【課題】水蒸気改質用の純水の流れを検知する安価で、消費電力の低減が可能な熱式流量センサを備えた燃料電池発電装置を提供する。
【解決手段】燃料電池発電装置は、燃料電池発電モジュールに水蒸気改質用の純水を供給する純水ポンプ２９と、この純水ポンプ２９により供給される純水の流れを検知し且つヒータ部３２と１対の温度検出センサ３３，３４とを備えた熱式流量センサ３１と、純水ポンプ２９と熱式流量センサ３１とを制御する制御ユニット３５とを備え、熱式流量センサ３１のヒータ部３２に印加する電力を、純水ポンプ２９の吐出周期と同期させ、制御ユニット３５は熱式流量センサ３１の１対の温度検出センサ３３，３４の検出信号に基づいて純水の流れの有無を検知する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低いフローセンサを提供する。
【解決手段】裏面に第１の凹部１１が設けられ、第１の凹部１１の上方の表面に第２の凹部１２が設けられた基板１と、第２の凹部１２を覆うように基板１の表面上に配置された膜２と、膜２の裏面に配置され、第２の凹部１２に格納された、第１の測温素子３２、発熱素子３１、及び第２の測温素子３３と、を備えるフローセンサ。 （もっと読む）

【課題】計測精度の高いフローセンサを提供する。
【解決手段】表面に開口を有する穴が設けられた基板１と、穴を覆うように基板１の表面上に配置された膜２と、穴を覆う膜２に設けられた電気抵抗素子３１、３２、３３と、を備え、基板１に、基板１の外部と、基板１に設けられた穴の内部と、を結ぶ流路１２が設けられている、フローセンサ。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】バイパス流路５を流れる一部の空気がサブバイパス流路６へ逆流することによる空気の乱れを低減できるエアフロメータを提供する。
【解決手段】流路形成ボディには、エンジンに吸入される空気の一部を取り込むバイパス流路５と、このバイパス流路５を流れる空気の一部を取り込むサブバイパス流路６とが形成され、このサブバイパス流路６にチップ式のセンサ部が配置されている。サブバイパス流路６の入口６ａには、順流の向きと逆流の向きとを整流する整流板１４が配置されている。この整流板１４により、サブバイパス流路６の入口６ａに順流の通り道と逆流の通り道とを形成できるため、順流と逆流との衝突による乱れを低減でき、センサ部の検出精度が安定する。 （もっと読む）

【課題】より感度を向上させることのできる流量センサを得る。
【解決手段】流量センサ１は、基台２と、当該基台２の一面２ａに支持されて表面３ｃを流体が流れる絶縁部３と、当該絶縁部３内に設けられ、流体の流れ方向に並設される発熱素子７および感熱素子８，９と、を備えている。そして、絶縁部３は、当該絶縁部３の表面３ｃ側から見て感熱素子８，９が設けられた領域における少なくとも当該感熱素子８，９よりも表面３ｃ側の部位が、絶縁部３の他の部位よりも熱伝導率が高い材料で形成されている。さらに、絶縁部３の他の部位が、当該絶縁部３の表面３ｃ側から見て発熱素子７と感熱素子８，９との間の部位に設けられている。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置において、逆流領域における測定精度を向上させる。
【解決手段】流量測定装置の逆流領域の換算マップは、逆流を含む脈動発生時における出力と流量の関係に基づいて設定されている。流量測定装置の使用時に生じる逆流は動特性を有するが、本発明によれば、流量測定装置の使用時に近い逆流特性を表す換算マップを予め備えることになる。このため、流量測定装置の使用時に換算マップを補正するという複雑な処理をすることなく、簡便に逆流領域における測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】センサデバイスと基板との間に発生する寄生容量を従来よりも抑制することができるとともに、センサデバイスと基板との電気的な結合を切り離すことによるセンサデバイスと基板との間の電気絶縁性を従来よりも向上することのできる三次元構造体を提供する。
【解決手段】三次元構造体１００は、第１の基板１と、第１の基板１の一方の面に形成された絶縁体からなる多孔層２と、多孔層２において第１の基板１が形成されている側の面と反対側の面に形成された第２の基板３とを備え、多孔層２における各孔２ａの積層方向に対する断面形状が、正六角形状の孔２ａを複数個並べたハニカム形状を有し、多孔層２の厚さは、１μｍよりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】流量センサの姿勢変化によって生じる流量誤差を低減できる熱式流量計を提供する。
【解決手段】熱式流量計は、センサハウジングに組み込まれる流量センサと、この流量センサの姿勢変化を検出する傾斜センサ４を備えている。流量センサは、姿勢変化によって生じる流量誤差を補正する流量補正部３７を備える。この流量補正部３７は、流量センサの姿勢変化によって生じる流量誤差と吸気量との相関データを記録した補正マップを有し、この補正マップより、傾斜センサ４の検出結果を基に流量誤差を求め、流量センサによって検出される吸気量を流量誤差に応じて補正する。
傾斜センサ４によって流量センサの姿勢変化が検出された場合は、傾斜センサ４の検出結果を基に流量誤差を求め、流量センサによって検出される吸気量を流量誤差分だけ補正することにより、流量センサの姿勢変化によって生じる流量誤差を低減できる。 （もっと読む）

