【課題】外輪と複数の円筒ころと保持器とを有する転がり軸受用サブアッセンブリ１０において、円筒ころの径方向内方への移動量を簡単で正確に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】上下揺動自在である揺動部材１の一端部１７ａに、サブアッセンブリ１０の頂部にある円筒ころに当接させる接触子２が設けられている。揺動部材１は、左右方向に延びるナイフエッジ２６を下に向けて設けた揺動支持部１８によって支持され、上下揺動自在となっている。揺動部材１の他端部１７ｂに、揺動部材１の揺動量を計測するダイヤルゲージ８が設けられている。円筒ころが軌道面に接触した状態から接触子２を押し下げることによって揺動した揺動部材１の揺動量を、ダイヤルゲージ８が計測する。 （もっと読む）

【課題】 ボールねじのナットおよび軸のねじ径を、容易にかつ精度良く測定することができるボールねじ測定装置およびその測定方法を提供する。
【解決手段】 測定子本体２６の先端を、被検査物Ｗｎのねじ溝Ｗｎａに測定圧を付与して当接させ、移動体１９等に対し、カウンターウェイト５を用いて移動体１９等の移動方向の重量バランスをとり、支持台１１を回転させて測定子本体２６の変位量を測定器６により測定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で且つ安価な座標測定用補助具により、厚みが薄い板状の被測定物の測定を、容易且つ正確に行なえるようにする。
【解決手段】座標測定用プローブ（ボールプローブ５１）の外周に装着される筒状体（円筒体６２、段付き円筒６３、四角筒６８、外筒８０、内筒８２）と、該筒状体をプローブ先端に位置決めして固定するためのクランプ機構７０とを備えた座標測定用補助具６０を用いる。前記筒状体の少なくとも一部を透明とすることができる。前記筒状体のプローブ先端に対する位置を調整可能とすることができる。 （もっと読む）

【課題】触針や接触子を破壊したり被測定物の測定対象部に傷をつけたりすることなく清浄な測定対象部を確保でき、測定の信頼性を向上させることができる測定機を提供する。
【解決手段】プローブ６と被測定物とを相対変位させながら被測定物の測定対象部Ｗにプローブ６を接触させ、そのときの相対変位量から被測定物の寸法等を測定する測定機であって、エアを供給または吸引するエア制御手段９を備え、プローブ６は、被測定物の測定対象部と当接される接触子６１が先端に設けられた触針６２と、エア制御手段９に接続され接触子６１近傍にエアを噴出または接触子６１近傍からエアを吸引する洗浄手段６４と、を備え、洗浄手段６４は、触針６２と略同じ方向にエアを噴出または吸引することを特徴とする測定機。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシンを構成するマイクロパーツやマイクロレンズアレイのような微細形状測定に適し、高い分解能を実現することができる接触式変位センサのスタイラス及びその製造装置並びに接触式変位センサを提供する。
【解決手段】スタイラス軸１の先端にボール２を取り付けた接触式変位センサのスタイラスであって、スタイラス軸１の先端部１ａが先端に向かって細くなる錐状であって、ボール２がガラス、カーボン、セラミックあるいは金属から成り、直径１００μmないし０．０２μmである。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】タービンバケットシュラウドの検査ツールは、タービンバケットのダブテール部をクランプするクランプ装置と、タービンバケットシュラウドの所定の形状に適合するように形作られた縁で画成される開口が設けられたテンプレート板であって、タービンバケットシュラウド上の位置までクランプ装置に向かう方向に移動可能でその位置において上記開口がタービンバケットのダブテール部に対してタービンバケットシュラウドの設計仕様位置を表すテンプレート板とを含む。タービンバケットシュラウドの縁部とテンプレート開口の縁との間の隙間を測定する測定ゲージが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 接触子に作用する物理量を適切に把握するための触覚センサを提供する。
【解決手段】変位可能な接触子と、この接触子を表面に設け、接触子の変位を検出ポイントで検出して出力する感圧素子とを備える触覚センサであって、
前記接触子は、上面を膨出させた膨出部を有し、前記接触子を変位させる物理量の作用する作用領域が前記膨出部上になるように、前記接触子を形成するとともに前記感圧素子の表面に三つ以上設け、
前記感圧素子に設けられた検出ポイントは、前記接触子一つにつき三つ以上設けることを特徴とする （もっと読む）

