【課題】測定工程自動化を可能とする測定装置を提供する。
【解決手段】第１端部Ｅ１及び第２端部Ｅ２を有する軸Ｓを備え、軸Ｓが第１端部Ｅ１に接触素子３を備え、軸Ｓは、第２端部Ｅ２によってホルダー１に装着可能であり、ＲＦＩＤチップ５０を備えたスタイラス２を伴う測定装置及び測定装置にあるスタイラスを特性化するデータを考慮する方法である。 （もっと読む）

【課題】簡易でありながら精度良く測定が可能なスプライン内径測定器を提供する。
【解決手段】４本の円筒ピン２０２がばね部材２０３によって、雌軸１０２の測定対象となるボール溝以外のボール溝１０５に付勢されるので、雌軸１０２と中空柱部２０２ｃとの倒れが小さくなり、且つ軸周方向の回転ガタが抑制され、これにより測定子Ｐの球状部２０６を、雌軸１０２の測定対象となるボール溝１０５に対し直角に近い角度で接触させることができ、雌軸１０２と中空柱部２０２ｃの軸線の傾きとに起因する測定誤差が減少し、スプライン内径測定を高精度に行うことが出来る。 （もっと読む）

座標測定機など測定機用の伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）を記載する。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、第１の端部および第２の端部を備え、第１の端部と第２の端部の間の間隔を測定するための計測装置を備える。計測装置は、低い熱膨張係数を有する１つまたは複数の細長計測部材（４４、４６；７６、７８）を備える。伸長可能な脚部アセンブリ（８；３０）は、枢動接合部によって、１つまたは複数のプラットホーム（４、６；３６、３８）に取り付けることができる。好ましい一実施形態において、荷重支持構造（５０、５６）は、脚部アセンブリ（８；３０）の計測構造（７６、７８、８０）から機械的に隔離される。
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穴の深さの関数として穴の口径を計測するための方法および装置が開示される。一実施例では、この装置は、直径プローブ感知軸に沿って第１の計測された口径データを生成するための直径プローブと、穴に平行な面に直径プローブ感知軸を位置決めするための脚部と、直径プローブに結合され、穴の中における直径プローブ感知軸の深さを示す第１の計測された深さデータを生成するための直線距離プローブと、穴の中への直径プローブの挿入の、直径プローブからの第１の計測された口径データと、直線距離プローブからの第１の計測された深さデータとを記録するためのデータ取得システムとを含む。
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【課題】高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供する。
【解決手段】演算部２１２が、スケール部１９ｂとスライダ１６先端との間の相対変位特性に基づく補正用フィルタ２１２ａにおいて、スケール部１９ｂで検出されたスライダ１６の変位に補正用フィルタ２１２ａを適用した値を先端球１７ａの変位と加算して測定値を算出する構成とする。このような構成とすることにより、高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】加工品に接触する際にヒステリシス効果を最小限にする代替方法を提供する。
【解決手段】プローブヘッド基部５６と触針２２とを有するプローブヘッド２６が提供され、前記触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して移動可能である。触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して画定された静止位置を有している。接触のために、触針２２が表面点に画定された接触力で触れるまで、プローブヘッドが加工品に対して移動する。静止位置に対する触針２２のヒステリシス作用を表す補正データ記録７４が提供され、接触力が補正データ記録７４を用いて定められる。 （もっと読む）

