【課題】被測定圧力を測定に適した圧力に調整して圧力測定装置に伝達でき且つ安全性も向上させた圧力調整装置および圧力測定装置の簡易な構造による提供。
【解決手段】シリンダユニット２と、ピストンユニット３とを備え、シリンダユニット２は、細管体２１と太管体２２を備えており、ピストンユニット３は、プランジャ３２と、細管体２１内に密嵌される第１の水密手段３０と太管体２２内に密嵌される第２の水密手段３１を備えており、第１の水密手段３０から細管体２１の自由端までの空間を第１圧力チャンバ２３として、第２の水密手段３１から太管体２２の自由端までの空間を第２圧力チャンバ２５としてそれぞれ画成し、第１圧力チャンバ２３または第２圧力チャンバ２５のいずれか１つから導入した圧力を測定に適した圧力に調整して他の１つの圧力チャンバに伝達できる圧力調整装置。 （もっと読む）

【課題】温度補償型の圧力センサモジュールにおいて、温度測定部および温度補償部を備えた温度補償装置と、圧力検出部を備えた圧力センサ装置とが互いに別々の半導体基板に形成された場合であっても、温度測定部が圧力センサ装置の温度を正確に測定することができ、適切に温度補償された圧力値を出力することが可能な圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、圧力を検出する圧力検出部を有する圧力センサ装置と、温度測定部を有し前記温度測定部の出力値に基づいて前記圧力センサ装置の出力値を補償する温度補償装置と、を少なくとも備えてなる圧力センサモジュールであって、前記圧力センサ装置は、前記温度補償装置の前記温度測定部と重なる領域に配置されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの腐食、及び、圧力の検出精度の低下が抑制された圧力センサ装置を提供する。
【解決手段】被測定気体の圧力を電気信号に変換する圧力センサ（２０）と、該圧力センサ（２０）に被測定気体を導入するための導入孔（５３）が形成されたハウジング（５２）と、を有し、導入孔（５３）が有する２つの開口端（５３ａ，５３ｂ）の内、一方の開口端（５３ｂ）が、被測定気体の流動するパイプの中空内に配置される圧力センサ装置であって、一方の開口端（５３ｂ）は、導入孔（５３）の中心を通る軸方向に対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】筺体に熱処理を施すことなく、簡単かつ精度の高い方法で筺体をシールすることができるセンサ装置を得る。
【解決手段】シール部材として粘度が略一定に保たれるシール用オイルコンパウンド１０を用い、このオイルコンパウンド１０をベース３の結合部３９に塗布した状態で、ベース３とケース４とを結合する。 （もっと読む）

【課題】メタルダイヤフラムの割れやワイヤの断線が発生することを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】空間１５に、測定媒体が通過する断面積を縮小し、測定媒体の圧力に応じて変位可能とされているオリフィス部材２４を備える。これにより、オリフィス部材２４によって測定媒体となる流体の流入が規制され、圧力減衰効果が得られので、受圧部となるメタルダイヤフラム１７に対して直接印加される圧力が急峻に変化することを抑制することができる。したがって、メタルダイヤフラム１７に印加される圧力の不均一を抑制することができ、メタルダイヤフラム１７の割れやワイヤ９の断線の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】被検出用流体の滞留する部分が全くなく、検出素子に被検出用流体を接触させることなく、また配管ラインの圧力を計測する場合でも、配管の切断を不要にした圧力測定装置を提供する。
【解決手段】被検出用流体を流動させるチューブ１３をハウジング１０の保持用凹部１２の内側に配するようにし、この保持凹部１２の軸線方向の一端をシール部材１６によって閉塞し、他端側に上記チューブ１３の外径よりもやや小さな値のスロート部２１を形成する。そして供給ポート２７を通して保持凹部１２に対して供給圧を印加し、この保持凹部１２内の圧力を出力ポート２９を通して取出すようにする。チューブ１３内の流体の圧力が増大すると、スロート部２１を通して逃げるガスの量が減少し、出力圧が増大する。これに対してチューブ１３内の圧力が減少すると、スロート部２１を通して逃げるガスの量が増加し、出力圧が減少する。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続不良の発生、及び、コストの増大が抑制された圧力温度複合センサ装置を提供する。
【解決手段】圧力センサ及び温度センサそれぞれがターミナルを介して外部素子と電気的に接続され、圧力センサ及びターミナルが支持部に支持され、温度センサがターミナルに支持された圧力温度複合センサ装置であって、支持部に形成された流体導入孔は、第１導入孔及び第２導入孔を有し、温度センサは、感温素子、保護部、及び、リードを有し、リードの一端が感温素子に接続され、他端がターミナルに接続され、感温素子及び保護部が、リードを介してターミナルに支持されており、保護部及び感温素子が第２導入孔に設けられ、保護部と第２導入孔の壁面との間に形成された隙間における、第２導入孔の中心軸に直交する方向の横幅は、被検出流体の圧力印加によって感温素子及び保護部が振動する振れ幅よりも短い。 （もっと読む）