【課題】非球面レンズなどの測定物の形状等をより高精度に測定でき、壊れにくく長寿命、低コストの三次元測定プローブを実現する。
【解決手段】小エアー軸受け部７Ａに取り付けられた磁石２９とヨーク８と小摺動軸部６に取り付けられた磁性体ピン２０とが磁気回路を形成することにより、小摺動軸部６の回転と軸方向の変位を妨げる磁力を発生させる。非接触の磁力なので下からでも横からでも測定できる三次元測定プローブとなる。 （もっと読む）

本発明の１つの態様は、第１の端と、第２の端と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアームを含む座標測定機器を含み、各アームセグメントは、少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。アームの第２の端には、測定プローブアセンブリが結合される。測定プローブアセンブリは、アームの第２の端と測定プローブアセンブリのボディとの間に第１の回転軸を提供する第１の継ぎ手を含む。エンコーダは、エンコーダケースおよびエンコーダシャフトを含む。エンコーダケースは、ボディに剛結合されるエンコーダシャフトに対して第２の軸を中心に回転するように構成される。エンコーダシャフトにプローブが剛結合される。第２の軸を中心にプローブに対して回転するように、測定機器がエンコーダケースに結合される。
（もっと読む）

【課題】 カムの姿勢の傾きやカムの芯ズレを抑制して、三次元カムの形状を精度よく測定できる手段を提供する。
【解決手段】 三次元カムの測定方法は、以下のステップを備える。第１ステップでは、治具上に載置された三次元カムについて、所定の基準位置での形状が予備測定される。第２ステップでは、予備測定の結果に基づいて、三次元カムの姿勢が誤差範囲内に収まるか否かが判定される。第３ステップでは、三次元カムの姿勢が誤差範囲内に収まらない場合に、三次元カムと治具との位置関係を維持しつつ、予備測定の結果に基づいて治具の水平方向の位置および治具の傾きの少なくとも一方が調整され、第１ステップおよび第２ステップが繰り返される。第４ステップでは、三次元カムの姿勢が誤差範囲内に収まる場合に、三次元カムのカム面の形状が測定される。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にプローブ球を接触させて一定力で押しながら測定を行う形状測定装置において、プローブの倒れや曲がりによる誤差を補償する。
【解決手段】プローブ球１をワークＷに接触させて測定する形状測定装置において、プローブ２の倒れや曲がりによるプローブ球１の変位を３次元的に測定する２組のプローブ球位置測定ユニット１０を設ける。プローブ２、ハウジング８、板バネ６、支柱４等を含むプローブユニットの３次元位置を干渉計１８ａ〜１８ｃ等から求めて、その位置情報と、プローブ球位置測定ユニット１０から得られた位置情報とから、ワークＷの表面形状を表わす測定データを算出する。 （もっと読む）

