【課題】本発明の目的は、広温度域における高精度化を確実に図ることのできる直線ガイド搭載装置を提供することにある。
【解決手段】スライダ１８はその要求性能に基づき選択された材質で構成され、スピンドル２０はその要求性能に基づき選択された材質で構成され、また該スライダ１８に該スピンドル２０を取り付けるためのスピンドル取付機構３０を備え、該スピンドル取付機構３０は、駆動方向に平行な方向に所定離隔距離をおいて配置され、該スライダ１８に該スピンドル２０を固定状態で保持する固定側スピンドル取付手段３２及び該スライダ１８ないし該スピンドル２０を該駆動方向に平行な方向のみにスライド自在に保持する逃げ側スピンドル取付手段３４を備えたことを特徴とする直線ガイド搭載装置１０。 （もっと読む）

【課題】 形状測定装置において被測定物である光学素子を高精度に保持し、偏芯測定を可能にする光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 光学素子測定用治具１０において、外形基準検知手段４０が３つの球面部３０を基板２０上の光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに付勢しつつ当接させるので、光学素子ＯＥの外形基準を精度よく測定できる。この際、当接その球形状の球面部で構成されているので高精度に加工し易い形状となっているため更に測定精度を高めることができる。 （もっと読む）

測定ヘッドのための調節機構、特に、座標測定機での測定ヘッドによって支持される測定プローブ３の較正を簡略化するための調節機構であって、プローブ・ボール７の測定位置を決定するための手段を備え、該手段が、プローブ・ボールの新たな測定位置を決定するためにプローブ・ボールを回転又は変位させる、或いはその両方を行うように構成され、それによりプローブ・ボール７のオフセットを求めることができる調節機構。
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【課題】 測定面の傾斜角が大きい場合でも、安定した測定が可能であり、測定誤差の増加を抑制して、安定かつ高精度に形状測定することができる触針式形状測定装置とその方法を提供する。
【解決手段】 軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に対して一定角度傾斜して設置された斜軸測定プローブ１と、軸方向が被測定物の設置面の垂直方向に平行に設置された直軸測定プローブ２とを備え、これらの複数の測定データをつなぎ合わせることで全体形状を求める。 （もっと読む）

【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部２１０により被測定物表面を倣い走査する。測定部２１０は、接触部２１２を先端に有するスタイラス２１１と、接触部２１２が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部２１０を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部２１０を回転中心として測定部２１０を回転させてスタイラス２１１を被測定物表面に垂直にする回転機構４００を備える。 （もっと読む）

【課題】プローブの倣い走査による形状測定装置の測定タクトを短縮する。
【解決手段】被測定面１０４を倣い走査するプローブ１０１の走査経路を第１〜第３の測定経路１０５〜１０７に分割する。第１の測定経路１０５による形状測定後に、その測定データと被測定面１０４の設計形状を比較する形状解析を行い、誤差が大きい場合には、第２の測定経路１０６における形状測定を強制終了させる。誤差の原因を検討し、適切な処理を行ったうえで第１の測定経路１０５から形状測定を再開する。すべての測定経路の測定を終了後に形状解析を行って再度測定を行う場合に比べて、トータルの測定タクトを短縮できる。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面を有する被測定物表面Ｓの形状を加振型接触式プローブにて測定する表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 接触部２１２に作用する測定力を検出する測定力検出回路２１９を有する加振型接触プローブにより構成される測定部２１０と、測定部２１０を被測定物表面Ｓに対して相対移動させる移動手段（三次元駆動機構３００、上下駆動機構２２０）と、測定力検出回路２１９からの出力される測定力の大きさに基づいて移動手段を制御する駆動制御部４００と、を備える。駆動制御部４００は、測定力が倣い指定測定力となるように接触部を被測定物表面Ｓに沿って倣い移動させる倣い測定制御部４１０と、タッチ検出測定力で接触部２１２を被測定物表面Ｓに断続的に接触させるようにして被測定物表面Ｓをタッチ測定する動作を連続的に実行させるタッチ測定制御部４２０と、を備える。 （もっと読む）

