【課題】回転軸を用いた機上計測において、各種演算により算出された機上計測装置の取り付けられた回転軸の回転中心軸とプローブの先端との距離を基準球計測の結果を基に補正を行う機上計測装置のプローブ取り付け位置算出方法を提供する。
【解決手段】基準球を計測することにより、算出したプローブ取り付け位置（Ｘ₀，Ｚ₀）の精度を向上させる準備段階において、（Ｘ₀，Ｚ₀）のＸ，Ｚ値を各々―１ｎｍずつずらし、ずらした座標を基に基準球計測プログラムを作成して一定角θ₁，θ₂での座標を求め所定の条件内であるか否か判断し、条件を満たす場合には、（Ｘ₀，Ｚ₀）に総ずらし量を加えたものを真のプローブ取り付け位置とし、処理を終了し、条件を満たさない場合には、ずらす度に一定角θ₁，θ₂での座標から離れるか否か判断し、離れない場合には準備段階の最初へ移行し、離れる場合には異なる方向へずらす第２の準備段階へ移行する。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】微小表面形状測定プローブは、被測定物１と接触する接触子を２先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するようにプローブ本体に組み込まれた圧電センサと、圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部と、荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部と、接触子２を通して被測定物１との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子２と被測定物１との接触を感知する接触感知装置と、を備える。 （もっと読む）

座標位置測定装置のためのエラー修正方法を開示する。この方法は、（ｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第一のデータ値を含む第一のデータセットを取得するステップと、（ｉｉ）各々が第一の物体の表面上のある位置を表す１つまたは複数の第二のデータ値を含む第二のデータセットを取得するステップと、（ｉｉｉ）各々が、第一のデータセットにより説明される表面と第二のデータセットにより説明される表面の間の位置差を表す１つまたは複数のエラー値を含むエラーマップを計算するステップと、を含む。第一の物体の面法線が第一のデータ値の各々によって表される各位置において既知であり、ステップ（ｉｉｉ）は、実質的に既知の面法線の方向の位置差を判断することによって各エラー値を計算するステップを含む。加工または測定作業は、第一の物体または第一の物体と名目上同一の物体について実行され、その表面上の位置がステップ（ｉｉｉ）で計算されたエラーマップを使って修正される。
（もっと読む）

【課題】 厚さ１ｍｍ以下の長尺シートの厚さを連続的に測定する。
【解決手段】 装置基体１０と、上下方向に揺動自在に前記基体１０に取付けられた回転自在の上部球２６と、上部球２６の上方に取付けられ前記上部球２６の上下揺動に連動して上下揺動するレーザー光反射体１６と、前記レーザー光反射体１６の上方において装置基体１０に固定されたレーザー厚さ測定器１４とからなる上部球支持装置６と、前記上部球支持装置６の上部球２６と対向して上部球２６の下方に回転自在に下部球３２を配設してなる下部球支持装置８とからなる連続走行シートの厚さ連続測定器。 （もっと読む）

本発明は、測定対象（１２）を計測する座標測定機（４６）の測定過程を制御する方法（１０）であって、前記座標測定機（４６）が制御装置（６４）と探触ピン（１８）を備えたプローブ（６０）とを有し、前記探触ピン（１８）と前記測定対象（１２）の表面（１４）との間の相対運動が前記制御装置（６４）によって制御されるものに関する。さらに、前記表面（１４）は測定対象表面（１３）に一致した少なくとも１つの実際部分（２４）と少なくとも１つの仮想部分（２６）とを有する。本発明はさらに、当該座標測定機とコンピュータプログラムとに関する。
（もっと読む）

可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、手動で位置付けることが可能な関節アーム部と、第１の端部に装着された測定デバイスと、ＡＡＣＭＭの構造的コンポーネントであって、軸方向を有する、構造的コンポーネントと、構造的コンポーネントに結合された、それぞれが受感軸を有する少なくとも３つの歪みゲージセンサであって、各歪みゲージセンサの受感軸が、軸方向に対してほぼ平行に向きを決められ、各歪みゲージセンサが、軸方向に垂直な横断面によってほぼ横切られ、アナログ歪みゲージ信号を生成し、歪みゲージセンサが、構造的コンポーネントと横断面の両方の上に存在する任意の点の曲げ歪みを判定するのに十分なデータを提供するように配置される、歪みゲージセンサと、位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。
（もっと読む）

