圧力センサ

【課題】メタルダイヤフラムの割れやワイヤの断線が発生することを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】空間１５に、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材２４を備える。これにより、オリフィス部材２４によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られので、受圧部となるメタルダイヤフラム１７に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。したがって、メタルダイヤフラム１７に印加される圧力の不均一を抑制することができ、メタルダイヤフラム１７の割れやワイヤ９の断線の発生を抑制することができる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力伝達媒体がメタルダイヤフラムによって封入されて成る圧力検出室にセンシング部を備えた圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、特許文献１には、圧力伝達媒体がメタルダイヤフラムによって封入されて成る圧力検出室にセンシング部を備えた圧力センサが提案されている。
【０００３】
具体的には、この圧力センサは、第１のケースとしてのコネクタケースと測定媒体を導入するための第２のケースとしてのハウジングとを備えている。そして、コネクタケースとハウジングとの間にメタルダイヤフラムを配置した状態で、ハウジングに形成されている収容凹部内にコネクタケースが挿入されてハウジングの収容凹部の端部がかしめられることにより、内部に圧力検出室が区画形成されている。この圧力検出室内には、圧力を検出するセンシング部が配置されていると共にフッ素オイル等の圧力伝達媒体が封入されている。そして、コネクタケースにはターミナルが保持されており、ターミナルとセンシング部とがワイヤを介して電気的に接続されている。
【０００４】
また、ハウジングには、測定媒体を導入するための圧力導入孔が形成されており、この圧力導入孔のうちメタルダイヤフラム側の端部が広げられて断面テーパ状（ラッパ形状）の部屋（空間）が形成されている。つまり、圧力導入孔に導入された測定媒体が空間に導入されてメタルダイヤフラムに印加されるようになっている。
【０００５】
このような圧力センサでは、測定媒体が圧力導入孔から空間に導入された後にメタルダイヤフラムに印加されるため、測定媒体の圧力を広い面積で受圧することができ、圧力損失を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−９０８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記圧力センサでは、圧力導入孔から急峻な圧力（急激に大きく変化するような圧力）が導入された場合、メタルダイヤフラムの中心部、つまり圧力導入孔の直上に位置する部分に圧力が伝わった後に広がりながら外縁部分に圧力が印加される。このため、圧力伝達時間に差が生じ、メタルダイヤフラムに印加される圧力の面内バラツキが発生して圧力不均一が生じる。そして、このような圧力不均一が発生すると、メタルダイヤフラムに割れが発生したり、センシング部とターミナルとを接続するワイヤに断線が発生したりすることがある。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みて、メタルダイヤフラムの割れやワイヤの断線が発生することを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１のケース（１）と測定媒体が導入される圧力導入孔（１４）が形成された第２のケース（１１）とを一体に組み付けて成るケーシング（１００）と、測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンシング部（４）と、第１のケース（１）の一面（１ａ）と第２のケース（１１）の一面（１１ａ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（１７）と、第１のケース（１）とメタルダイヤフラム（１７）との間に形成されてセンシング部（４）を収容する圧力検出室（２０）内に充填される圧力伝達媒体（２１）と、第１のケース（１）に備えられ、センシング部（４）と電気的に接続されるターミナル（８）と、センシング部（４）とターミナル（８）とを電気的に接続するワイヤ（９）と、を備え、第２のケース（１１）のうち圧力導入孔（１４）における第１のケース（１）側の端部が広げられることで形成された空間（１５）内に圧力導入孔（１４）を通じて測定媒体が導入されることにより、空間（１５）内の測定媒体の圧力がメタルダイヤフラム（１７）を介してセンシング部（４）に伝達される圧力センサにおいて、以下の点を特徴としている。
【００１０】
すなわち、空間（１５）には、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２４）が備えられていることを特徴としている。
【００１１】
