【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】 より信頼性が高い測定が可能な圧力測定装置及び圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 第１抵抗素子１３を有し、気体の圧力に対応した電気信号を出力する第１検知部４と、前記第１検知部４に近接配置され、前記第１抵抗素子１３より表面積が小さい第２抵抗素子１４を有し、前記気体の圧力に対応した電気信号を出力する第２検知部５と、前記第１検知部４の出力値から前記第２検知部５の出力値を差し引いて前記気体の圧力を算出する演算部８とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。
【解決手段】複合型圧力計の製造方法は、静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を含む複合型圧力計の製造方法であって、エッチングにより、シリコン基板の第一面側に第一溝部と第二溝部を形成する溝形成工程と、シリコン基板の第一面側で第一溝部と第二溝部を覆うように、シリコン基板にガラス基板を接合する接合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプを検査するにあたり、信頼性の高い真空圧の測定データが得られる真空ポンプの検査方法および真空圧測定装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプＰの良否を判断する真空ポンプの検査方法であって、真空ポンプＰを量産品からなる真空ワークの代わりに検査専用タンク５に接続して検査専用タンク５の真空圧データを測定し、予め求めた真空ワークの真空圧基準データと検査専用タンク５の真空圧基準データとの相関関係に基づき、検査専用タンク５の真空圧データから真空ポンプＰの良否を判断する。検査専用タンク５は、真空計２のセンサ２ａが取り付けられ、真空ワークの代わりとして真空処理されるタンク本体６と、一端がタンク本体６に一体に取り付けられ、他端が真空ポンプＰに着脱自在に接続されるホース７とを有する。 （もっと読む）

【目的】
単純な構造と回路構成で、極低気圧から1気圧以上の気圧も1つのセンサチップを用いて計測できる高帯域の気圧を高感度、高精度の（加熱励振を利用した）熱伝導型気圧センサを提供する。
【手段】
カンチレバ状の薄膜１０に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。また、ゼーベック電流の所定時間の積分により高感度化する回路や気流の影響を抑制するキャップを具備することができる。 （もっと読む）

【課題】 測定範囲が分子流領域以外の領域でも測定可能であり、かつ従来の真空計の耐振性や耐久性を改善し、衝撃や振動の加わる低温機器の真空度測定や監視などに好適であり、測定対象の圧力が上昇しても故障し難く、測定範囲の広い低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】 低温機器用真空計において、真空断熱部内に配置される低温源１と、この低温源１から離隔ｓ，ｍ，Ｌをとって対向するように配置される複数の受熱板２，３，４と、前記低温源１の温度を測定する温度センサ５と、前記複数の受熱板２，３，４のそれぞれの温度を測定する複数の温度計センサ６，７，８と、熱シールド板または隔壁９の温度を測定する温度センサ１０とを具備し、前記低温源１の温度および前記熱シールド板または隔壁９の温度と前記複数の受熱板２，３，４それぞれの温度分布から前記真空断熱部内の圧力域を検出する。 （もっと読む）

【課題】ガス分子の熱移動が対流によって支配される粘性流領域においても、測定子容器の形状を改良することなく、測定精度を向上させることができる熱伝導型真空計及びそれを備えた真空容器を有する真空処理装置を提供することにある。
【解決手段】金属線からなる熱フィラメントを測定子容器の内部に有し、該測定子容器と連通する真空容器内の圧力を測定する熱伝導型真空計であって、該熱フィラメントに振動を与える振動発生機構を備えていることを特徴とする熱伝導型真空計及び該熱伝導型真空計を具備している真空容器を有することを特徴とする真空処理装置。 （もっと読む）

【課題】従来の薄膜を振動させる励振手段である静電引力駆動と共振を利用しなくても済む、単純な構造と回路構成となる熱伝導型気圧センサを提供する。
【解決手段】カンチレバ状の薄膜に、薄膜温度センサと加熱手段および励振手段を設けてあり、薄膜ヒータの加熱手段による間欠加熱時の薄膜を構成する主たる二層の熱膨張の違いに基づく反り曲がりを利用して励振手段にしたこと、主たる二層として熱膨張係数に非常に大きな差があるシリコン層とシリコン熱酸化膜を使用する。 （もっと読む）

【課題】気体の対流によって電気抵抗体の出力電流が変動することを防止し、使用する際の取付け方向によらず、常に安定して圧力の測定が可能な熱伝導型真空計を提供する。
【解決手段】空洞２１は、２つの屈曲部４９ａ，４９ｂの間の電気抵抗体４０が配された領域Ｓにおいて、ピラニ真空計１０を使用する際に重力方向Ｗに沿った方向となる長さＬを、対流が生じない長さ、即ち１ｍｍ以下となるように形成される。 （もっと読む）

【課題】常圧から高真空までの広い圧力範囲で圧力を正確に検出可能であり、かつ、低コストで生産が可能で、経時変化によるメンテナンス性にも優れた圧力測定装置を提供する。
【解決手段】ピラニ真空計から出力された、気体の圧力に対応した電圧値Ｖ（出力）は、ドライバ２を介して演算部４に入力される。演算部４では、予め設定された閾値を参照し、入力された電圧値が閾値よりも低い場合は、メモリー７に記憶された数式３を用いて圧力を算出する。また、入力された電圧値が閾値よりも高い場合は、メモリー７に記憶された数式４を用いて圧力を算出する。 （もっと読む）

