【課題】被測定圧力を測定に適した圧力に調整して圧力測定装置に伝達でき且つ安全性も向上させた圧力調整装置および圧力測定装置の簡易な構造による提供。
【解決手段】シリンダユニット２と、ピストンユニット３とを備え、シリンダユニット２は、細管体２１と太管体２２を備えており、ピストンユニット３は、プランジャ３２と、細管体２１内に密嵌される第１の水密手段３０と太管体２２内に密嵌される第２の水密手段３１を備えており、第１の水密手段３０から細管体２１の自由端までの空間を第１圧力チャンバ２３として、第２の水密手段３１から太管体２２の自由端までの空間を第２圧力チャンバ２５としてそれぞれ画成し、第１圧力チャンバ２３または第２圧力チャンバ２５のいずれか１つから導入した圧力を測定に適した圧力に調整して他の１つの圧力チャンバに伝達できる圧力調整装置。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの腐食、及び、圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】被測定気体の圧力を電気信号に変換する圧力センサ（２０）と、該圧力センサ（２０）に被測定気体を導入するための導入孔（５３）が形成されたハウジング（５２）と、を有し、導入孔（５３）が有する２つの開口端（５３ａ，５３ｂ）の内、一方の開口端（５３ｂ）が、被測定気体の流動するパイプの中空内に配置される圧力センサ装置であって、一方の開口端（５３ｂ）は、導入孔（５３）の中心を通る軸方向に対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部と大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部の温度を均一化して圧力測定誤差を小さくする。
【解決手段】ダイヤフラムシール形圧力伝送器は、大気圧側ダイヤフラムシール圧力検出部２ａ及び圧力測定対象接液面側ダイヤフラムシール圧力検出部２ｂを高熱伝導性部材からなる１つのブロック９に取り付けて一体にする。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ_２等の高圧冷媒が通過する流路等の圧力の検出に用いた場合でも、高圧による破損を防止し、安全な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子２と、圧力検出素子が内面に固定されたべース４と、べースに対向して配置された受け部材５と、べースと受け部材とで挟持されたダイアフラム６と、ダイアフラムを挟持した状態のべース及び受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材１３と、ベースとダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、受け部材とダイアフラムとの間の空間内の圧力が、ダイアフラム及び液体を介して圧力検出素子へ伝達される圧力センサ１。挟持部材１３を備えるため、べースと受け部材との間に繰り返し高圧が付加された場合でも、両者が離間することがなく、べースと受け部材とが溶接接合されている場合でも、溶接部の割れを回避し、圧力センサの破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】メタルダイヤフラムの割れやワイヤの断線が発生することを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】空間１５に、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材２４を備える。これにより、オリフィス部材２４によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られので、受圧部となるメタルダイヤフラム１７に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。したがって、メタルダイヤフラム１７に印加される圧力の不均一を抑制することができ、メタルダイヤフラム１７の割れやワイヤ９の断線の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】指定した詰まりの程度を検知可能か否かを自動的に判定させる。
【解決手段】詰まり程度指定部１０と、詰まり特性演算部１１と、変形特性演算部１２と、圧力伝播モデル演算部１３と、評価判定部１４とを設ける。詰まり程度指定部１０から、判定対象として、所望の詰まりの程度を指定する。詰まり特性演算部１１は、指定された詰まりの程度から、その詰まりの流量特性を求める。変形特性演算部１２は、管路系を構成する要素の圧力変化に対する変形率を求める。圧力伝播モデル演算部１３は、求められた詰まりの流量特性と変形特性とを用いて、圧力伝播モデルを求める。評価判定部１４は、求められた圧力伝播モデルの圧力伝播特性を評価し、適用される導圧管の詰まり診断手法によって指定された詰まりの程度を検知可能か否かを、基準値と比較して判定する。 （もっと読む）

【課題】隔膜気圧計における標準圧室の真空を含む標準気圧の経時変化の問題を根本的に解決するために、隔膜気圧計の標準圧室の気圧が経時変化などで変動しても、標準圧室の標準気圧を計測し、この標準気圧が校正できる隔膜気圧計を提供する。
【解決手段】標準圧室を有する隔膜気圧計において、標準圧室内に熱型気圧センサを備え、その標準圧室内の気圧を常時または必要に応じて計測して、この計測した気圧を標準気圧として利用するようにした。熱伝導型センサとしてシリコン基板を利用し、絶対温度センサを備える。標準圧室の気圧を所望の気圧付近に調整することもできるようにする。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出室１９に、温度が高くなるにつれて体積が減少する、または、温度が高くなるにつれてヤング率が減少するスペーサ２０を固定する。これによれば、外部温度が高温に変化した際に、オイルが熱膨張してもスペーサ２０の体積が減少する、またはスペーサ２０のヤング率が減少するため、オイルの体積変化をスペーサ２０にて吸収することができる。したがって、圧力検出室１９内の全体の体積増加を小さくすることができ、圧力検出室１９に内圧変動が発生することを抑制することができる。また、スペーサ２０は、圧力検出室１９内に固定されているため、スペーサ２０がセンサ部４と衝突することもなく、センサ部４が正常に作動しなくなることもない。 （もっと読む）