このような圧力センサでは、オリフィス部材（２４）によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られので、受圧部となるメタルダイヤフラム（１７）に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。したがって、メタルダイヤフラム（１７）に印加される圧力の不均一を抑制することができ、メタルダイヤフラム（１７）の割れやワイヤ（９）の断線の発生を抑制することができる。
【００１２】
また、オリフィス部材（２４）は測定媒体の圧力に応じて変位可能とされている。このため、導入される圧力が急峻に変化する場合には、オリフィス部材（２４）が変位することによって弾性力が生じ、オリフィス部材（２４）自体がバネとしての機能を果す。つまり、オリフィス部材（２４）が緩衝部材としての機能を果す。このため、さらに、メタルダイヤフラム（１７）に印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。また、オリフィス部材（２４）が測定媒体の圧力に応じて変位するため、測定媒体の流速がオリフィス部材（２４）を通過する前後で変化する割合を小さくすることもできる。
【００１３】
この場合、請求項２に記載の発明のように、空間（１５）を構成する壁面に窪み部（２５）を形成し、当該窪み部（２５）にオリフィス部材（２４）の外縁部を備えることができる。このように、窪み部（２５）を形成して窪み部（２５）にオリフィス部材（２４）の外縁部を備えることにより、オリフィス部材（２４）を空間（１５）に備えることができる。
【００１４】
そして、このような圧力センサは、圧力導入孔（１４）が形成された第２のケース（１１）が被実装部材に取り付けられて用いられるが、第２のケース（１１）を被実装部材に取り付ける際に当該第２のケース（１１）には外力が印加される。しかしながら、第２のケース（１１）に窪み部（２５）を形成することにより、窪み部（２５）によって印加される外力を緩和することができる。このため、第２のケース（１１）が変形することを抑制することができ、第２のケース（１１）の変形に伴ってメタルダイヤフラム（１７）の形状が変形して圧力検出室（２０）の体積が変化することを抑制することができる。したがって、圧力検出室（２０）の内圧が変化することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。
【００１５】
また、請求項３に記載の発明のように、圧力導入孔（１４）に、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２６）を備えることができる。
【００１６】
これによれば、圧力導入孔（１４）に備えられているオリフィス部材（２６）によっても圧力減衰効果が得られるので、さらにメタルダイヤフラム（１７）の割れやワイヤ（９）の断線が発生することを抑制することができる。
【００１７】
この場合、請求項４に記載の発明のように、圧力導入孔（１４）を構成する壁面に窪み部（２７）を形成し、当該窪み部（２７）にオリフィス部材（２６）の外縁部を備えることができる。
【００１８】
このように、窪み部（２７）を形成して窪み部（２７）にオリフィス部材（２６）の外縁部を備えることにより、オリフィス部材（２６）を圧力導入孔（１４）に備えることができる。そして、この窪み部（２７）により、さらに第２のケース（１１）に印加される外力を緩和することができ、第２のケース（１１）が変形することを抑制することができる。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明のように、請求項３または４に記載の発明において、圧力導入孔（１４）に備えられたオリフィス部材（２６）における測定媒体が通過する部分と、空間（１５）に備えられたオリフィス部材（２４）における測定媒体が通過する部分とは、圧力導入孔（１４）の中心軸と平行な方向において重ならないように形成されることが好ましい。
【００２０】
これによれば、測定媒体は、圧力導入孔（１４）に備えられたオリフィス部材（２６）を通過した後、流れ方向を変化させて空間（１５）に備えられたオリフィス部材（２４）を通過することになり、さらに圧力減衰効果を高くすることができる。
【００２１】
例えば、請求項６に記載の発明のように、圧力導入孔（１４）に備えられたオリフィス部材（２６）は、板部材で構成されると共に当該板部材のうちの圧力導入孔（１４）の中心軸と重なる部分に測定媒体を通過させる貫通孔（２６ａ）が形成されているものとすることができる。また、空間（１５）に備えられるオリフィス部材（２４）は、板部材で構成されると共に当該板部材のうちの圧力導入孔（１４）の中心軸と重なる部分と異なる部分に複数の貫通孔（２４ａ）が形成されるものとすることができる。そして、複数の貫通孔（２４ａ）を中心軸と重なる部分を基準として対称に形成することができる。
【００２２】
これによれば、測定媒体は、圧力導入孔（１４）の中心軸と重なる部分を基準として対称に形成された貫通孔（２４ａ）を通過した後にメタルダイヤフラム（１７）に印加されるため、オリフィス部材（２４）の中心軸と重なる部分と異なる部分に１つの貫通孔（２４ａ）のみが形成されている場合と比較して、測定媒体がメタルダイヤフラム（１７）に不均一に印加されることを抑制することができる。
