タンク内に収容された流体又はダクトを流れる流体の圧力の検査装置が、次のものを備える。即ち、装置１００、装置１００の外側を覆う軸対称の外部容器（１）であって、カウンタばね（３）により連結本体（２）に対する遠位位置に保持されるものとを有する。外部容器（１）は、前記本体（２）に対して軸方向に摺動し、これにより、装置（１００）の非起動状態から起動状態への切換えが許容される。このような装置（１００）の切り換えは、外力（Ｆ）に起因する。

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本発明は管路内部に流れる液体を検査する測定装置用コネクタに関し、前記コネクタは円板状取り付けリング（１１）を有し、前記リングは２つの実質的に平坦な平面（１２，１２′）、外側表面（１３）および軸方向に貫通する開口（１５）を決定する内側表面（１４）を有する。取り付けリング（１１）は少なくとも１個の放射状ドリルホール（１６）を有し、ドリルホールは外側表面に通じ、測定装置に接続できる。本発明は更にこの種の測定装置を備えた測定プローブおよび（メタ）アクリル酸とアルカノールの反応による（メタ）アクリル酸アルキルエステルの製造方法へのこの測定プローブの使用に関する。
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上面に参照用弾性表面波素子４ａを有した支持用圧電基板３上に、支持用圧電基板３よりも厚みが薄く、下面に圧力検出用弾性表面波素子７ａを有した圧力検出用圧電基板２を搭載し、支持用圧電基板３と圧力検出用圧電基板１との間
に封止材５を設ける。支持用圧電基板３と、圧力検出用圧電基板１と、封止材５とで囲まれた空間Ｓに、圧力検出用弾性表面波素子７ａ及び参照用弾性表面波素子４ａを配置することができる。温度補償が可能な、小型高信頼性の圧力センサ装置１を提供することができる。 （もっと読む）

本発明は、容量型センサに関するものであって、密封キャビティを備えたハウジングと；キャビティ内に配置されたプレートと；キャビティの一部を形成し、なおかつ、プレートから離間して配置された、ダイヤフラムと；このダイヤフラム上に設けられた第１導電性層と；プレート上に設けられた第２導電性層と；を具備し、第１導電性層および第２導電性層が、キャパシタの両電極を形成し、このキャパシタのキャパシタンスが、プレートに対してのダイヤフラムの位置に応じて変化するものとされている。
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検知器用の隔膜蓋装置および方法が開示される。検知器蓋は、基台に近接して配置される。くぼみを蓋内中央に配置することができ、このくぼみは、検知器蓋および隔膜と別個の構成部品を備える。このくぼみは、検知器の検知要素に接触する。さらに箔が、検知器が圧力を受けるとき検知器隔膜を貫通する空気の浸透の遮断に使用するようになされることができる。オーバーモールド隔膜が全体的に、検知器蓋の一部分として配置される。くぼみ自体は、検知要素との接触からの応力集中を減少させるための高度に研磨された表面を備える。このくぼみは、検知器の性能を最適化する、ステンレス鋼、セラミック等などから形成することができる。
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【課題】
本発明は、流体の圧力又は調整機器に存在する差圧を測定する方法及び装置に関する。この場合、電磁式に制御可能な調整機器（４）が、圧力測定に対して利用される。この場合、バルブ操作装置の位置又はバルブ操作要素に作用する力が、電気制御回路によって制御される。
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本発明は、スペーサによって相互に一定の距離をおいて配置される第１の担体フィルムと第２の担体フィルムから成る、フィルムという形態の圧力センサーに関する。距離ホルダーは、双方の担体フィルムが相互に対向して配置されている圧力センサーの作用領域を画定する少なくとも１つの切り欠きと、さらに、第１の電極および第２の電極と、感圧材料から成る層とを含む。これら第１の電極と、第２の電極と、感圧材料から成る層とは第１の担体フィルムおよび／または第２の担体フィルム上の作動領域中に配置されており、これにより、これら担体フィルムを感圧層を介して一緒に圧迫すると、第1の電極と第２の電極間に電気的接触が発生する。本発明によれば、圧力センサーは少なくとも１つの第３の電極を備えるが、この電極は第１と第２の担体フィルム上の圧力センサーの作動領域中に配置され、これにより、これら担体フィルムを感圧層を介して一緒に圧迫すると、第３の電極と第１の電極との間および／または第３の電極と第２の電極との間に電気的接触が発生するようになっている。
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堆積制御バッフル（２５０）は、（付加的に）設けられる。その複数の孔が、汚染物質を内側キャパシタ（１２７ａ）および外側キャパシタ（１２７ｂ）の膜（１６０）の領域へと導き、その差が汚染物質を無効とするようにする。可能な限り多くの汚染物質がダイヤフラム（１６０）に到達するのを防止する代わりに、上述したバッフルは、このような汚染物質が変換器の性能に与え得る影響を最小に抑えるように、所定のパターンで汚染物質をダイヤフラムへと導く。
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【課題】ダイヤフラムの変位量が少ない場合であっても、圧力を確実に検出することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム５には複数の支柱８が立設されており、それらの支柱８がコア６を囲繞している。支柱８には検出コイル９が巻装されている。コア６に巻装された励磁コイル７に励磁信号を出力すると、コア６に交流磁界が発生して検出コイル９に鎖交する。ダイヤフラム５に圧力が印加して湾曲すると、支柱８が拡開し、検出コイル９に鎖交する交流磁界が増大する。これにより、検出コイル９から出力され交流信号のピークレベルが変化するので、そのピークレベルに基づいて印加圧力を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】測定精度の長期安定性を保証することができる静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の静電容量型圧力センサは、圧力に応じて変形する上部電極が形成された第１の基板と、下部電極が形成された第２の基板とが誘電体膜を介して対向配置され、ダイアフラムの押圧により変化する第１の基板と第２の基板とで形成される静電容量の変化に応じて圧力を検出する静電容量型圧力センサであって、下部電極が、第２の基板に形成された溝を導電性材料で埋めて形成され、かつ形成された下部電極の表面が第２の基板の表面と同じ高さを有することで第１の基板と第２の基板の接合性を高めることができるので、測定精度の長期安定性を保証することができる静電容量型圧力センサを提供することができる。 （もっと読む）