の圧力発生室１１と、圧力発生室１１内に液滴噴射のための圧力を発生させる圧力発生手段１６とを具備し、隔壁１７には少なくとも圧力発生室１１に対応する領域に間隙部４０が設けられており、間隙部４０はノズル１３とは異なる方向の面に設けられ且つ圧力発生室１１とノズル１３との接続部とは反対側の端部近傍で接続される接続孔４１を介して外部と連通されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】貫通電極の形成工程の簡素化や工程数の減少により、量産コストの低減を図る配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１の第１の面１ａと第１の面１ａの反対側の第２の面１ｂとを貫通する貫通孔３と、基板１の第１の面１ａに形成され、第１の面１ａにおける貫通孔３の開口を閉塞する配線２と、貫通孔３を充填するように形成され、第１の面１ａに形成された配線２と第２の面１ｂとを電気的に接続させる貫通電極５と、を有する配線基板１０の製造方法において、第２の面１ｂを上にした状態の基板１の上に粉末からなる導電性材料４を堆積して、貫通孔３を導電性材料４で充填する第１の工程と、貫通孔３に充填されなかった余剰の導電性材料４を基板１の上から除去する第２の工程と、基板１を加熱して貫通孔３に充填された導電性材料４を溶融させ、その後、導電性材料４を凝固させる第３の工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動のためのエネルギーを変えることなく、高速駆動を可能とする液滴吐出アクチュエーター、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】ノズルと、ノズルに連通する加圧液室と、前記加圧液室を構成する面の一つである振動板とを有し、前記振動板上には下部電極層と、圧電材料層と、上部電極層とが積層されて成る膜状の圧電素子が設けられ、前記圧電素子を電気的に駆動することで前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出アクチュエーターであって、前記振動板が変位した場合に、前記振動板或いは前記圧電素子が接触しうる対向壁を有し、前記対向壁には、少なくとも１以上の開口部が設けられ、前記開口部は、前記振動板が変位した場合に、前記開口部のエッジが、前記振動板或いは前記圧電素子と接触しない部分に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック振動板の破壊を低減して耐久性及び信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の一方面側に設けられたシリコン酸化膜５０と、該シリコン酸化膜５０の前記圧力発生室１２とは反対側に設けられたセラミック振動板５５と、前記セラミック振動板５５の上方に設けられて、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生素子３００と、を具備し、前記シリコン酸化膜５０と前記セラミック振動板５５との間には、貴金属材料からなる金属膜５６を有する。 （もっと読む）

【課題】きわめて簡単な構成により静電駆動方式における残留電荷を消失させることができる静電アクチュエーターおよびその製造方法等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、個別電極５に対して所定のギャップを介して対向配置された振動板６と、個別電極５上に形成された絶縁膜７と、絶縁膜７上に表面保護膜として形成されたＤＬＣ膜８とを備え、ＤＬＣ膜８と個別電極５とを、絶縁膜７を貫通する導通部９により導通させる。 （もっと読む）