【課題】水衝撃のような急激な圧力変動に対して信頼性が高く、温度特性が安定で、ローコスト化が可能な、圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の絶縁基板の一方の面に形成された凹状の第１の測定室と、前記第１の絶縁基板に設けられ前記第１の測定室に連通する第１の導圧孔と、前記第１の絶縁基板の一方の面に一方の面が接合され前記測定ダイアフラムを形成する半導体基板と、この半導体基板の他方の面に前記第１の測定室に対応した位置に設けられた半導体歪ゲージと、前記半導体基板の他方の面に一方の面が接合された第２の絶縁基板と、この第２の絶縁基板の前記一方の面に前記第１の測定室に対向して対称形状をなして設けられた凹状の第２の測定室と、前記第２の絶縁基板に設けられ前記第２の測定室に連通する第２の導圧孔と、を具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】体格及びコストの増大が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが組み合わされて成るセンサ装置であって、第２ハウジング（５０）は筒状を成し、その中空が、メタルダイアフラム（６０）及びリングウェルド（６１）によって収容空間と導入空間とに区切られ、第１ハウジング（１０）におけるメタルダイアフラム（６０）側の端部に溝（１３）が形成され、溝（１３）、メタルダイアフラム（６０）、及び、リングウェルド（６１）によって圧力検出室（１５）が構成され、圧力検出室（１５）に、圧力センサ（２０）とターミナル（３０）の一部が設けられ、メタルダイアフラム（６０）に作用する圧力流体の圧力を、圧力センサ（２０）に伝達する圧力伝達媒体（１６）によって満たされており、圧力検出室（１５）に、温度センサ（２３）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧力を高精度に検出可能にする。
【解決手段】第１のケース１の凹部２内に圧力検出用の検出素子４を配設し、圧力導入孔１４を有する第２のケース１１を凹部２を覆うように第１のケース１に組み付け、周辺部が第２のケース１１に固定されたメタルダイヤフラム１６と凹部２とで囲まれた圧力検出室１９を備え、圧力検出室１９内に圧力伝達媒体２０を充填した。メタルダイヤフラム１６の周辺部上に配設されメタルダイヤフラム１６を第２のケース１１に固定する押さえ部材１７を備え、第１のケース１の一面に凹部２を囲むように設けられた溝２１内に収容され押さえ部材１７により押圧支持されたシール部材２２を備えた。更に、シール部材２２は、溝２１内に収容されて押さえ部材１７により押圧された状態で、溝２１の内周面２１ａ及び外周面２１ｂに接触するように構成した。 （もっと読む）

【課題】差圧測定器を効率的に校正可能な差圧測定器の校正システムを提供する。
【解決手段】差圧測定器３の校正システム４０であって、圧力発生装置４によって複数の設定値の圧力を加えられた第１の圧力測定器１が検出した圧力の複数の検出値、及び圧力発生装置４によって複数の設定値の圧力を加えられた第２の圧力測定器２が検出した圧力の複数の検出値を収集する収集回路４１と、複数の設定値と、第１の圧力測定器１が検出した複数の検出値と、の差に基づき、第１の圧力測定器１が検出する圧力の検出値の第１の補正式を決定する第１の補正式決定部４５ａと、複数の設定値と、第２の圧力測定器２が検出した複数の検出値と、の差に基づき、第２の圧力測定器２が検出する圧力の検出値の第２の補正式を決定する第２の補正式決定部４５ｂと、を備える、差圧測定器の校正システム。 （もっと読む）

【課題】圧力検出部の気密性を維持すると共に、出力用リードピン周りの構造上の脆弱性を改善した圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子２１を有する圧力検出部２と、圧力検出素子に接続され、圧力検出部の外部に突出する出力用リードピン３３と、出力用リードピンが外部出力用リード線３２に電気的に接続可能に固定される配線基板３１とを備える圧力センサ１において、圧力検出素子に接続され、圧力検出部の外部に突出する調整用リードピン３６（３６Ｂ、３６Ｃ）を配線基板に固定した。出力用リードピンだけでなく、電圧補正用等として用いられる調整用リードピンも合わせて配線基板へ固定したため、出力用リードピン、配線基板及び調整用リードピンの全体構造の強度が高まり、出力用リードピン周りの構造上の脆弱性が改善される。 （もっと読む）