【００２３】
また、請求項７に記載の発明では、圧力導入孔（１４）には、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２６）が備えられていることを特徴としている。
【００２４】
このような圧力センサでは、圧力導入孔（１４）に備えられるオリフィス部材（２６）によって圧力減衰効果が得られるため、請求項１に記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【００２５】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図２】図１に示すオリフィス部材の平面図である。
【図３】本発明の第２実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図４】図３に示す圧力導入孔に備えられたオリフィス部材の平面図である。
【図５】図３に示す空間に備えられたオリフィス部材の平面図である。
【図６】本発明の第３実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図７】本発明の第４実施形態におけるオリフィス部材の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は本実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、エアコンの冷媒配管内の冷媒圧力、エンジン内のエンジンオイル圧等の検出に用いられると好適である。
【００２８】
図１に示されるように、圧力センサには第１のケースとしてのコネクタケース１が備えられており、このコネクタケース１は、例えば、断熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状とされている。このコネクタケース１は、一端部の一面１ａに凹部２が形成され、他端部に開口部３が形成されている。
【００２９】
そして、凹部２には、センシング部４が図示しないシリコーン系接着剤等を介して搭載されている。このセンシング部４は、センサチップ５とガラス等で構成される台座６とを有し、これらセンサチップ５と台座６とが陽極接合されて構成されている。
【００３０】
センサチップ５は、ダイヤフラム７を有し、ダイヤフラム７に図示しないブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されて構成されている。すなわち、このセンサチップ５は、ダイヤフラム７に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
【００３１】
また、コネクタケース１には、センサチップ５と外部の回路等とを電気的に接続するための複数の金属製棒状のターミナル８が備えられており、各ターミナル８はインサートモールドによりコネクタケース１と一体に成形されることによってコネクタケース１内に保持されている。
【００３２】
具体的には、各ターミナル８はコネクタケース１を貫通しており、各ターミナル８のうち一端部はコネクタケース１から凹部２内に突出しており、他端部はコネクタケース１から開口部３内に突出している。
【００３３】
凹部２内に突出する各ターミナル８の一端部は、ボンディングワイヤ９を介してセンシング部４（センサチップ５）と電気的に接続されている。そして、凹部２には、凹部２に突出するターミナル８とコネクタケース１との隙間を封止するシール材１０が配置されている。
【００３４】
また、開口部３内に突出している各ターミナル８の他端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続される。
【００３５】
そして、図１に示されるように、コネクタケース１には第２のケースとしてのハウジング１１が組みつけられている。具体的には、ハウジング１１には収容凹部１２が形成されており、この収容凹部１２内にコネクタケース１のうち凹部２が形成されている一面１ａ側が挿入され、ハウジング１１の端部１３がコネクタケース１にかしめられることでコネクタケース１とハウジング１１とが組みつけられている。これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１と第２のケースとしてのハウジング１１とが一体に組みつけられて成るケーシング１００が構成され、このケーシング１００内にセンシング部４が備えられる構造となる。
【００３６】
ハウジング１１は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料より成るものであり、測定媒体を導入するための圧力導入孔１４と、圧力導入孔１４におけるセンシング部４側の端部が断面テーパ状（ラッパ状）に広げられることで形成された空間（部屋）１５と、圧力センサを測定対象物に固定するために圧力導入孔１４の外周壁面に形成されたネジ部１６とが形成されている。
【００３７】
