【課題】ＥＣＵがヒートクリーニングを要求した際にヒートクリーニングを実施できる空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】ＥＣＵ４から空気流量測定装置１に外部信号が入力されると、発熱ヒータの温度を空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニングを実施する。これにより、ＥＣＵ４がヒートクリーニングが必要と判断した際、あるいはＥＣＵ４がヒートクリーニングに適した運転状態であると判断した際にヒートクリーニングを実行できる。また、外部信号は、出力端子２８ｄに与えられるため、従来技術で用いていた「専用ハーネス」および「専用ターミナル端子」を不要にできる。さらに、ヒートクリーニング実行時は、吸気温度に基づいて発熱ヒータの温度を略一定に昇温させるため、温度の上がり過ぎによる発熱ヒータの劣化を回避することができ、信頼性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】流量信号を補正する際の補正精度を向上すること。
【解決手段】気体流路中に配置される一又は複数の抵抗体と、前記抵抗体に流れる電流又はこの電流に応じて発生する電圧を検出することにより前記気体流路中に流れる気体流量に応じた気体流量検出信号を出力する気体流量検出回路と、前記気体流路中の気体温度を検出するための気体温度検出素子あるいは集積回路内部に設けた基板温度を検出するための基板温度検出素子と、を有し、これらの温度検出信号を基に流量信号の特性補正を行う気体流量測定装置において、前記気体流量検出信号の目標特性からある一定量以上外れた特性曲がりを補正する信号変換手段を備えることを特徴とする気体流量測定装置。 （もっと読む）

【課題】ヒートクリーニングを指示するための外部判定回路および専用ハーネスが不要で、且つエンジン停止後の給電が不要な空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】空気流量測定装置が通電を受けると、通電制御回路３に設けられたヒートクリーニング手段４が、一時的に、発熱ヒータ２の温度を、空気流量測定時の温度より高めるヒートクリーニングを実施する。具体的には、吸気温度に基づいて発熱ヒータ２の温度を略一定の目標温度に昇温させる。このように、通電を受けた際に空気流量測定装置がヒートクリーニングを実施するため、ヒートクリーニングを指示するための外部判定回路および専用ハーネスを廃止でき、コストを抑えることができる。また、空気流量測定装置が通電を受けた際にヒートクリーニングを実施するものであるため、エンジン停止後の給電を不要にでき、コストを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いフローセンサを提供する。
【解決手段】上面に凹部８が設けられた第１の基板１と、第１の基板１の凹部８の一部を覆うように配置された発熱素子６と、第１の基板１の上面に、発熱素子６を囲むように配置され、発熱素子６と同じ厚みを有する支持膜４０と、第１の基板１の凹部８及び発熱素子６を覆うように配置され、底面に凹部１１が設けられており、それぞれ第１の基板１の凹部８に連通する流入口及び流出口が設けられた第２の基板１４と、を備え、第１の基板１の凹部８の開口形状と、第２の基板１４の凹部１１の開口形状と、が等しく、第１の基板１の上面と平行な方向において、第１の基板１の凹部８の開口と、第２の基板１４の凹部１１の開口と、が同じ位置にある、フローセンサ。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができるとともに、検出結果の安定性が高いフローセンサ、流量計、および流量制御装置を提供する。
【解決手段】フローセンサ１は、流体が流通する流路１１が内部に設けられた流路保持体１０と、流体の速度を検出するための検出部２０と、を備え、流路保持体１０は、それぞれが接合された複数の部材１２，１３，１４を含み、検出部２０は、前記複数の部材１２，１３，１４のうちの一の部材と他の部材との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】万が一、流量検知部が真空の雰囲気下に晒されても、流量検知部に熱的なダメージがかかるのを回避することができる熱式流量計を提供することを目的とする。また、流量検知部が真空の雰囲気下に晒される可能性のある位置に配置される既存の熱式流量計に対し、万が一、真空の雰囲気下になったときでもこの流量検知部を保護することができる熱式流量計向け流量検知部保護装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱式流量計１０１は、気体ＧＳの流量を計測する計測流路Ｍに、ヒータである加熱用抵抗線４と、流速計測用抵抗線５Ａ，５Ｂと、測温抵抗体６とを有した流量検知部３を配置し、流量検知部３により気体ＧＳの流量を計測する熱式流量計１において、流量検知部３が、真空の雰囲気下に晒されたとき、流量検知部３を保護するため、加熱用抵抗線４への通電をオフにするスイッチ作動制御手段８０を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】副空気通路の副空気通路出口部付近に生じる剥離渦による空気流量計測への影響を抑制して脈動流下でも高い計測精度を有する発熱抵抗体式空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の発熱抵抗体式空気流量測定装置１００は、副空気通路出口部２０４の流路壁（カバー部材）２０６を切り欠いて、副空気通路出口部２０４の一部を主空気の順流方向に直交する方向に向かって開放する構造とすることで、副空気通路構成部２０５よりも順流方向下流で発生する剥離渦が副空気通路出口部２０４から副空気通路２０２内に侵入するのを抑制した。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体をそれぞれＰＷＭ制御を行い、所定温度に制御する熱式流量測定装置において、温度検出時に１つでもＰＷＭ制御をしていると、ノイズの混入により精度の高い温度検出ができない。そこで本発明は、上記課題に鑑み、ノイズに影響されない高精度の温度検出ができるようにした熱式流量測定装置を提供するものである。
【解決手段】発熱抵抗体２０，３０の加熱電流１０３，１０９を制御するＰＷＭ制御を中断して、ともに中断している期間に、温度検出することにより、ＰＷＭ制御によって発生するノイズの影響を排除し、温度検出の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】第１に向上された測定精度を保証し、第２に運転時の向上された自在性を有する、熱量測定式の質量流量計に用いられるセンサ装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのプローブ３が、測定管２の流れ横断面４内に位置決め可能であり、ホルダ５が設けられており、該ホルダ内にプローブ３が取り付けられていて、プローブ３が、測定管２内での組込み状態において、半径方向の間隔を持って実質的に無接触に、測定管２の壁７に設けられた少なくとも１つのプローブ切欠き６を通って測定管２の流れ横断面４内に案内されており、しかも前記ホルダは、プローブ３が測定管２から熱的に分離されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】流体の漏洩と正常な使用とを、構造を複雑化することなく安価な構成で識別できる漏洩監視装置を得る。
【解決手段】付与される圧力変化に対する応答として発生する流量変化を検出する流量変化検出手段と、検出される流量変化に基づいて、下流側で流体の漏れが発生している否かを判定する判定手段７ｄを備えた漏洩監視装置を構成するに、流量変化検出手段の流量検出部位に、ダイアフラム上に電気的抵抗部を所定のパターンで形成した単一のセンサ部と、電気的抵抗部の電気的特性を検出する一対の電極とを備え、ダイアフラムの表面及び裏面を流体が流れるフローセンサ６を備え、フローセンサ６の一対の電極を介して出力される電気的出力から管路２を流れる流量を導出する流量導出手段を、流量変化検出手段に備える。 （もっと読む）

