本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】シャフトの加工が容易で、しかも接触球に早期に摩耗や損傷を来す恐れのない接触子を提供すること。
【解決手段】シャフト２０の先端部に形成した収容孔２３に球面の一部を外部に露出させた状態で接触用の接触球３０を転動可能に収容させるとともに、収容孔２３の内底面と接触球３０との間に支持用の支持球４０を複数個介在させて成る接触子であって、収容孔２３の奥側端部に手前側端部よりも内径の大きな収容部２５を形成するとともに、収容孔２３の内底面において少なくとも外周側に位置する部位にシャフト２０の軸心に直交する連続した平坦面２３ａを形成し、複数の支持球４０を収容部２５の内周面２５ａ及び平坦面２３ａに当接させた状態で収容孔２３に接触球３０を収容させた。 （もっと読む）

【課題】先端接触子の呼び半径とスタイラスの実際の移動距離とによって、ワークの寸法計測を正確に行うことができる接触検出装置およびスタイラスの先端接触子の製造方法を提供する。
【解決手段】スタイラス２の先端接触子２１の実際の半径をＲａとしたとき、先端接触子２１の呼び半径Ｒｎに対して、動作遅れ分として、先端接触子２１がワーク１１０に接触した位置から可動接点１１，１２，１３のいずれかが対応する鋼球３１と３２，３３と３４，３５と３６との接触から離れる位置までのスタイラス２の追加移動距離ｄを足したＲａ＝Ｒｎ＋ｄの大きさにする。これにより、先端接触子２１がワーク１１０に接触してから追加移動距離ｄだけスタイラス２をワーク１１０側に移動させることができるので、スタイラス２の移動距離と先端接触子２１の呼び半径とを足すと、実際の移動距離と同じにすることができ、誤差を解消できる。 （もっと読む）

【課題】
被測定物の表面形状を簡便かつ高精度に計測可能な表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】
表面形状計測装置は、ウエハ４に塗布されたレジスト５の表面に接触してこの表面の高さ変化に応じて位置が変化する複数の非光学的検出素子１を有する高さ検出器ＡＢＰと、非光学的検出素子１に向けて測定光１０ａを発する光源１０と、非光学的検出素子１からの測定光１０ａの反射光を受光することにより非光学的検出素子１の位置を検出する光検出器９とを有し、高さ検出器ＡＢＰは、非光学的検出素子１を保持するための開口２０が形成された保持部２を備え、非光学的検出素子１は、保持部２の開口２０に固定されずに配列され、レジスト５の表面に接触することにより位置が変化する。 （もっと読む）

【課題】支持用部品の取付誤差が大きいＳ／Ａ部品が次工程に流出することを確実に防止するべく、現状の検査方法の変更を最低限に抑えつつ、支持用部品の取付位置を、容易に短時間で高精度に測定することができる支持用部品の取付位置測定具および取付位置測定方法を提供する。
【解決手段】揺動可能、かつ、その揺動方向が変更可能に支持されるリンク部材１１とリンク部材１１の変位量を検出する変位計６を備える測定具本体２と、ナット孔５０ａの位置を代替して示す測定孔３ｂが形成されるアタッチメント部材３と、からなり、さらにリンク部材１１には、プローブ１２および検出部１３が固設され、プローブ１２が測定面３ｃに当接するときの球面部１２ａの変位量を、球面部１３ａの任意の一軸方向に対する変位量として変位計６により測定し、測定面３ｃの位置を検出して、ナット孔５０ａの取付位置を検出する取付位置測定具１。 （もっと読む）