【課題】管状基材上に圧電素子を短時間で、低温かつ任意の厚さで接着工程もなく直接形成してなるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、円管状基材１５の外面に下電極１６、圧電素子１７、上電極１８をこの順に積層してなる。駆動素子として用いられる圧電素子１７は、下電極１６が形成された円管状基材１５に圧電材料からなる微粒子をガスとともに吹き付けることにより直接形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス、構成を簡単にし、残留電荷等の除去等を行うことができる静電ア
クチュエーター等を得る。
【解決手段】電極基板１０上に形成された固定電極となる電極１２の個別電極部１２Ａと
、個別電極部１２Ａと所定の距離で対向し、個別電極部１２Ａとの間で発生した静電気力
により動作する可動電極となる振動板２２と、個別電極部１２Ａを覆う絶縁膜１３と、振
動板２２の個別電極部１２Ａと対向する面に直接設けられ、接触による摩耗から絶縁膜１
３を保護する、カーボン系材料からなる表面保護膜２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電特性や劣化特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と該第１電極６０上に形成された一般式がＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト構造を有する圧電体層７０と該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０のＢサイトには鉛が存在しており、ラマン散乱により得られるラマンシフトにおいて、Ａ_１（３ＬＯ）のピーク位置が、７１０ｃｍ^−１〜７１２ｃｍ^−１の圧電体層７０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出特性のばらつきを抑える。
【解決手段】 流路ユニットには、複数の圧力室と、複数の圧力室の各配列方向に関して最も外側にある圧力室から配列方向外側に離隔した空隙とが形成されている。アクチュエータユニット４２は、各圧力室と対向する位置に形成された個別電極６０と、各空隙と対向する位置に形成された周縁電極６５と、共通電極とを有している。個別電極６０、周縁電極６５及び共通電極は、ドライバＩＣ５１と接続されている。ドライバＩＣ５１は、異なる電位を交互に繰り返すインク吐出信号を生成すると共に、個別電極６０に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、所定電位に保持されたスタンバイ信号及び基準電位に保持された基準信号を生成すると共に、個別電極６０に吐出信号を供給しているときに、スタンバイ信号を周縁電極６５に供給し、基準信号を共通電極に供給する。 （もっと読む）

【課題】簡単に組み立てることができると共にコンパクトに構成することができる基板アッセンブリ等を提供すること。
【解決手段】両面にそれぞれ接着部を有するベースプレート２１と、平板状の基板本体２６から「Ｌ」字状に屈曲する導通部２７から成る一対のフィルム基板と、を備え、各導通部２７を内向きに且つ所定の間隙を存して一対のフィルム基板を対向配置する配置工程Ｓ１と、間隙にベースプレート２１の挿入端面を各導通部２７の先端部位に突き当てる挿入工程Ｓ２と、各フィルム基板を内側に寄せて各基板本体２６を接着部に接着する接着工程Ｓ３と、を経て、一対のフィルム基板がベースプレート２１に組み付けられた基板アッセンブリであって、一対の導通部２７の先端部位が、挿入端面の延在方向において、それぞれ斜めに且つ相補的形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 より簡易に、かつ高精度にアライメントできる液体噴射ヘッド、これを用いて
高精度でアライメントされた液体噴射ヘッドユニット、及びこの液体噴射ヘッドを有する
ことで信頼性の高い液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、液体が噴射されるノズル開口３４からなるノズル列が
設けられた透明性を有するノズルプレート３５と、このノズルプレートに接合され、前記
ノズル開口に連通した連通路が形成された連通路形成基板とを備え、このノズルプレート
及び連通路形成基板のうちの一方の他方との接合面には、前記ノズル開口のうち位置決め
基準となるノズル開口の近傍に、位置決め基準となるノズル開口を特定するマークとして
の凹部３３０が形成されている。液体噴射ヘッドユニットは、この液体噴射ヘッドを備え
、また、液体噴射装置は、この液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性のバラツキを抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴
射装置及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極６０と、圧電体層７０と、第２の電極８０とを有する圧電素子３
００を具備し、圧電体層７０が形成されている領域に対向する領域に形成されている第１
の電極６０は、第１の導電層６１と、第１の導電層６１よりもヤング率の小さい材料から
なり、第１の導電層６１より流路形成基板１０側に形成された第２の導電層６２と、を有
し、圧電体層７０が形成されていない領域に対向する領域に形成されている第１の電極６
１は、第１の電極６０の表面が第２の導電層６２で構成されているようにする。 （もっと読む）

【課題】成膜する膜の組成及び基板サイズによらず、面内方向の組成等の膜特性を高度に均一化することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】基板ＢとターゲットＴとを対向させて、プラズマを用いた気相成長法により基板Ｂ上にターゲットＴの構成元素を含む膜を成膜するに際して、少なくとも基板Ｂの外周から基板Ｂの側方に１０ｍｍ離れた位置までの電位を基板Ｂと同電位に調整する、及び／又は基板Ｂを基板Ｂと同電位に調整された壁面１０Ｓで囲む。 （もっと読む）