【課題】微細化されたフィラメントを使用しても従来と同様の感度を得ることができ、ガスの流れを阻害することなく、かつ流量変動に影響されない熱伝導度検出器を実現することを目的としている。
【解決手段】加熱したフィラメントに測定対象のガスが接することにより発生する前記フィラメントの抵抗値の変化に基づき前記ガスの熱伝導度を検出する熱伝導度検出器であって、接合された基板内部に前記フィラメントと前記ガスの流路が設けられ、前記フィラメントと対向する内壁の少なくとも一方と、前記フィラメントとを近接させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜部を有するセンサの製造方法において、薄膜部の強度を確保することが可能なセンサ製造方法を提供する。
【解決手段】第１の絶縁膜２２上に金属配線３、５を構成する金属膜２３を形成する金属膜形成工程と、金属膜２３の粒径が大きくなる熱処理を行う熱処理工程と、金属膜２３をイオンミリングによってエッチングすることにより金属配線３、５を形成するエッチング工程と、金属配線上に第２の絶縁膜２５を形成する第２の絶縁膜形成工程とを有するセンサ製造方法において、エッチング工程は、金属膜２３のイオンミリングにより第１の絶縁膜２２の表面に形成された凹凸をエッチングにより低減する凹凸低減エッチング工程を含んでおり、凹凸低減エッチング工程による第１の絶縁膜２２のエッチング量を金属膜２３の膜厚の３０％以上とする。 （もっと読む）