【課題】フィラメントを有するセンサー部と制御系とが離れていても測定精度が高く、構造が簡易で、かつ圧力の測定範囲が広い定電流型ピラニ真空計を提供する。
【解決手段】被測定系に設置される圧力測定用フィラメント２と、圧力測定用フィラメントに少なくとも２つの異なる値の定電流を供給する定電流供給手段４，５と、圧力測定用フィラメントの出力電圧が所定の切替閾値になった時、低圧力側で低い定電流を供給し高圧力側で高い定電流を供給するよう、前記定電流供給手段の定電流値を切替える定電流切替制御手段１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱電対を本来の温度センサとして用いるが、物理量を計測するための加熱用のジュール加熱によるヒータとしても動作させて、単純な構造で、高感度、高精度の熱伝導型センサ用の熱電対ヒータとこれを用いた温度計測装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０に熱電対を形成し、この熱電対を熱電対ヒータ部として電流を流して薄膜１０をジュール加熱できるようにした熱電対ヒータと、ジュール加熱を止めて、本来の温度差センサとしても動作させるようにする。温度差センサとして、熱電対を電流検出型熱電対として利用する。更に熱電対ヒータを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有する温度計測装置とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル素子のキャビティ内の圧力を求めるマイクロメカニカル真空センサが提供される。
【解決手段】 このセンサは、基板２と、基板に接続される少なくとも１つの導電性支持部材４と、少なくとも１つの支持部材３によって支持されると共に、支持部材によって基板から離間され、基板との間に空間を設ける熱抵抗層１とを備える。このセンサは、熱抵抗層が基板から実質的に熱絶縁されるように構成される。このセンサは、キャビティ内の圧力が、センサによって検出される温度値によって求められるように駆動するようにさらに構成される。 （もっと読む）

【課題】真空度、気体や液体の流量などの物理量を計測するための高感度、高精度、計測範囲拡大ができるような熱伝導型センサとこれを用いた熱伝導型計測装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０Ａと薄膜１０Ｂが、互いに熱抵抗を有するように熱抵抗部４５を設けた構造であり、薄膜１０Ａにはヒータ２５と温度センサ２０Ａ、薄膜１０Ｂには温度センサ２０Ｂを備えた熱伝導型センサであって、薄膜１０Ｂは、カンチレバ状に飛び出した構造で、かつ薄膜１０Ａから熱を受け取る構造とし、温度センサ２０Ａや温度センサ２０Ｂを温度差センサ、特に電流検出型熱電対とする。また、ヒータ２５を、一定電力供給、一定電流、一定電圧、または一定温度上昇分になるように制御すると、単純な構造の熱伝導型センサで済み、更に高感度で高速、さらに単純な回路構成となる熱伝導型計測装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】気体の圧力を精度よく求めることが可能な圧力測定装置１８５を提供する。
【解決手段】気体の圧力に対応した電気信号を出力するピラニ真空計１０と、ピラニ真空計１０の出力から気体の圧力を求める換算式を算出する演算装置（ＣＰＵ）と、ピラニ真空計に近接配置され、気体の圧力を測定する第２圧力計１００とを備え、第２圧力計１００は、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲より狭い範囲で気体の圧力を測定し、演算装置（ＣＰＵ）は、第２圧力計による気体の圧力測定結果を用いて、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲の全体に適用される換算式を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定可能の圧力範囲の拡大が可能であり、また測定精度の向上が可能なピラニ真空計を提供する。
【解決手段】電気抵抗体４０を表面に配置して、基板の貫通孔２４を跨ぐように形成された浮膜３２と、浮膜３２を囲むように基板の表面に形成された周辺膜３６と、浮膜の中心を挟んで対称に配置され、浮膜３２の外周を周辺膜３６に連結する一対の連結膜３４とを備え、電気抵抗体４０の両端部が、一対の第１連結膜３４の表面を通って、周辺膜３６の表面に引き出されていることを特徴とする。 （もっと読む）

この発明は、熱測定方法を使用して、包装を備える真空要素（１）内または真空排気体内の気体圧力を決定する方法及びシステムであって、前記真空要素または真空排気体の外側にフラップ（１２）を有し、該フラップは自由縁部の領域において接合された２つのフィルム表面によって画成される。本発明によるシステムは、一方において、フラップの２つのフィルム表面間の隙間が、真空要素の包装内部の空間に連通していて、通気孔を有する薄い材料層で少なくとも部分的に満たされるという事実によって特徴づけられ、他方において、前記材料層の位置で、ガス圧力に依存するフラップの熱交換係数を測定する装置によって特徴づけられる。本発明は、この測定装置の動作の方法にも関する。
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デバイスの層を形成するのに使用される気化した有機物又は無機物の圧力を測定するためのピラニ型の真空ゲージであって、５ミクロン以下の厚さを有し、かつ、０．００３５／℃より高い抵抗温度係数を有する延長フィラメントであって、気化した有機物又は無機物に曝されるフィラメント；前記有機物の分子構造を壊さないように前記フィラメントの温度が６５０℃未満であるように、フィラメントに電流を印加する手段；及び抵抗の変化又は電流の変化に応答して、気化した有機物又は無機物の圧力の関数であるフィラメントからの熱損失を測定する手段を含む真空ゲージ。
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【課題】測定環境に塵埃が侵入しても正常に動作することができる真空度測定装置および気相成長装置
【解決手段】取出用ボックス１２は、ターボ分子ポンプ１５により内部の気体を吸引される。ペニング真空計１４は、取出用ボックス１２内の気圧を測定する。測定値取得処理部２２は、ペニング真空計１４の測定値を取得する。異常値除去処理部２３は、連続した３つの測定値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を取得し、測定値Ｐ１と測定値Ｐ３とに基づき、ペニング真空計１４への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、これを満たさない測定値Ｐ２を取り除く。平均値算出処理部２４は、取り除かれなかった測定値の平均値を算出する。判定処理部２５は、平均値算出処理部２４が算出した平均値が、所定の閾値以下であれば、前記気密室内が所定の真空度に達したと判定する。 （もっと読む）