また、コネクタケース１の一面１ａと、ハウジング１１のうちこの一面１ａと対向している一面１１ａ（収容凹部１２の底面）との間には、ＳＵＳ等から成る円形のメタルダイヤフラム１７とメタルダイヤフラム１７の外縁部分に配置されるＳＵＳ等から成る環状のリングウェルド１８とが備えられている。具体的には、メタルダイヤフラム１７およびリングウェルド１８は、ハウジング１１に対してレーザ溶接等されて固定されている。そして、ハウジング１１の一面１１ａには、ハウジング１１、メタルダイヤフラム１７およびリングウェルド１８が溶け合った溶接部１９が形成されている。なお、メタルダイヤフラム１７のうち外縁部分はリングウェルド１８と共にハウジング１１に対して固定される部分であり、メタルダイヤフラム１７のうち凹部２を閉塞する部分は測定媒体の圧力に応じて変位するダイヤフラム部として機能する部分である。
【００３８】
このように一体化されたケーシング１００において、凹部２、メタルダイヤフラム１７、およびリングウェルド１８にて囲まれる空間にて圧力検出室２０が構成されている。そして、この圧力検出室２０には、本発明の圧力伝達媒体に相当するフッ素オイル等のオイル２１が充填されている。
【００３９】
また、コネクタケース１のうち凹部２が形成される一面１ａには、凹部２を囲むように環状の溝２２が形成されており、この環状の溝２２には、例えば、シリコーンゴム等から成るＯリング２３が備えられている。このＯリング２３は、コネクタケース１とハウジング１１とのかしめによるかしめ圧で押し潰されることで圧力検出室２０を封止するものである。
【００４０】
そして、本実施形態では、ハウジング１１における空間１５には、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能な弾性を有する樹脂等で構成されたオリフィス部材２４が備えられている。具体的には、空間１５を構成する壁面には、圧力導入孔１４の中心軸（以下では、単に中心軸という）に対して、径方向に環状の窪み部２５が形成されている。そして、この窪み部２５にオリフィス部材２４が挿入されることによって、空間１５にオリフィス部材２４が備えられている。
【００４１】
図２は、オリフィス部材２４の平面図であり、コネクタケース１側からオリフィス部材２４を視た図である。図１および図２に示されるように、オリフィス部材２４は、本実施形態では円板状とされており、中心軸と重なる中央部に厚さ方向に貫通する貫通孔２４ａが形成されている。そして、外縁部（図２中では点線より外側の部分）が窪み部２５に挿入されることによって空間１５に備えられている。
【００４２】
次に上記圧力センサの製造方法について説明する。
【００４３】
まず、ターミナル８がインサート成形されると共に上記構成のコネクタケース１を用意する。そして、センサチップ５が台座６と陽極接合されて成るセンシング部４を用意し、センシング部４を凹部２の底面に接着剤を介して接着する。
【００４４】
次に、コネクタケース１のうち凹部２が形成された一面１ａを上に向けた状態で凹部２内へシール材１０を注入し、シール材１０を凹部２の底面まで行き渡らせた後、硬化する。このとき、シール材１０がセンサチップ５の表面に付着しないように注入量を調整する。
【００４５】
その後、ワイヤボンディングを行い、センシング部４（センサチップ５）と各ターミナル８の一端部とをボンディングワイヤ９を介して電気的に接続する。そして、溝２２にＯリング２３を配置する。
【００４６】
続いて、上記のように空間１５に窪み部２５が形成されたハウジング１１を用意し、空間１５にオリフィス部材２４を配置する。具体的には、オリフィス部材２４は弾性を有する材料で構成されているため、オリフィス部材２４を湾曲させた状態で空間１５内に配置し、外縁部が窪み部２５に挿入されるように、オリフィス部材２４を元の状態に戻すことにより、空間１５にオリフィス部材２４を備える。その後、メタルダイヤフラム１７をハウジング１１の一面１１ａ上に配置すると共にリングウェルド１８を収容凹部１２に圧入してハウジング１１の一面１１ａ上に配置する。次に、リングウェルド１８の上方から溶接等を行うことにより、リングウェルド１８とメタルダイヤフラム１７とハウジング１１とを接合する。
【００４７】
続いて、圧力伝達媒体としてのオイル２１をディスペンサ等によって凹部２内へ注入する。そして、この状態のものを真空室にいれて、凹部２内の余分な空気を除去する。その後、真空室内でハウジング１１を上から水平に保ったままハウジング１１の収容凹部１２にコネクタケース１が嵌合するように降ろす。このとき、コネクタケース１の一面１ａとリングウェルド１８とが十分接するまで押さえる。これにより、凹部２、メタルダイヤフラム１７およびリングウェルド１８にて圧力検出室２０が構成され、圧力検出室２０にオイル２１が充填された構造となる。
【００４８】
その後、ハウジング１１の端部１３をコネクタケース１にかしめることにより、ハウジング１１とコネクタケース１とを一体化する。このような製造方法により本実施形態の圧力センサが製造される。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態の圧力センサは、空間１５にオリフィス部材２４を備えている。このため、オリフィス部材２４によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られるので、受圧部となるメタルダイヤフラム１７に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。したがって、メタルダイヤフラム１７に印加される圧力の不均一を抑制することができ、メタルダイヤフラム１７の割れやボンディングワイヤ９の断線が発生することを抑制することができる。