表面測定プローブのドリフトを判定する装置および方法。この表面測定プローブは、ハウジングと、表面接触スタイラスと、スタイラスを振動させる振動発生器と、スタイラスの振動の変化に関係したパラメータを決定する感知デバイスと、パラメータとしきい値との関係を判定する比較器とを有する。スタイラスが表面と接触していないときにパラメータの読みが読み取られ、表面に触れたときの遷移時間よりも有意に長い時間ｔにわたってこのパラメータの読みが平均される。このパラメータの読みの平均が基準パラメータと比較される。この比較が、パラメータの有意のドリフトがあったかどうかを判定するために使用される。このようにして、温度変化に起因したドリフトが補正される。
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機械に装架された計測プローブ（１０）を較正する方法が記述される。計測プローブ（１０）は、ワークピースに接触する先端（１６）を備えたスタイラス（１４）を有する。方法は、プローブアウトプット（ａ、ｂ、ｃ）を機械座標系（ｘ、ｙ、ｚ）に関連づけるプローブ較正マトリクスを決定することを含む。方法は、第一の機械データを得るために第一のプローブ偏位（ｄ_１）を用い、第二の機械データを得るために第二のプローブ偏位（ｄ_２）を用いて、較正アーティファクト（１８）を走査する工程を含む。第一および第二の機械データは、いかなる機械誤差も実質的に除去される完全なプローブ較正マトリクスを得るために用いられる。有利には、方法は、第一および第二の機械位置データの差は既知であるとの仮定に基づいて、完全なプローブマトリクスを数学的に決定する。
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【課題】被測定物の表面性状などによる特性変動や外乱などがあっても、高精度で、かつ、測定時間を増大させることなく、測定力一定の倣い測定が実現可能な表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】力センサ１と、駆動用アクチュエータ１１と、検出器１２とを備える。力センサ１からの検出信号を取り込、検出信号が目標測定力に一致するように駆動用アクチュエータを駆動させる倣い制御手段５４と、力センサ１からの検出信号が目標測定力に一致したときにタッチ信号を発生するタッチ信号発生部５１と、倣い制御手段が動作中において、力センサ１からの検出信号の変動幅が予め設定した一定幅未満の状態では、カウンタ２６の測定値を所定時間間隔で取り込み、力センサ１からの検出信号が振動しかつ振幅が予め設定した一定幅を超える状態では、タッチ信号が発生される毎にラッチカウンタ５２の測定値を取り込む測定値取込手段５５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ステージ真直度誤差の影響を受けることなく、高精度にレンズ等の被測定物の被測定面の頂点検出を行うこと。
【解決手段】プローブ２を走査方向（Ｘ方向）に直交するＺ方向に対して、移動可能に支持する支持部３と、該支持部３と被測定物Ｒとを、走査方向に向けて相対的に移動させると共にＹ方向に向けて、所定量づつ相対的にステップ移動させる駆動手段４と、Ｙ方向にステップ移動させられた各位置でＸ方向に走査を行ったときの、プローブ２のＺ方向の変位量から、被測定物Ｒの表面形状に対応したプローブ２の中心座標の軌跡を測定するステップ測定手段５と、該ステップ測定手段５で測定されたプローブ２の軌跡から、各位置における被測定物Ｒの曲率半径を算出する演算手段６と、該演算手段６で算出された各位置における曲率半径の変動推移から、被測定物Ｒの頂点位置を検出する検出手段７とを備えている形状測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】プローブ先端の洗浄を容易に実行可能とし、使い勝手の向上、信頼性の向上を図った表面性状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触子１７ａを先端に有するプローブ１７の末端は、スピンドル１６にピエゾ素子１８を介して固定されている。このピエゾ素子１８には、加振回路４４により所定の振幅及び周期を有する交流電圧Ｓが印加可能とされている。交流電圧Ｓを印加することにより、ピエゾ素子１８は、周期的に変形し、プローブ１７の位置を周期的に変化させることが可能である。すなわち、プローブ１７は、加振回路４４により、振動を加えられる。この振動した状態にある接触子１７ａを洗浄液が入れられた容器に挿入して洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、めねじ有効径の自動測定を正確に行うことのできるねじ測定装置を提供することにある。
【解決手段】座標測定機本体１２上にセットされた測定対象となるめねじ１６のピッチＰに応じて選択された直径２ｒを有するスタイラス先端球２２を該めねじ１６のねじ溝に当て該めねじ１６の内側寸法情報Ｄ_ｗを測定する内側寸法測定機構３０と、該内側寸法測定機構３０で測定された内側寸法情報Ｄ_ｗ、該スタイラス先端球２２の直径情報２ｒ、該めねじ１６のねじ山角情報α及びピッチ情報Ｐから、該めねじ１６の有効径情報Ｄ_ｅを、Ｄ_ｅ＝Ｄ_ｗ＋２ｒ・cosec(α／２)−（Ｐ／２）・cot (α／２)の有効径演算式で求める有効径演算手段３２と、を備えたことを特徴とするねじ測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であって、測定子の変位を高精度に検出する接触プローブを提供する。
【解決手段】接触プローブ１００は、測定子２００と、測定子２００を変位可能に支持するセンサ本体部３００と、を備える。センサ本体部３００は、測定子２００を変位可能に支持する支持プレート３２０と、二つの光源４２１Ａ、４２１Ｂと、光を受光する光センサ４４０と、光の光センサ４４０への入射位置を測定子２００の変位に応じてシフトさせる反射ミラー４１０と、受光信号に基づいて測定子の変位を算出する信号処理部５００と、を備える。各光源４２１Ａ、４２１Ｂは、互いに異なる変調がなされた変調光を発射する。 （もっと読む）