【課題】乱流やノイズによる流量計測値の変動に影響を受けることなく、ガスの流量計測精度を向上することができ、排気ガス性能、燃費性能を向上することができる内燃機関のガス流量計測装置を得ること。
【解決手段】発熱抵抗体３０の放熱量に基づいてガスの流量を検出するガス流量センサ１３を備えた内燃機関のガス流量計測装置は、ガス流量センサ１３により検出したガスの流量検出値を微分して流量微分値ＤＱを算出し、その流量微分値ＤＱに応じた補正量で流量検出値を補正した流量補正値Ｑｅｃを算出する。これにより、乱流やノイズによる一時的な流量変動の影響を軽減させることができる。したがって、流量検出値Ｑｅｓの変動があった場合でも補正の誤動作がなく、逆流量に応じた適切な補正を行うことができ、流量計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】検出誤差が生じる可能性を低減しつつ、手間がかかることを抑制できる粒子状物質検出装置、および検出システムを提供する。
【解決手段】粒子状物質検出装置は、排気ガスの流量を算出するための流量情報を検出する流量検出部３２と、絶縁体Ｌの第１主面３ａに堆積された粒子状物質の堆積量を算出するための堆積量情報を検出する堆積量検出部３１と、単位時間当たりに移動した排気ガス中に含まれている粒子状物質の量を算出する演算部４とを備え、流量検出部３２は、排気ガスの雰囲気が有する温度に基づいて、流量情報を検出し、堆積量検出部３１は、第１発熱部３１ａを有しており、かつ第１主面３ａと第１発熱部３１ａとの間の温度と第２主面３ｂと第１発熱部３１ａとの間の温度とに基づいて、堆積量情報を検出し、絶縁体Ｌには、第１発熱部３１ａの熱が、流量検出部３２へ伝わることを抑制するための第１切欠部Ｃ_１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気絶縁膜のダイアフラム部の周縁部を有機材料からなる保護膜で覆う構造において、ダイアフラム上の抵抗体配線はダイアフラム周辺部を横切る構造が存在し、この測温抵抗体などの狭幅配線がダイアフラム周辺部を横切る箇所では、保護膜の厚さが薄くなりダスト衝突性能が低下する課題がある。
【解決手段】発熱抵抗体本体４に接続された発熱抵抗体配線４′又は測温抵抗体本体５ａ，５ｂに接続された測温抵抗体配線５ａ′，５ｂ′がダイアフラム部３０の周縁部を横切る箇所に、発熱抵抗体配線４′又は測温抵抗体配線５ａ′，５ｂ′と並べて、電気絶縁膜３からダイアフラム中央部に向けて逆凸上に形成された膜構成部１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】ガスの組成分析を行うにあたり、サンプル流量調整用のマスフローコントローラ内部における水分の凝縮を抑制するとともに、マスフローコントローラの構造に起因する分析計の応答遅れを抑制することにより、組成分析の精度を向上させる。
【解決手段】ガス組成分析装置１０は、分析対象となるガスをサンプリングするサンプリング手段（バルブ１２等）と、このサンプリング手段でサンプリングしたサンプルガスの流量を調整するマスフローコントローラ１３と、マスフローコントローラ１３で流量を調整したサンプルガスの組成分析を行う組成分析手段１４と、を備え、さらに、サンプリング手段でサンプリングされマスフローコントローラ１３に導入されるサンプルガスに希釈ガスを供給してサンプルガスを希釈する希釈手段（希釈ガス用のマスフローコントローラ１５等）を備える。 （もっと読む）

【課題】液体や気体の被計測流体の流れ（主に流量と流速）を計測するに当り、流体温度、粘性、引火性、化学的安定性などを考慮した各種用途に応えられる極めて安価で単純構造の熱型フローセンサを提供する。
【解決手段】用途に応じて異なるヒータと温度センサとを備えた基板を有する熱型フローセンサのセンシングユニットと、熱型フローセンサを構成する用途に応じた内部形状の流路とは別々に用意する。それぞれ用途に応じてセンシングユニットと流路とを選択して組み合わせて取り付けできる流体の漏れの無い構造にする。ヒータと温度センサからの電気的端子が基板を介して流路の外部から電気的接続ができるような構造とし、ヒータと温度センサは、流体に直接接触するような構造にして応答速度と感度を増大させる。また、必要に応じて制御回路や演算回路などを有する電気回路計測ユニットを取り付けられるようにする。 （もっと読む）

【課題】流れセンサ近傍の自然対流の発生を低減することのできる流量計を提供する。
【解決手段】流量計１は、ハウジング３内を流れるガス（被測定流体）の瞬時流量を検出する流れセンサ１２と、ハウジング３内において流れセンサ１２より上流に設けられ、ガス（被測定流体）を整流する上流側整流ユニット１３と、ハウジング３内において流れセンサ１２より下流に設けられ、ガス（被測定流体）を整流する上流側整流ユニット１４と、を備える。 （もっと読む）