可搬型の関節アーム座標測定機（ＡＡＣＭＭ）が、提供される。ＡＡＣＭＭ（１００）は、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム（１０４）を含む。アーム（１０４）は、複数の接続されたアームセグメント（１０６、１０８）を含み、アームセグメント（１０６、１０８）のそれぞれは、位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。測定デバイス（１１８）が、ＡＡＣＭＭ（１００）の第１の端部に装着される。トランスデューサからの位置信号を受信するための、および測定デバイス（１１８）の位置に対応するデータを提供するための電子回路（２１０）が、設けられる。光源（４０２）が、アーム（１０４）に結合され、測定デバイス（１１８）の近くに光を放射するように配置される。
（もっと読む）

可搬型の関節アーム座標測定機用取付けデバイスが、提供される。取付けデバイスは、開口が中を貫いている本体を含む。へりが、開口の片側に配置され、へりは、座標測定機の基部部分のフランジに係合するように大きさが決められる。開口の一部は、外部の取付け具に結合するように構成されたねじ山を含む。第１のアームが、本体に結合され、第１の位置と第２の位置の間を第１の方向に回転するように構成される。
（もっと読む）

可搬型の座標測定デバイスが、提供される。座標測定デバイスは、少なくとも１つのアームを含む。一端に磁気部材を含むブラケットが、アームに結合される。プローブが、アームの一端に回転可能なように結合され、プローブは、第１の側面に第１の鉄部材を含み、プローブは、第１の位置と第２の位置の間を動くことができ、鉄部材は、第２の位置にあるときに磁石に近接する。
（もっと読む）

【課題】第２被測定部の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合であっても第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を正確に測定することが可能な変位測定装置を提供する。
【解決手段】外軸（第１被測定部）１１に固定されるセンサ本体部３１と、このセンサ本体部３１に対して出退可能な触針部３２と、この触針部３２を内軸（第２被測定部）１２に従動させる従動手段とを備え、センサ本体部３１に対する触針部３２の出退量を検出することにより外軸１１に対する内軸１２の相対的な変位を測定する変位測定装置で、触針部３２をセンサ本体部３１に対して弾性付勢することなく出退自在に保持し、内軸１２側に設けられた磁石（保持部）３５に、触針部３２側に設けられた鉄製の接触子（被保持部）４２を吸着させることにより触針部３２を内軸１２に従動させるように構成する。 （もっと読む）

本発明は、座標測定装置内のワークピースの構造および／または形状を、触覚光学式の測定法によって決定するための方法であって、少なくとも１つの方向における接触型プローブ要素の位置を、光学的に横方向に測定する方法で、第１のセンサによって決定し、かつ、少なくとも１つの第２の方向における接触型プローブ要素の位置を、少なくとも１つの距離センサによって決定する方法に関する。複数のセンサによる接触型プローブ要素の誤りのない検出を可能にするために、接触型プローブ要素を保持手段に取り付けるために、第１のセンサの光路によってビーム方向に貫通される少なくとも１つの柔軟な接続要素を使用し、該接続要素は透明であり、および／または第１のセンサに対し大幅に焦点を外して設けられることが提案される。 （もっと読む）