【００５０】
また、オリフィス部材２４は、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされている。このため、導入される圧力が急峻に変化する場合には、オリフィス部材２４が変位することによって弾性力が生じ、オリフィス部材２４自体がバネとしての機能を果す。つまり、オリフィス部材２４が緩衝部材としての機能を果す。このため、さらに、メタルダイヤフラム１７に印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。また、オリフィス部材２４が測定媒体の圧力に応じて変位するため、測定媒体の流速がオリフィス部材２４を通過する前後で変化する割合を小さくすることもできる。
【００５１】
さらに、このような圧力センサは、ハウジング１１に形成されたネジ部１６が被実装部材としての冷媒配管等に形成された雌ネジ部に螺合されて固定され、配管内の測定媒体が圧力導入孔１４に導入されるようにして用いられる。このとき、ハウジング１１は、軸力（外力）によって変形する可能性がある。しかしながら、本実施形態では、オリフィス部材２４を窪み部２５に挿入することによって空間１５に備えるようにしており、窪み部２５によって軸力の影響を緩和することができるようにしている。このため、軸力によってハウジング１１が変形することを抑制することができ、ハウジング１１の変形に伴ってメタルダイヤフラム１７の形状が変形して圧力検出室２０の体積が変化することを抑制することもできる。すなわち、圧力検出室２０の内圧が変化することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することもできる。
【００５２】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して圧力導入孔１４にもオリフィス部材を備えたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図３は、本実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【００５３】
図３に示されるように、本実施形態では、圧力導入孔１４に、圧力導入孔１４の断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能なオリフィス部材２６が備えられている。具体的には、圧力導入孔１４を構成する壁面には、中心軸に対して径方向であって環状の窪み部２７が形成されている。そして、この窪み部２７にオリフィス部材２６が挿入されることによって、圧力導入孔１４にオリフィス部材２６が備えられている。
【００５４】
図４は圧力導入孔１４に備えられるオリフィス部材２６の平面図ある。図４に示されるように、オリフィス部材２６は本実施形態では円板状とされており、中心軸と重なる中央部に厚さ方向に貫通する貫通孔２６ａが形成されている。そして、外縁部（図４中では点線の外側の部分）が窪み部２７に挿入されることによって圧力導入孔１４に備えられている。
【００５５】
また、空間１５に備えられるオリフィス部材２４には、ハウジング１１をコネクタケース１側から視たとき、つまり、ハウジング１１を中心軸と平行な方向から視たとき、オリフィス部材２６に形成されている貫通孔２６ａと重ならない部分に貫通孔２４ａが形成されている。
【００５６】
図５はオリフィス部材２４の平面図である。図５に示されるように、本実施形態では、オリフィス部材２４には、中心軸と重なる中央部を基準として対称に４つの貫通孔２４ａが形成されている。
【００５７】
このような圧力センサでは、圧力導入孔１４にもオリフィス部材２６が備えられており、このオリフィス部材２６によって空間１５に備えられているオリフィス部材２４と同様の効果が得られるため、上記第１実施形態よりさらに圧力減衰効果が得られる。したがって、受圧部としてのメタルダイヤフラム１７に印加される圧力の不均一をさらに抑制することができ、メタルダイヤフラム１７の割れやボンディングワイヤ９の断線が発生することをさらに抑制することができる。
【００５８】
また、空間１５に備えられるオリフィス部材２４には、中心軸と平行な方向から視たとき、オリフィス部材２６に形成された貫通孔２６ａと重ならない部分に貫通孔２４ａが形成されている。このため、オリフィス部材２６の貫通孔２６ａを通過した測定媒体は、流れ方向を変化させてオリフィス部材２４の貫通孔２４ａを通過した後、メタルダイヤフラム１７に印加されることになる。このため、オリフィス部材２４の貫通孔２４ａとオリフィス部材２６の貫通孔２６ａとが中心軸と平行な方向に重なっている場合と比較して、測定媒体の圧力減衰効果を高くすることができる。
【００５９】
さらに、オリフィス部材２４には中央部を基準にして対称に４つの貫通孔２４ａが形成されているため、オリフィス部材２４の中央部と異なる部分に１つの貫通孔２４ａのみが形成されている場合と比較して、測定媒体がメタルダイヤフラム１７に不均一に印加されることを抑制することができる。