【課題】差圧／圧力伝送器のダイアフラムが反応する過大圧の設定値を任意に設定する。
【解決手段】高圧側受圧部及び低圧側受圧部を有する本体１と、本体１に設置された圧力センサ２と、高圧側受圧部に設けられた高圧側センターダイアフラム１９と、凸形状の面を有する高圧側固定金具７と、低圧側受圧部に設けられた低圧側センターダイアフラム２０と、凸形状の面を有する低圧側固定金具８とを含む差圧／圧力伝送器において、高圧側固定金具７の凸形状の面を高圧側センターダイアフラム１９に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とし、低圧側固定金具８の凸形状の面を低圧側センターダイアフラム２０に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】２つの異なる大きさの圧力を正確に測定しその小型化を図り得る圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ２０は、ケース２１と、このケース２１に収容されるシリコン基板からなる第１センサチップ３０および第２センサチップ４０とを備えている。比較的小さな圧力（第１の圧力）を検出するための第１センサチップ３０と、比較的大きな圧力（第２の圧力）を検出するためにその圧力検出範囲が第１センサチップ３０よりも広い第２のセンサチップ４０と、は重ねて配置されている。そして、信号処理回路５０は、第１センサチップ３０に集積されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることのできる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出室１９に、温度が高くなるにつれて体積が減少する、または、温度が高くなるにつれてヤング率が減少するスペーサ２０を固定する。これによれば、外部温度が高温に変化した際に、オイルが熱膨張してもスペーサ２０の体積が減少する、またはスペーサ２０のヤング率が減少するため、オイルの体積変化をスペーサ２０にて吸収することができる。したがって、圧力検出室１９内の全体の体積増加を小さくすることができ、圧力検出室１９に内圧変動が発生することを抑制することができる。また、スペーサ２０は、圧力検出室１９内に固定されているため、スペーサ２０がセンサ部４と衝突することもなく、センサ部４が正常に作動しなくなることもない。 （もっと読む）

【課題】第１部材と第２部材との機械的な接続強度が向上された構造体を提供する。
【解決手段】第１部材（１０）と第２部材（３０）とが接着固定された構造体。第２部材（３０）には、第１凹部（３２）、第１凹部（３２）の底面から突出した凸部（３３）、第２凹部（３４）が形成され、凸部（３３）と第１凹部（３２）によって構成された環状の溝部（３５）と第２凹部（３４）が連通され、第１部材（１０）が凸部（３３）に搭載され、第１部材（１０）の底面（１２ｄ）が溝部（３５）に貯留された液状の接着剤（５１）に接触した際、表面張力によって第２凹部（３４）に貯留された液状の接着剤（５１）が溝部（３５）に流入し、第１部材（１０）の側面（１２ａ）と第１凹部（３２）の側面（３２ａ）との間に濡れ広がることで、接着剤（５０）が側面（１２ａ）と側面（３２ａ）との間に介在されている。 （もっと読む）