【課題】高ＤＵＴＹ時における吐出の不具合を抑制すると共に、気泡排出性を向上することが可能な液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置を提供する。
【解決手段】リザーバーは、インク導入口１２がリザーバー１６に対してノズル列設方向における中央寄りに位置する第１のリザーバーと、インク導入口がリザーバーに対して第１のリザーバーの場合よりもノズル列設方向における端部寄りに位置する第２のリザーバーとから成り、一定時間、一定数のノズルからそれぞれ液体を吐出したときのインク導入口における圧力が、記録ヘッドから吐出される複数種類のインクの中で他のインクよりも高いインクを、第１のリザーバーに導入する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから安定して流体を噴射させることを目的とする。
【解決手段】（１）駆動信号が印加されることによって駆動する複数の駆動素子と、（２）前記駆動素子の駆動によって流体を噴射する複数のノズルと、（３）前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、（４）画像データに基づいて、あるタイミングで前記ノズルから流体が噴射されるノズル数を算出し、前記ノズル数に応じた前記駆動信号を前記駆動信号生成部に生成させ、前記ノズル数に応じた前記駆動信号によって前記あるタイミングで前記ノズルから流体を噴射させる制御部と、を有することを特徴とする流体噴射装置。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの低下を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び結晶基板
のエッチング方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する液体流路が形成されている流路形成基
板１０を具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、流路形成基板の表面に開口部２０
２を有する膜を形成してマスク２００とするマスク形成工程と、流路形成基板を開口部を
介してウェットエッチングすることで液体流路を形成するエッチング工程と、マスクを除
去する除去工程とを具備し、マスクは、少なくとも前記開口部の周囲に第一の凹凸部２０
１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルから安定して流体を噴射させること。
【解決手段】駆動波形が印加されることによって駆動する複数の駆動素子と、対応する前記駆動素子の駆動によって流体を噴射する複数のノズルと、を有する流体噴射装置における駆動波形の設計方法であって、前記駆動波形を決定するためのパラメータを複数変化させて、第１の数の前記ノズルから同時に流体を噴射し、噴射特性を計測した結果である第１の結果を取得することと、前記パラメータを複数変化させて、前記第１の数とは異なる第２の数の前記ノズルから同時に流体を噴射し、前記噴射特性を計測した結果である第２の結果を取得することと、同じ前記パラメータにおける前記第１の結果と前記第２の結果との差に基づいて、前記流体噴射装置にて使用する前記駆動波形の前記パラメータを決定することと、を有する駆動波形の設計方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの駆動部間に残存する圧電体を除去することによりクロストークを低減でき、圧電体の分割時に発生するストレスを緩衝できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、複数のチャンバと、複数のチャンバをカバーするメンブレインと、複数のチャンバにそれぞれ圧力を提供するように、仮想の分割線を境界としてメンブレイン上に互いに離隔して配置される複数の駆動部と、を含むインクジェットヘッドを製造する方法であって、分割線の位置に対応するメンブレインの一面に溝を形成する工程と、溝が形成されたメンブレインの一面に接着樹脂を用いて圧電体を接合する工程と、溝が露出するように圧電体を分割する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無駄となる圧電素子部材を抑え、貼り付ける前に個々の品質を容易に確保することができ、圧電素子を効率よく組み付けることができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子は、互いに略平行に対向し、電極をそれぞれに備える第１主面と第１主面より面積が小さい第２主面とを有し分極方向が揃っている短冊状であり、振動板の配置に対応した上面の位置に窪みが設けられている配置プレートの窪みに圧電素子を入れて配置する圧電素子配置工程と、窪みに配置された圧電素子の第１主面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、振動板の外壁面と接着剤が塗布された第１主面とを対応させ、重ね合わせて接着する接着工程と、を有し、窪みは、第１主面が上面と同じ方向に向いて平面状に並び、圧電素子を位置決めするように前記圧電素子を保持する。 （もっと読む）