【課題】微粒子の接触体を用いて、矩形溝形状を有するマイクロマシン等の三次元形状を高精度で測定する。
【解決手段】接触体６は、可撓性の支持部材５と透明な固定部材４によってプローブ本体９に連結される。対物レンズ３にてレーザ光Ｇを集光させ、接触体６の底面に焦点を合わせて光放射圧によって接触体６を被測定物１３の表面に接触させる。レーザ光Ｇを音響光学偏向器２によって偏向させることで、接触体６を任意の方向に振動させることができる。被測定物１３が矩形溝形状を有する三次元構造体であっても、接触体６の振動方向を調整することで高精度な形状測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】より正確な測定を可能にする新規な測定プローブを得ること。
【解決手段】座標測定機に使用するための測定プローブが、座標測定機に接続された基部１、測定チップ４、および測定チップ４の第１の端部に配置された球５を有している。測定チップ４は、基部１によって支持される少なくとも３つのリジッドな支持体２を用いてその第２の端部で支持され、それにより支持体２が球形の接続部によって測定チップに接続され、支持体２をその長さ方向に沿って基部１に対して移動させることが可能になる。支持体２は、程度にかかわらず基部１の測定チップ・ホルダ３と反対の側に突出することによって基部１を貫通すること、およびその長さ方向に沿って移動させることができるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象点に測定子を確実に接触させて被測定物の形状を測定することができる形状測定装置の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、被測定物を測定するための球状の測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を保持するとともに、プローブ２１を移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するモーションコントローラ３とを備える。モーションコントローラ３は、測定子の中心位置と、測定子の半径と、測定子の振れ量とに基づいて、被測定物の表面と、測定子との接触点の位置を算出して取得する接触点取得部３３と、接触点取得部３３にて取得される接触点の位置に基づいて、移動機構２２にてプローブ２１を移動させるための位置指令値を算出する移動指令部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】段差が形成されている被測定面の面形状を安定して高精度に測定し、測定時間を短縮すること。
【解決手段】ステップＳ１０１では、被測定面に対して第１プローブを走査させ、第１プローブの３次元位置データを含む測定データを取得する。ステップＳ１０２では、ステップＳ１０１で得られた測定データに基づき、被測定面の段差位置を示す段差位置データを演算により求める。ステップＳ１０３では、第１プローブよりも高分解能で測定可能な第２プローブの走査条件を、ステップＳ１０２で得られた段差位置データに基づき、被測定面の位置に対応して決定する。ステップＳ１０４では、被測定面に対して第２プローブをステップＳ１０３で決定した走査条件で走査させ、第２プローブの３次元位置データを含む測定データを取得する。ステップＳ１０５では、ステップＳ１０４で得られた測定データに基づき、被測定面の面形状を示す面形状データを演算により求める。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドの回転軸をロックするためのブレーキを提供する。
【解決手段】支持体に取り付くための第１のマウントと、表面検出装置が取り付け可能な第２のマウントとを備え、第２のマウントが第１のマウントに対し一以上の軸回りに回転可能である関節プローブヘッドにおいて、第１のマウントに対する第２のマウントの一以上の軸回りの位置をロックするための少なくとも一以上の機械式ブレーキが設けられ、これにより、少なくとも一つの位置測定装置が、ロック位置において、第１のマウントに対する第２のマウントの一以上の軸回りの位置を決定すべく設けられる。 （もっと読む）

【課題】測定子の位置を一定に維持しつつ、プローブのアライメント調整が可能なアライメント調整機構、および測定装置を提供する。
【解決手段】アライメント調整機構１０は、Ｘ軸方向に沿って平行な第一、第二調整端辺を有する調整板４０と、調整板４０に設けられるプローブ固定部６０と、プローブ固定部６０に固定されるプローブ８と、Ｙ軸方向の移動が規制されるとともに、Ｘ軸方向に沿って平行な第一、第二基部端辺を有する補強板３０と、調整板４０をＹ軸方向に押圧するＹ方向調整ネジ７０と、第一調整端辺および第一基部端辺、第二調整端辺および第二基部端辺を連結する調整連結部５２１と、を具備し、プローブ８の測定子８Ｃは、初期状態で、第一調整端辺および第一基部端辺を含む第一傾斜面、および第二調整端辺および第二基部端辺を含む第二傾斜面の交線上に配置される。 （もっと読む）

【課題】小型化および測定範囲の拡大が可能で、しかも、高精度な内側測定器を提供する。
【解決手段】本体ケース１と、固定子１０と、測定子２０とを有する内側測定器において、本体ケース１内に中間部を支点として揺動可能に設けられ一端が測定子２０に当接される接触部３５を有し他端に歯車部３６を有するセクターギヤ３０と、このセクターギヤの接触部が測定子に常時接する方向へセクターギヤを付勢する付勢手段４０と、セクターギヤの歯車部に噛合し本体ケース内に回転可能に支持されたピニオン５０と、このピニオンの回転量を検出するロータリセンサ６０とを備える、 （もっと読む）

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

【課題】先端球をステムと同一の材料で短時間で効率よく一体成形することで、スタイラスを高い信頼性で成形可能とする。
【解決手段】棒状のステム１０４と該ステム１０４の先端に設けられた先端球１０６とを備えて接触式計測用プローブに用いられるスタイラス１００の成形方法において、前記ステム１０４を位置決めする工程と、該位置決めされたステム１０４の先端部分にレーザ光１２８を照射する工程と、該レーザ光１２８を照射して該ステム１０４の先端部分を溶融後、表面張力により該溶融部分を前記先端球１０６として成形して固化するまで放置する工程と、を含む。 （もっと読む）