【課題】接触子に加えられる負荷の方向と、負荷の大きさと、変位センサにて検出される変位との関係を容易に調整することができる変位センサの提供。
【解決手段】変位センサ５は、対象物に接触する測定子２Ａを先端部に有するスタイラス５１と、スタイラス５１を内部に収納する筒状のハウジング５２と、スタイラス５１、及びハウジング５２の間に設けられ、スタイラス５１を揺動自在に支持する２つの支持部材５３とを備える。各支持部材５３は、スタイラス５１が取り付けられる取付部と、ハウジング５２の内部に固定される固定部と、取付部、及び固定部を接続するバネ部とを備え、スタイラス５１の軸方向に離間して配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定条件を変更した場合であってもプローブの移動量を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、一定の範囲内で移動可能に構成される測定子を有するプローブと、プローブを移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御装置とを備える。制御装置は、移動機構の移動量、及びプローブの移動量に基づいて測定子の位置を算出する測定値算出部５３を備える。測定値算出部５３は、被測定物を測定するときの測定条件に基づいて、プローブの移動量を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出部５３１と、補正パラメータに基づいて、プローブの移動量を補正する補正部５３２と、移動機構の移動量と、補正部５３２にて補正されたプローブの移動量とを合成することで測定子の位置を算出する移動量合成部５３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ツール位置やロボットと対象物との相対位置を簡単かつ高精度に検出する。
【解決手段】ロボット２のアーム７先端のツール取付部７ｅに球面部８ａを有するツール８を取り付け、ツール取付部７ｅから球面部８ａの中心までのツールベクトルの成分に未知数を設定し、球面部８ａを平板１６に対してツール８の姿勢を変えて少なくとも未知数の数と同じ回数当接させ、その当接時のロボット２のアーム７の関節角度に基づいて当接時のツール取付部７ｅの位置をそれぞれ求め、特定の座標系において、平板１６のＺ位置と球面部８ａの曲率半径Rcとの和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置が、ツール取付部７ｅのＺ位置とツールベクトルのＺ成分との和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置に等しいことを意味する連立方程式を少なくとも未知数の数と同じ回数連立させ、その連立方程式を解くことでツールベクトルの成分を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表裏面形状にかかわらず、１つのプローブで被測定物の表裏面を高精度に測定できる表裏面測定プローブ、表裏面測定装置および表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】プローブ本体１０と、両端に接触子２２，２３を有する検出軸２０と、この検出軸２０をプローブ本体１０に対して検出軸２０の軸方向へ移動可能に支持するガイド機構３０と、検出軸２０を軸方向へ移動させる駆動機構４０と、検出軸２０と同軸上において、検出軸２０の移動位置を検出する位置検出手段５０とを備える表裏面測定プローブ。 （もっと読む）

【課題】
一度の計測操作によって、ねじ溝の内径のほか、ピッチ誤差やねじ溝の円筒度などを短時間で測定することのできる装置を得ようとする。
【解決手段】
被検査物たる雌ねじ部材を水平方向の軸線の回りを回転させる駆動部材と、測定子を支持して前記軸線に沿って移動可能な第１案内部材と、軸線と直交する方向へ移動可能な第２案内部材との２対の案内部材とを有し、前記第２案内部材に前記軸線と直交する方向へ付勢する付勢手段と、その付勢手段に抗して移動させる逆行手段とを付設するとともに、前記第１案内部材と第２案内部材とにそれらが移動する距離を計測可能な計測手段を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】小型化できかつ信頼性を高めた工作機械の接触検出装置を提供する。
【解決手段】スタイラス２がワークに接触したことに応じて、可動接点保持部１０により保持されている可動接点１１，１２，１３のうちの少なくともいずれかを、対面する各対の鋼球３１と３２，３３と３４，３５と３６から離すことにより、電池６から抵抗素子２５を介してトランジスタ２６のベースに所定の電位を供給して、トランジスタ２６を導通させ、発光ダイオード８を駆動することにより発光させて、ワークの接触を検知する。基板３０にパターン電極４０〜４３を形成し、鋼球３１〜３６と、トランジスタ２６と、抵抗素子２５を基板３０上に配置し、配線作業を簡略化する。 （もっと読む）

【課題】プローブを交換した場合や、プローブの姿勢を変更した場合であっても測定値の誤差を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、プローブ２１と、プローブ２１を保持するとともに、プローブ２１を測定空間内で移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するホストコンピュータとを備える。ホストコンピュータは、移動機構２２に基準のプローブを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_１、及び移動機構２２にプローブ２１Ｂを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_２を記憶する記憶部と、プローブベクトルＶ_１、及びプローブベクトルＶ_２に基づいて、基点Ｂの誤差を補正するための補正ベクトルＣＶを算出する補正ベクトル算出部と、補正ベクトルＣＶに基づいて、基点Ｂの誤差を補正する基点補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定値の誤差を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を倣い移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、移動機構２２の移動量を取得する移動量取得部５２と、測定値を算出する測定値算出部５３とを備える。測定値算出部５３は、測定子の位置の誤差を補正するための補正量を算出する補正量算出部と、移動機構２２の移動量と、補正量とに基づいて測定子の位置の誤差を補正する補正部とを備える。補正量算出部は、プローブ２１に設定された基準点におけるプローブ２１の並進誤差を補正するための並進補正量と、基準点を回転中心とするプローブ２１の回転角、及び基準点から測定子までのプローブ２１の長さに基づくプローブ２１の回転誤差を補正するための回転補正量とを算出する。 （もっと読む）

【課題】眼鏡枠測定装置において、接触子が受ける摺動抵抗の低減を図り、且つ、接触子の眼鏡枠に対する押圧力を安定させる。
【解決手段】接触子３７の眼鏡枠の内周縁に当接する先端に回転可能な球状部材６０が備えられ、この球状部材６０が、眼鏡枠の形状測定時に内周縁に沿って回転することにより、接触子３７と眼鏡枠との間の摺動抵抗を低減して、接触子３７に生じる回転モーメントを軽減させるとともに、接触子３７内部に備えられた圧力検出手段６１が球状部材６０にかかる圧力を検出し、この検出された圧力が一定圧力となるように、演算制御回路（５２）（移動制御手段（６４））が接触子３７の移動を制御することにより、接触子３７の眼鏡枠に対する接触子３７の押圧力を安定させる。 （もっと読む）