タッチトリガー、または、アナログプローブなどの測定プローブ（１２、１１０、２５０）が説明され、それは、振れ可能なスタイラス部（１４）と、スタイラスの振れデータを遠隔プローブインターフェイス（２０、１０４、２５４）に送信するための無線通信ユニット（１８）とを含む。無線通信ユニット（１８）は、スタイラスの振れデータ，および，プローブのアイデンティティコードを含むデジタルデータのパケットを送信するように配置される。無線通信ユニット（１８）により、利用者によって前記プローブのアイデンティティコードが、設定可能とされる。測定プローブ（１２、１１０、２５０）は、無線周波数（ＲＦ）のスペクトラム拡散リンク（１０６）で、関連するプローブインターフェイス（２０、１０４、２５４）と通信し得る。
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【課題】 接触式プローブによる形状測定において、測定物表面にゴミなどがあっても安定して走査可能なプローブを提供する。
【解決手段】 ハウジングに固定してプローブシャフトに力を加える事が可能な力発生手段を設け、ハウジングとプローブシャフトの間の変位や速度によってプローブシャフトに作用させる力を変化させる事で安定した走査を可能にする。すなわち、正常にトレースが行われている時は、弱いばね要素としての力をプローブシャフトに作用させ、ごみ等により跳ね上げられた時は、ばね要素の剛性を強める事で素早くプローブを測定面に戻すようにする。 （もっと読む）

ペンタポッド式運動学を用いて動作し、５つの軸の周りにおいて測定点の先端における絶対位置を決定するための座標測定機である。この機械は、第１の、２つに分岐したリンケージと、第２の、３つに分岐したリンケージと、さらに複数の長細い支柱とを備える。複数の支柱のうち、第１および第２の支柱は、第１のリンケージを共有し、複数の支柱のうち、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージを共有し、第１および第２のリンケージは、ハンドルによって連結されている。第１および第２の支柱は、第１のリンケージに対して回転可能に係止されていることが好ましく、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージに対して回転可能に係止されていてもよい。第１から第５のノードを設け、それぞれが第１から第５の支柱のうちの対応する１つに対してスライド可能に係止してもよい。これらのノードは、ノードに対する対応の支柱の変位を測定するための手段を備えてもよい。
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【課題】３つの空間方向におけるそれぞれの曲げ剛性をできるだけ良好に相互に整合させることのできる、微細構造体を測定するためのセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】触知式座標測定装置のプローブ２８用のセンサーモジュール４０は、第一測定面を規定する固定モジュールベース４６を有する。前記センサーモジュールはさらに、モジュールベース４６に対して移動可能であって、触針２６を保持するための支持部材４８ａを有している。さらに、支持部材４８ａとモジュールベース４６とを移動可能に相互接続する少なくとも１つの変形可能な接続部材５０を設けている。本発明の１つの局面において、前記接続部材５０は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層５０ａ，５０ｂを有し、これらは、第一測定面に対して垂直に、相互に位置がずれた状態に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の頂点位置を高精度かつ容易に検出することができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 被測定物Ｗの表面に触針センサ１３を接触させた状態で、前記被測定物Ｗと前記触針センサ１３とを相対的に走査させ、この走査の間の前記被測定物Ｗの測定したい高さ方向における前記触針センサ１３の変位量により前記被測定物Ｗの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記触針センサ１３の前記高さ方向の変位量を測定する変位量測定手段と、この変位量測定手段からの出力信号に基づいてリサージュ波形を生成するリサージュ波形生成手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