【課題】接触子の形状が理想的な球ではない場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置、その形状測定方法並びに形状測定プログラムを提供する。
【解決手段】前記接触子の前記被測定物への複数箇所での接触時における前記接触子の基準点の位置座標を擬似測定点として取得する擬似測定点取得部２１２と、前記擬似測定点から前記擬似測定点に沿った面又は線を推定し、該面又は線に対する各擬似測定点からの法線ベクトルを算出する法線ベクトル生成部２１３と、前記接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を前記擬似測定点に一致させると共に測定時の前記接触子と前記接触子モデルとの姿勢を一致させて前記接触子モデルを配置する接触子モデル配置部と２１４、前記各法線ベクトルが前記各配置された接触子モデルの表面と交わる点を測定点として算出する測定点算出部２１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来、接触式位置センサを用い、プランジャ軸をリトラクトする必要のある場合外部にエアシリンダを設けたがスペースを取るのでリトラクト機能を内蔵し、エア圧を利用し自動化した。また、エア圧による接触力の付勢、動作信号を利用してリトラクト以外にロック、割り出し、はね出し機能も具備するようにした。
【解決手段】センサ本体内にエアシリンダ機能を内蔵させることによって測定プランジャ軸の押出し、リトラクトさせることが自動化でき、スペースをとらず、コストも低く、精度も向上させられる。また接触力が圧縮エアによって与えられるので変更が容易で一定にできる。
更に位置検知信号を用いて圧縮エア圧を制御し、検出体の割り出し、ロック、はね出しなどのアクチュエータ機能を具備することが可能になる。また、同時に保護構造の強化をはかった。 （もっと読む）

【課題】接触子の摺動動作による摩耗が抑制された接触式変位計を提供することである。
【解決手段】ヘッドケース１１０の下面部ＣＢの貫通孔１１０ｂから下方に延びるように外筒２２０が取り付けられている。シャフトキャップ３２０の回転止ピン挿入部３２２に挿入された回転止ピン３４０は、背面部ＣＣに上下方向に延びる回転止溝１１１に嵌合されている。外筒２２０内には、シャフト３１０が挿入されている。外筒２２０とシャフト３１０との間には、ボールケージ２３０が配置されている。ボールケージ２３０は、筒状部材に複数のボール２３１が規則的な間隔で設けられたものである。ボール２３１は、外筒２２０の内周面およびシャフト３１０の外周面に当接するとともに、上下方向に回転移動可能である。 （もっと読む）

【課題】触針式形状測定装置において、触針と被測定面の接触位置を算出することによって被測定面の形状を高精度に測定する。
【解決手段】最初にクランプ１３で触針１４をアーム１５に固定した状態で被測定面を走査し、走査によって変位検出機構１６で得られたＺ方向の変位データを測定する。次に、触針１４がアーム１５に対してクランプ１３による接続部分を中心にＸＹ平面に可動となるようにクランプ１３を切り替え、触針１４が走査した線上において、先端球１０を被測定面に接触させ、その位置からＺ方向に微小な変位を加えた場合のＸ、Ｙ及びＺ方向の変位を測定し、先端球１０と被測定面との接触位置を測定する。これらＺ方向の変位データ及び先端球１０と被測定面との接触位置データに基づいて走査線上における被測定面の形状を計算する。 （もっと読む）

本発明は、座標測定機械を操作するための方法及び座標測定機械に関し、この場合、少なくとも１つの電気モータＭによって駆動される座標測定機械の座標測定装置、特に測定ヘッドは、少なくとも１つの方向に動くことが可能である。電気モータＭの運動、このようにして、座標測定装置の運動を行うために、電気モータＭを通して(ラインＣ１１、Ｃ２１の電流回路を介して）流れる駆動電流が測定される。電気モータＭの運動又は座標測定装置５の運動が進行すべき目標速度に基づいて及び／又は目標加速度に基づいて、駆動電流について限界値が検出される(コンピュータＰＣ及び／又はマイクロコントローラＭＣで)。駆動電流が検出された限界値Ｉ_Τに達した場合及び／又は駆動電流が検出された限界値Ｉ_Τを超えた場合、例えば、コンピュータＰＣ又はマイクロコントローラＭＣが、電流回路に配置されたスイッチＳＷ１、ＳＷ２の一方をオフにすることによって、座標測定装置５は所定の状態に設定される。
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【課題】 更なる軽量化が達成できる構成でありながら、精度の高い変位量検出を行うための変位量検出器を提供すること。
【解決手段】 プローブ装置１０に設けたロッド部材４を構成する軸状部材ＢＤがセラミック材料によって形成されており、可動部の重量を小さくしつつその強度を高めることができ、セラミック材料の選択によって低熱膨張化を図ることができる。さらに、面形状測定装置１００によれば、変位量を検出するためのＺミラー９１ａがロッド部材４の上端に直接成膜されたミラー膜ＭＦであるので、ロッド部材４の軽量化や耐久性をさらに達成することができ、ロッド部材４の製造も簡易となる。結果的に、ロッド部材４の応答精度やプローブ装置１０による変位量検出精度を高めることができるので、ワークＷの表面形状の測定精度をさらに向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）