【課題】圧力センサにおいて、大型化を抑制しつつ、絶縁部材に圧力検出素子が接触する可能性を低減させる。
【解決手段】圧力センサは、軸線方向に延び、先端側が底面部を形成する有底筒状の筐体と、圧力検出素子と、貫通孔４０を有する台座３０と、隙間をあけて貫通孔に挿通され、ボンディングワイヤによって圧力検出素子と電気的に接続される配線部５０と、を備える。さらに圧力センサは、貫通孔内の隙間に充填され、台座と配線部を絶縁すると共に配線部を保持する絶縁部材３６を有する。台座は、貫通孔の先端側開口が形成された対向面を有する台座本体３２と、対向面から突出し、圧力検出素子と当接する凸部３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】水中で稼動する機器に防水構造で装着すること、低価格、正確な計測、良好な防水性及び小型化が可能な荷重センサを用いた圧力測定装置２を提供することが目的である。
【解決手段】防水シート１１で凹型の筐体５１の開口部を覆うことで防水性を得ると共に外部からの荷重を受けている。防水シート１１が低価格であり、そのシール面及び受圧面が広いことにより、低価格、良好な防水性、正確な計測及び小型化を可能とする荷重センサを用いた圧力測定装置２を提供することができた。 （もっと読む）

【課題】溶接後の受圧面に及ぶ残留応力を抑制し、経年劣化を改善した圧力センサー用のダイアフラム、およびこれを搭載した圧力センサーを提供する。
【解決手段】外面が外部圧力を受けて変形し、内面がハウジング１２内部の感圧素子３８に力を伝達する中央部（ダイアフラム本体）４０と、前記中央部（ダイアフラム本体）４０の外側であって、ハウジング１２に形成された口金２２の外周と溶接される周縁部（フランジ）４４と、を一体として同心円状に有し、前記口金２２を封止する圧力センサー１０用のダイアフラム３２であって、前記中央部（ダイアフラム本体）４０と前記周縁部（フランジ）４４との間に段差を形成する緩衝部４２を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】溶接部の耐食性が損なわれることが抑制された圧力センサを提供する。
【解決手段】センサ素子（２０）が固定された第１ハウジング（１０）と、圧力流体の導入孔（５１）が形成された第２ハウジング（５０）とが接合されて成る圧力センサであって、第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが、メタルダイヤフラム（６０）を介して互いに対向しており、第１ハウジング（１０）は鉄製、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）はステンレス製であり、第１ハウジング（１０）、メタルダイヤフラム（６０）、及び、第２ハウジング（５０）は、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くのＣｒを単位体積当たりに含むステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されている。 （もっと読む）

【課題】封止する際に流体に含まれる気泡を低減する部品組立方法、ならびに減圧槽の大型化および減圧に要する時間の延長を招くことなく、減圧槽の内部で流体の注入および部材の封止を行う流体注入封止装置を提供する。
【解決手段】クランプレバー（５４）は、上下方向への移動と支点ローラ（５５）を支点としたハウジング（１２）側への旋回とが組み合わされた軌跡を描く。クランプレバー（５４）は、支点ローラ（５５）を支点に旋回した後、ガイドローラ（５６）の支持溝（６３）に沿って下降する。これにより、クランプレバー（５４）の回転半径は小さくなる。支点ローラ（５５）はクランプレバー（５４）の下端側に設けられているので、クランプレバー（５４）は回転するときハウジング（１２）側への突出量が低減される。その結果、クランプレバー（５４）の旋回に必要な空間が減少し、減圧槽（３１）の内部に確保すべき空間の容積が減少する。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の素子面に対し交差する方向から作用する振動・衝撃を抑制する圧力センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、容器と、前記容器の開口部２２を封止し、受圧部の外側に周縁部を有すると共に力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端３２ａを固定し、他端３２ｂを前記一端３２ａから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、前記受圧部に固定される第１の基部４０ａを有し、第２の基部４０ｂを前記第１の基部４０ａから前記受圧手段の変位方向と平行に配置した感圧素子４０と、前記感圧素子４０の前記第２の基部４０ｂを固定する第１の接続片３６と、前記第１の接続片３６の両端を前記第１の接続片３６のいずれか一方の主面側に延出させて前記支持手段３２の他端３２ｂと接続する第２の接続片３８を備えた固定板３４と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 燃焼機の燃焼室内の圧力を測る際の熱による影響を低減する。
【解決手段】 燃焼機用圧力検出装置用パッケージ１は、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、上面に形成された凹部５および凹部５から下面にかけて貫通した貫通孔４を有した基体と、基体２の凹部５を覆って上面に取着されたダイヤフラム３と、基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられた圧力検出素子６とを具備する。ダイヤフラム３から圧力検出素子６に熱が伝わりにくくなり、燃焼室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができるので、圧力検出素子６による圧力の測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）