【課題】体格及びコストの増大が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが組み合わされて成るセンサ装置であって、第２ハウジング（５０）は筒状を成し、その中空が、メタルダイアフラム（６０）及びリングウェルド（６１）によって収容空間と導入空間とに区切られ、第１ハウジング（１０）におけるメタルダイアフラム（６０）側の端部に溝（１３）が形成され、溝（１３）、メタルダイアフラム（６０）、及び、リングウェルド（６１）によって圧力検出室（１５）が構成され、圧力検出室（１５）に、圧力センサ（２０）とターミナル（３０）の一部が設けられ、メタルダイアフラム（６０）に作用する圧力流体の圧力を、圧力センサ（２０）に伝達する圧力伝達媒体（１６）によって満たされており、圧力検出室（１５）に、温度センサ（２３）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】耐圧が向上された差圧・圧力測定装置を実現する。
【解決手段】半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する２個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された８個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールドパッケージの前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする差圧・圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】放電防止用の配線部の切断に伴う不具合の発生を抑制する。
【解決手段】センサチップ１の上面に絶縁材料製の保護壁12が形成されている。また保護壁12の一部である第１保護壁120は、放電防止用配線部25，26と可動電極4A，4Bを導通させる導電部11を放電防止用配線部25，26と隔てる位置に起立している。故に、放電防止用配線部25，26の切断部分Ｘの金属材料Ｙは、保護壁12に遮られることで広い範囲に飛散しないので、不要な箇所(導電部11)への付着が抑制される。その結果、放電防止用配線部25，26の切断に伴う不具合の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力検出部の感度を低下させずに、高周波成分による圧力検出部のダメージを抑制できる燃焼圧センサを提供する。
【解決手段】燃焼圧センサ（１０）は、中空筒状のハウジング（１１）、ハウジング（１１）の開口端部（１１ａ）に設けられた受圧用のダイアフラム（１２）、ハウジング（１１）の底部（１１ｂ）外面に固定された圧力検出部（１３）、ハウジング（１１）に収容され、ダイアフラム（１２）に印加される燃焼圧を、底部（１１ｂ）を介して圧力検出部（１３）に伝達する棒状の圧力伝達部材（１４）を備える。圧力伝達部材（１４）は、その表面に第１凸部（１５ａ）及び第１凹部（１５ｂ）の少なくとも一方を有する第１減衰部（１５）を有する。そして、空気より粘性係数の大きい材料からなる粘性部材（１６）が、ハウジング（１１）に収容されるとともに、第１減衰部（１５）の表面とハウジング（１１）の内面（１１ｃ）の両方に接触している。 （もっと読む）

【課題】温度依存性を小さくできるとともに、製造が容易なピエゾ抵抗体等を提供する。
【解決手段】半導体材料に外力が作用したときの抵抗値の変化を利用するピエゾ抵抗体である。半導体材料として、表面の終端の少なくとも一部が水素終端とされたｐ型半導体特性を持つダイヤモンドを用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来技術を改善する装置および方法を提供することである。
【解決手段】半導体本体（８０）の上側の面で垂直ベクトル方向に、プラスチック部材（３０）が開口部（２０）の外の領域では壁（１１０）よりも大きな高さを有し、壁（１１０）の基面と半導体本体（８０）の上側との間に固定層（１０５）が形成されており、壁（１１０）は開口部（２０）内に形成されたセンサ面から離間している。 （もっと読む）

【課題】溶接部の耐食性が損なわれることが抑制された圧力センサを提供する。
【解決手段】センサ素子（２０）が固定された第１ハウジング（１０）と、圧力流体の導入孔（５１）が形成された第２ハウジング（５０）とが接合されて成る圧力センサであって、第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが、メタルダイヤフラム（６０）を介して互いに対向しており、第１ハウジング（１０）は鉄製、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）はステンレス製であり、第１ハウジング（１０）、メタルダイヤフラム（６０）、及び、第２ハウジング（５０）は、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くのＣｒを単位体積当たりに含むステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されている。 （もっと読む）

【課題】縦続接続することが可能な感圧性増幅段を提供する。
【解決手段】感圧性増幅段１０は、第１及び第２のユニポーラ型の圧力センサ用トランジスタ１２，１４，１６、１８を２組備えており、それぞれ圧電抵抗性の電流経路１２ｄ、１４ｄ、１６ｄ、１８ｄを有し、２つのブリッジ部２２，２４を有する圧力測定ブリッジとして接続されている。該電流経路１２ｄ、１４ｄ、１６ｄ、１８ｄは直列に接続されている。２つのユニポーラ型の制御トランジスタ２６，２８を更に備えられており、制御端子２６ａ，２８ａと第１の端子２６ｂ，２８ｂ及び第２の端子２６ｃ，２８ｃの間に配置された電流経路２６ｄ，２８ｄとを有し、第１の端子２６ｂ，２８ｂ同士及び第２の端子２６ｃ，２８ｃ同士は互いに接続されており、制御端子２６ａ，２８ａは、２つのブリッジ部における第１及び第２の圧力センサ用トランジスタの間の接続点２２ａ，２４ａに夫々接続されている。 （もっと読む）

【課題】シール性が損なわれることが抑制されたシール構造を提供する。
【解決手段】第１部材と第２部材とが組み付けられ、第１部材と第２部材との対向部位間がシール部材によってシールされたシール構造であって、第１部材と第２部材とが互いに近接する磁力を発生する磁性部材を有し、第１部材と第２部材との対向部位間は、磁力によってシール部材が圧縮された状態で、離間している。 （もっと読む）