【課題】ローラ間のギャップを高精度、かつ、効率よく測定し、測定時にローラ表面に損傷を与えることのないローラギャップ測定方法を提供する。
【解決手段】球形形状の測定子と測定子よりも小さな基準球を有するダイヤルゲージを用いて、２本のローラにより形成された隙間の測定を行うローラギャップ測定方法。 （もっと読む）

【課題】光学素子の基準面測定と光学面測定を１つのプローブで測定する。
【解決手段】プローブハウジング４とプローブシャフト２の間に、プローブシャフト２の相対変位を測定するＸ１変位計６ａ、Ｘ２変位計６ｂ等を設け、プローブシャフト２の並進変位と回転変位を測定する。また、プローブシャフト２に対して並進力と回転力を発生させるために、ヨーク３ａ、３ｂ、磁性体３ｃ、３ｄを有するＸ力発生機構、Ｙ力発生機構を設ける。被測定物Ｗの光学面Ｗａの測定は、Ｚ変位計７の出力を用いて行い、基準面Ｗｂの測定は、Ｘ１変位計６ａ、Ｘ２変位計６ｂ等の出力を用いる。 （もっと読む）

【課題】簡易にラベルの位置を検出することが可能なラベル検出装置を提供する。
【解決手段】ラベル貼付機１００は、台紙３１０に間隔を空けて仮着される複数のラベル３２０を検出するものであって、台紙３１０とラベル３２０とからなるラベル用紙３００が搬送される搬送路上に配置され、ラベル３２０の厚さ方向と略平行に延在するものであり、先端部分がラベル３２０と台紙３１０とに当接しつつ、延在方向に伸縮可能な接触式変位センサ１０６と、接触式変位センサ１０６の伸縮量に基づいて、ラベル３２０の位置を検出する制御部１０２内の位置検出機能１０４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、自律倣い測定の高精度化と高速化との両立を実現することのできる倣い測定装置を提供することにある。
【解決手段】倣いプローブ１２による自律倣い測定中、倣いプローブ１２の現在のチップ中心位置に対し過去のチップ中心位置の軌跡情報を保持している軌跡情報保持手段４０と、該軌跡の近似直線方向を軌跡基準方向とする軌跡基準方向決定手段４２と、該方向を進行方向に決定する進行方向決定手段４４と、該進行方向に沿って倣いプローブ１２が移動するように移動手段３２を制御する移動制御手段４６と、該進行方向に基づき被測定面３０の法線方向を求める法線方向決定手段４８と、を備えたことを特徴とする倣い測定装置１０。 （もっと読む）

座標測定装置(10)はハウジング(12)を有し、ハウジングは台(11)上に回転可能に支持され、水平方向並進アーム(15)と係合するキャリッジ(14)を乗せる垂直ピラー(13)が取付けられている。アームの各端のタレット(18、19)が、プローブ(22、23)に接続された回転体(20、21)を収容する。台の回転、キャリッジの垂直運動、アームの水平運動、及びプローブの回転が、ハウジング内のモータ(27、28、29、30)によって駆動される。モータの回転は、ケーブル及びプーリ組立体によってアームとキャリッジに伝達される。アームの横方向動作を制御するケーブル(43)は、キャリッジがピラーに沿って上下に移動する際にケーブルの一定長さ及び張力を維持するために、両端がアーム両端に位置する先端(16、17)に取り付けられ、キャリッジ上側及び下側に位置するピラーの部分に沿って上方及び下方に延在する。プローブを測定表面に対し一定角度で維持するようプローブの回転と基部の回転が協調される。
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【課題】レンズの外形基準に対するレンズの光軸の傾き、偏心量の要望精度に対応できる
形状測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物としてのレンズ4を３個の球状部3a,3b,3cを有する治具3に同軸状に設置し、測定機ＸＹ平面に対して中心軸wを所定の傾斜角度で傾斜させて中心軸wまわりに所定角度ずつ回転させ、各回転位置で、球状部3a,3b,3cとレンズ4の円筒面4aおよびその片側の面4a1,4bとをプローブ1により所定経路で走査してデータを取得し、各回転位置での球状部3a,3b,3cの中心位置座標値をデータより算出し、最小二乗法でフィッティングさせることにより、全回転位置でのレンズ4の測定データ群を球状部基準で中心軸wまわりの全周にわたって分布し、測定面の形状を求める。 （もっと読む）