【課題】逆流領域の出力特性の製品毎のばらつきを調整する流量測定装置の調整方法を提供する。
【解決手段】脈動を形成したダクト内に流量測定装置を配置して、逆流領域における流量センサの出力を、所望の出力特性となるように調整する。これによれば、逆流特性の製品毎のばらつきを調整することができる。このため、逆流領域でも、製品毎のばらつきを気にすることなく、１つの換算マップによって電気信号から流量への換算が可能になる。また、流量測定装置使用時の出力特性に近い出力特性として、脈動発生状態における流量センサの出力から得た逆流領域の出力特性を所望の出力特性に調整している。これにより、逆流領域での流量測定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】流路に対して流量センサ部が両持ち支持された流量検出装置において、流量検出精度を向上すること。
【解決手段】流量検出装置（１０）は、流路（１１ｂ）を有する流路部材（１１）と、一部が流路部材（１１）から流路（１１ｂ）に突出して配置されるとともに、流路部材（１１）に両持ち支持された流量センサ部（１２）を備える。流量センサ部（１２）は、センサチップ（２０）、支持部材（３０）、突起部（４０）を備える。支持部材（３０）は、センサチップ（２０）の固定部（３１）と整流部（３２）を備える。突起部（４０）は、支持部材（３０）から突起し、流路部材（１１）に接続されて支持部材（３０）とともに流路（１１ｂ）を分割する。突起部（４０）の厚さは、センサチップ（２０）の流量検出部形成面（２１ｂ）と固定部（３１）の裏面（３１ｂ）との距離（Ｄ）よりも薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減する。
【解決手段】流量測定装置１は、主流路２１を流れる測定対象流体の流量を検出するための流量センサ８と、マイクロヒータおよびサーモパイルを有し、測定対象流体の物性値を検出するための物性値センサ７と、物性値センサ７が配置された物性値検出用流路３２を有する副流路部３と、物性値センサ７から出力された温度信号に基づいて算出された測定対象流体の物性値を用いて、流量センサ８から出力された温度信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を補正する流量補正部とを備える。マイクロヒータおよびサーモパイルは、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されており、流量センサ８は、物性値検出用流路３２を除く位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】被測定流体中への金属等の不純物の溶出を抑制することができるとともに、従来に比べて精度良く流体の流量を測定することのできる流量センサ等を提供する。
【解決手段】内部に被測定流体が流通される樹脂製配管と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体を加熱するための加熱機構と、樹脂製配管の外部に設けられ、被測定流体の流れによる温度変化を検出するための温度検出機構と、を具備した流量センサであって、樹脂製配管の一部に、管壁の厚さを薄くした薄肉部を設け、当該薄肉部に加熱機構及び温度検出機構を配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト中への金属等の不純物の溶出を抑制することができるとともに、フォトレジストの流量と気泡の有無を検出することのできる気泡検出方法及びレジスト塗布方法並びにレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】内部に流体が流通される樹脂製配管と、前記樹脂製配管の外部に設けられ、前記流体を加熱するための加熱機構と、前記樹脂製配管の外部に設けられ、前記流体の流れによる温度変化を検出するための温度検出機構と、を具備した流量センサを、内部にフォトレジストが流通されるフォトレジスト供給配管に介挿し、前記流量センサからの信号に基づいて前記フォトレジスト供給配管内を流通する前記フォトレジストの流量を検出するとともに、前記フォトレジスト中の気泡の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】検出可能範囲の広いフローセンサを提供する。
【解決手段】流体を加熱するヒータ２２とヒータ２２によって生ずる流体の温度差を測定するように構成された上流側温度センサ２３および下流側温度センサ２４とを含む検出部２１が設けられた基板２０と、基板２０の下面側に流体が流通する第１流路４１ａを形成し、基板２０の上面側に流体が流通する第２流路３１ａを形成するように設けられた上部流路形成部材３０および下部流路形成部材４０と、を備え、第１流路４１ａおよび第２流路３１ａのうち少なくとも一方において、流体が流通する方向に垂直な断面の面積は、ヒータ２２に対して下流側が上流側より大きい。 （もっと読む）