【００６０】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対してオリフィス部材２４を備える場所を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図６は、本実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【００６１】
図６に示されるように、本実施形態では、ハウジング１１の一面１１ａのうち空間１５と連結する内縁部に凹部１１ｂが環状に形成されている。そして、この凹部１１ｂにオリフィス部材２４の外縁部が搭載されている。オリフィス部材２４は、凹部１１ｂに備えられる外縁部が内縁部より厚くされた肉厚部２４ｂとされている。
【００６２】
このような圧力センサは、例えば、次のように製造される。すなわち、ハウジング１１の一面１１ａに形成された凹部１１ｂにオリフィス部材２４の外縁部を配置する。そして、リングウェルド１８をハウジング１１の収容凹部１２における一面１１ａまで圧入する際に、リングウェルド１８によって肉厚部２４ｂを押し潰す。これにより、オリフィス部材２４が空間１５に備えられる。
【００６３】
このように、空間１５を構成する壁面に窪み部２５を形成しない圧力センサとしても、オリフィス部材２４を空間１５に備えているので上記第１実施形態と同様の効果が得られ、メタルダイヤフラム１７の割れやボンディングワイヤ９の断線が発生することを抑制することができる。
【００６４】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対してオリフィス部材２４の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図７は、本実施形態におけるオリフィス部材２４の平面図である。
【００６５】
図７に示されるように、本実施形態では、オリフィス部材２４は、円板部材２４ｃと、この円板部材２４ｃの側面に備えられる複数の板バネ部材２４ｄとを有する構成とされている。この円板部材２４ｃには、第１実施形態の貫通孔２４ａに相当する部分は設けられていない。
【００６６】
このようなオリフィス部材２４は、板バネ部材２４ｄのうち円板部材２４ｃ側と連結されている端部側が空間１５内に配置されるように、板バネ部材２４ｄのうち円板部材２４ｃと連結されている端部側と反対側の端部が窪み部２５に挿入されると共に窪み部２５の壁面を押圧することによって空間１５に備えられる。そして、測定媒体は、隣接する板バネ部材２４ｄの間を通過するようになっている。
【００６７】
このようなオリフィス部材２４を備える圧力センサとしても、オリフィス部材２４を空間１５に備えているので上記第１実施形態と同様の効果が得られ、メタルダイヤフラム１７の割れやボンディングワイヤ９の断線が発生することを抑制することができる。
【００６８】
（他の実施形態）
上記第１、第２実施形態では、オリフィス部材２４を円板状のものとしたものを説明したが、例えば、オリフィス部材２４を矩形状のものとすることもできる。この場合、ハウジング１１の空間１５を構成する壁面に形成される窪み部２５の形状を矩形状のオリフィス部材２４が挿入できるものとすればよい。同様に、上記第２実施形態のオリフィス部材２６や上記第３実施形態のオリフィス部材２４を矩形状とすることもできる。また、上記第４実施形態において、オリフィス部材２４は、矩形板部材と、この側面に備えられる板バネ部材とを有するものとしてもよい。
【００６９】
また、上記第１、第３実施形態では、オリフィス部材２４に１つの貫通孔２４ａを形成した例について説明したが、オリフィス部材２４に複数の貫通孔２４ａを形成するようにしてもよい。同様に、上記第２実施形態においても、オリフィス部材２４に４つ以上の複数の貫通孔２４ａを形成してもよい。
【００７０】
さらに、上記第２実施形態において、オリフィス部材２４の中央部に貫通孔２４ａを形成し、ハウジング１１を中心軸と平行な方向から視たとき、オリフィス部材２６のうちオリフィス部材２４に形成されている貫通孔２４ａと重ならない部分に貫通孔２６ａを形成するようにしてもよい。
【００７１】
そして、上記各実施形態を適宜組み合わせることもできる。例えば、上記第３実施形態に上記第２実施形態を組み合わせて、圧力導入孔１４にオリフィス部材２６を備えることができる。また、上記第４実施形態を第２実施形態に組み合わせて、オリフィス部材２６を円板部材と板バネ部材とにより構成することもできる。もちろん、上記第２実施形態において、オリフィス部材２４を円板部材２４ｃと板バネ部材２４ｄとにより構成してもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１コネクタケース
４センシング部
８ターミナル
９ボンディングワイヤ
１１ハウジング
１２収容凹部
１４圧力導入孔
１５空間
１７メタルダイヤフラム
１８リングウェルド
１９溶接部
２０圧力検出室
２１オイル
２４オリフィス部材
２５窪み部
２６オリフィス部材
２７窪み部
１００ケーシング