座標測定機を用いて測定すべきワークピース（７１）をスキャニングによって精査する際に、スタイラス・チップはスキャニング・パス（７３）に沿ったスキャニング前にプリスキャン・パス（８３）に沿って移動し、及び／又は、スキャニング・パス（７３）後にポストスキャン・パス（８５）に沿って移動する。プリスキャン・パス及びポストスキャン・パスの長さ（Ｌ_v，Ｌ_n）は、具体的な測定作業の各パラメータ、特に、予め決定されたスキャニング速度、スタイラスの剛性及びスタイラスの質量に応じて選択される。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 安価で且つノイズの発生を抑制することができる微小金属プローブ球を用いた三次元座標測定式形状測定器を提供する。
【解決手段】 三次元に移動可能な移動ユニット１１の先端に所定方向に移動可能に構成され、その先端部を被測定物に接触させ走査することにより、プローブ先端部の位置座標を検出して前記被測定物の形状を測定する接触プローブ１２を用いた三次元座標測定式形状測定器であって、前記被測定物と接触する前記接触プローブ１２の先端部に、直径がφ500μｍ以下の球状に凝固させた微小金属球１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】一般的な三次元測定機を利用してねじ形状の各種特性値の測定を行うことができるねじ形状測定方法を提供すること。
【解決手段】三次元測定機を利用してねじ穴形状の測定を行う際に、十字スタイラス135の接触部136をねじ穴WHの周辺のワーク表面W1に当接させ、この当接状態のまま十字スタイラス135をねじ穴WHの中心向きに移動させ、接触部136がねじ穴WHの開口SOに達したら、接触部136をねじ形状WSに当接させたまま十字スタイラス135をねじ形状WSの中心軸線に沿って下降させて、ねじ形状WSの輪郭を倣い測定し、この倣い測定を終了したと判定したら十字スタイラス135をねじ穴WHの中心に寄せて外へ引き出す。 （もっと読む）

測定器は、弁胴の内側ハブランド１０６と外側ランド１０４との相対位置を測定するように設計されている。位置決め面２１２は、内側ハブランド１０６に対して測定を行うように内側ハブランド１０６と係合する。プローブは、外側ランド１０４と係合するように設計されている。弁胴を回転させることによって、外側ランド１０４の全周を内側ハブランド１０６に対して測定することができる。 （もっと読む）

工作機械のような座標位置決め機械上の物体の寸法を測定するプローブは、ワークピース接触用針２０を有する。これは、針がワークピースに接触すると、出力を提供する歪ゲージ３４を含むセンサー機構３０を介して吊り下げられている。プロセッサー１６は、歪ゲージの出力を処理し、トリガー信号を発生させる。プロセッサーは、３次元Ｘ、Ｙ、Ｚでのワークピースへの接近の全ての可能性のある方向において等しい感度を保証するアルゴリズムまたは計算式あるいはルックアップテーブルにしたがってそのように行う。
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【課題】 固定触針の先端と移動触針の先端とがずれた場合でも、被測定物の厚みを高精度で測定できる厚み測定装置を提供すること。
【解決手段】 厚み測定装置１は、固定触針１４１を有するベース部１０と、このベース部１０の固定触針１４１に対向配置されたスピンドル２２１と、ベース部１０に設けられスピンドル２２１を固定触針１４１に接近、離隔させるダイヤルゲージ本体２２２と、このスピンドル２２１の移動距離を測定する表示部２２３と、を備える。ベース部１０は、ステージ１４と、スピンドル２２１の移動方向に対して交差する方向にステージ１４を移動可能なステージ移動装置１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】位相差法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の回転精度補正方法を提供する。
【解決手段】回転機構（回転テーブル３）を有する測定機１の回転精度補正方法であって、測定機の回転機構を使って予めデータ採取位置１４の形状データが値付けされたマスターワークＭＷを回転させながら、そのマスターワークのデータ採取位置の形状を検出器７によって測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて回転機構の回転精度データを求める回転精度データ算出工程と、前記測定機の回転機構を使ってワークを回転させながら、そのワークの形状を検出器によって測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記回転精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。 （もっと読む）