【課題】湿度を高精度に検出できる熱式湿度センサを得る。
【解決手段】熱式湿度センサは、温度センサ４、５、６、７と、温度センサ４、５、６、７の出力に基づいて湿度に応じた信号を出力する湿度検出手段と、温度センサ４、５、６、７の周囲を流れる空気流量を計測する空気流量計測手段８０、８２と、空気流量計測手段８０、８２により計測した空気流量を基に、湿度検出手段の出力信号を補正する補正手段を有する。これにより、湿度の誤差要因となる空気流の影響を取り除き、湿度の計測精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】安定した起動特性とセンサ素子の劣化抑制を実現し、ヒータの更なる小型化にも対応し得るヒータ温度制御手段を有する熱式流量センサを提供する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板に設けた空洞部と、半導体基板上に空洞部を覆う様に設けた絶縁膜と、絶縁膜が空洞部を覆うことにより形成される薄膜領域と、絶縁膜上の薄膜領域に設けた発熱抵抗体と、絶縁膜上の薄膜領域上に設け、且つ、温度に応じて抵抗値が変化する第１感温抵抗体と、第１感温抵抗体の温度に基づいて発熱抵抗体の温度を制御する発熱制御手段と、発熱抵抗体の近傍に設置し、且つ、温度に応じて抵抗値が変化する第２感温抵抗体と、第２感温抵抗体の温度に基づいて流体の流量を検出する流量検出手段と、を有し、発熱制御手段は、第１感温抵抗体の目標温度となる第１指標温度と第１感温抵抗体の退避温度となる第２指標温度とに基づいて発熱抵抗体の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】センサチップのメンブレンの耐久性が劣化することなく、空気流が大流量域にある時も高精度で流量測定が可能な空気流量測定装置を提供するる。
【解決手段】半導体基板１１の一端にメンブレン１２が形成され、該メンブレン１２に空気流量を検出するための検出部ＲＫが構成されてなるセンサチップ１４と、主流路２１を流れる被測定空気流の一部を、内部に露出するように配置されたセンサチップ１４の検出部ＲＫへ導く管状の副流路２０とを備える空気流量測定装置であって、センサチップ１４からの検出信号を入力して、空気流の流量を計算するための流量演算器３０と、副流路２０の開口度を変化させる弁体４０とを有してなり、流量演算器３０において、センサチップ１４からの検出信号と、弁体４０による副流路２０の開口度の情報とを合わせて計算し、空気流の流量を測定する空気流量測定装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】検出可能範囲の広いフローセンサを提供する。
【解決手段】フローセンサは、一方の面に第１凹部２０１ａが形成された第１基板２０ａと、一方の面における第１凹部２０１ａに対向する位置に第２凹部２０１ｂが形成された第２基板２０ｂと、第１凹部２０１ａと第２凹部２０１ｂとの間に配置され、流体を加熱するヒータ２１とヒータ２１によって生ずる流体の温度差を測定するように構成された上流側温度センサ２３および下流側温度センサ２４とを含む検出部２１と、を備え、第１基板２０ａの他方の面と第２基板２０ｂの他方の面とは接合されており、第１基板２０ａの第１凹部２０１ａが形成された部分および第２基板２０ｂの第２凹部２０１ｂが形成された部分のうち、一方の熱伝導率が他方の熱伝導率より高い。 （もっと読む）

【課題】流体の流通有無に関わらず、回路の正常・異常を判定することが可能な発熱抵抗式流量センサ及びその自己診断方法を提供する。
【解決手段】流量検出用抵抗（３０ｕ，３０ｄ，３１ｕ，３１ｄ）と同じ材料、同じパターンで形成され、ヒータ抵抗（１１）に対し上流側と下流側とで互いに異なる距離に位置する２つの自己診断用抵抗（３２ｕ，３２ｄ）が直列接続されてなる自己診断用抵抗対（３２）を、２つの流量検出用抵抗対（３０，３１）に並列に設けた。そして、自己診断の第１期間（ｔ１）において、ヒータ抵抗（１１）への電力供給が遮断されるとともに、第１選択手段（３３）により、抵抗対（３０，３１）からなる第１ブリッジ回路（３８）の出力が選択され、第２期間（ｔ２）において、ヒータ抵抗（１１）へ電力が供給されるとともに、第１選択手段（３３）により、抵抗対（３０，３２）からなる第２ブリッジ回路（３９）の出力が選択される。 （もっと読む）