【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケース（１）と測定媒体が導入される圧力導入孔（１４）が形成された第２のケース（１１）とを一体に組み付けて成るケーシング（１００）と、
前記測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンシング部（４）と、
前記第１のケース（１）の一面（１ａ）と前記第２のケース（１１）の一面（１１ａ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（１７）と、
前記第１のケース（１）と前記メタルダイヤフラム（１７）との間に形成されて前記センシング部（４）を収容する圧力検出室（２０）内に充填される圧力伝達媒体（２１）と、
前記第１のケース（１）に備えられ、前記センシング部（４）と電気的に接続されるターミナル（８）と、
前記センシング部（４）と前記ターミナル（８）とを電気的に接続するワイヤ（９）と、を備え、
前記第２のケース（１１）のうち前記圧力導入孔（１４）における前記第１のケース（１）側の端部が広げられることで形成された空間（１５）内に前記圧力導入孔（１４）を通じて前記測定媒体が導入されることにより、前記空間（１５）内の前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（１７）を介して前記センシング部（４）に伝達される圧力センサにおいて、
前記空間（１５）には、前記測定媒体が通過する断面積を縮小し、前記測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２４）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記空間（１５）を構成する壁面には窪み部（２５）が形成されており、当該窪み部（２５）に前記オリフィス部材（２４）の外縁部が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記圧力導入孔（１４）には、前記測定媒体が通過する断面積を縮小し、前記測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２６）が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記圧力導入孔（１４）を構成する壁面には窪み部（２７）が形成されており、当該窪み部（２７）に前記オリフィス部材（２６）の外縁部が備えられていることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記圧力導入孔（１４）に備えられた前記オリフィス部材（２６）における前記測定媒体が通過する部分と、前記空間（１５）に備えられた前記オリフィス部材（２４）における前記測定媒体が通過する部分とは、前記圧力導入孔（１４）の中心軸と平行な方向において重なっていないことを特徴とする請求項３または４に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記圧力導入孔（１４）に備えられた前記オリフィス部材（２６）は、板部材で構成されると共に当該板部材のうちの前記中心軸と重なる部分に前記測定媒体を通過させる貫通孔（２６ａ）が形成され、
前記空間（１５）に備えられた前記オリフィス部材（２４）は、板部材で構成されると共に当該板部材のうちの前記中心軸と重なる部分と異なる部分に複数の貫通孔（２４ａ）が形成され、前記複数の貫通孔（２４ａ）は前記中心軸と重なる部分を基準として対称に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
第１のケース（１）と測定媒体が導入される圧力導入孔（１４）が形成された第２のケース（１１）とを一体に組み付けて成るケーシング（１００）と、
前記測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンシング部（４）と、
前記第１のケース（１）の一面（１ａ）と前記第２のケース（１１）の一面（１１ａ）との間に配置されたメタルダイヤフラム（１７）と、
前記第１のケース（１）と前記メタルダイヤフラム（１７）との間に形成されて前記センシング部（４）を収容する圧力検出室（２０）内に充填される圧力伝達媒体（２１）と、
前記第１のケース（１）に備えられ、前記センシング部（４）と電気的に接続されるターミナル（８）と、
前記センシング部（４）と前記ターミナル（８）とを電気的に接続するワイヤ（９）と、を備え、
前記第２のケース（１１）のうち前記圧力導入孔（１４）における前記第１のケース（１）側の端部が広げられることで形成された空間（１５）内に前記圧力導入孔（１４）を通じて前記測定媒体が導入されることにより、前記空間（１５）内の前記測定媒体の圧力が前記メタルダイヤフラム（１７）を介して前記センシング部（４）に伝達される圧力センサにおいて、
前記圧力導入孔（１４）には、前記測定媒体が通過する断面積を縮小し、前記測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材（２６）が備えられていることを特徴とする圧力センサ。

【図１】