【課題】物体に形成された測定対象物の形状を低測定力で高感度かつ高精度で測定が可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】基部側に発光器１１及び受光器１２が設けられ、先端に光を反射する光反射部１３が設けられて自由状態で垂直配置された先側領域１４を有し、先側領域１４の一部の曲げ歪みによって通過光に光量変化を発生させる撓み検知部１５が形成された光ファイバ１６と、光ファイバ１６の先端部に固着配置された探触子１７と、光ファイバ１６の下方に配置され測定対象物１８が形成された物体１９を載せるＸＹテーブル２０と、ＸＹテーブル２０を相対的に上下するＺ方向昇降手段２１とを有し、探触子１７に測定対象物１８を側方から当接させて受光器１２での光量変化を検知し、探触子１７に測定対象物１８が当接した際の探触子１７の位置から測定対象物１８の二次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】剥離や磨耗によるボールねじ装置のナットとねじ軸との相対変位量を正確に検出する手段を提供する。
【解決手段】外周面３ａに螺旋状の軸軌道溝４を形成したねじ軸３と、内周面に軸軌道溝４に対向するナット軌道溝６を形成したナット５と、軸軌道溝４とナット軌道溝６とを螺合させる複数のボール２とを備えたボールねじ装置１において、ナット５に、軸軌道溝４にクリアランスＣを介して対向する接触子１３を有する接触センサ１１を設け、もの接触センサ１１により、接触子１３の軸軌道溝４への接触を検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブユニットの小型化、簡素化を図ることができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】ルビー球（先端部）２を有するプローブ軸部３と、被測定物Ｏの測定面ＯＳとプローブ軸部３のルビー球２との接触点の空間位置座標を検出する変位計（検出部）５とが設けられたプローブユニット６を備えた形状測定機であって、被測定物Ｏの測定面ＯＳにルビー球２を押付けたときにプローブ軸部３に作用される力、及び、このときに測定された空間位置座標とをパラメータとして記憶する記憶部７と、パラメータに基づいて、測定時におけるプローブ軸部３の傾きに起因する被測定物Ｏの真の空間位置座標からの誤差を補正する補正値を算出する演算部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 レンズ取り付け部材に取り付けられたレンズの傾斜の程度、すなわちレンズの傾斜の振れがどの程度であるかを的確に計測する。
【解決手段】 レンズ取り付け部材１１の取り付け面１１ａにレンズ１０の第１面１０ａを取り付けて、レンズがどの程度ずれて取り付け面１１ａに取り付けられているかを測定してレンズの芯取りをするレンズ芯取り装置において、支点２３ａを中心として回動可能な回動部材２３と、回動部材２３の一部に固定されていて、レンズの第２面１０ｂに接触する第１接触子２２と、回転部材２３の接触面２３ｂに接触する第２接触子２４ａとを設ける。第２接触子の直線的な動きにより、回動部材を支点を中心として回動させ、第１接触子を第２面に接触させ、レンズの芯取りを行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は倣いプローブによるポイント測定が高精度に行えるワーク測定装置を提供することにある。
【解決手段】ワーク測定面２０に対し倣いプローブ１２を予め設定されたアプローチ方向から接触させた際に倣いプローブ１２からの変位量及び座標値検出手段１６からの座標値を収集させる測定制御手段２４と、該変位量に基づきワーク測定面２０の法線方向を算出する法線算出手段２６と、該法線方向と該アプローチ方向との角度差が閾値よりも大の場合は該アプローチ方向が不適切と判断する判定手段２８と、不適切と判断された場合は該角度差に基づき倣いプローブ１２のワーク測定面２０へのアプローチ方向がワーク測定面２０の法線方向となるように該アプローチ方向の設定を修正し、該測定、該法線算出及び該判定の再実行を指示する指示手段３０とを備えたことを特徴とするワーク測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

【課題】１個のワークの内径部や外径部に測定面が複数あり、各測定面について端面に対する角度の良否検査が要求されたときに、その検査を所要時間を短縮して効率的に行えるようにすることを課題としている。
【解決手段】ワークＷを、端面ｆを受けて水平な基準面３ａ上に位置決めしてセットする治具２と、変位測定用ゲージ６を昇降機構７で垂直方向に移動させ、測定面Ａに接触させたゲージの接触子６ａのこのときの径方向振れ量を電気信号に変換して出力する測定機８と、この測定機から検出信号を受けて測定面Ａの端面ｆに対する直角度などの良否判定を行うパーソナルコンピュータとを組み合わせ、前記ゲージ６を複数設けて各ゲージによる複数の測定面の良否検査を同時に行うようにした。 （もっと読む）

【課題】真円度測定装置を良好に較正できる較正治具を提供する。
【解決手段】外周面に、周方向の全周で２周期、５０周期および５００周期の異なる３つの周期で、２周期の振幅が１．５μｍ、５０周期の振幅が０．２μｍ、５００周期の振幅が０．１μｍとなる起伏を有する３つのトラック２１を設けて較正治具２０を形成する。較正治具２０のトラック２１の起伏に対応した振幅スペクトルの較正データを取得する。較正対象の真円度測定装置１で較正治具２０のトラック２１の起伏を測定した測定データの振幅スペクトルと、較正データとを比較し、差分誤差を是正する調整により較正する。 （もっと読む）

【課題】例えば円錐面を含む穴の深さ位置を計測する寸法計測装置において、被測定穴の軸線と計測装置側の接触ステムの軸線の整列を確実に実施すること。
【解決手段】寸法計測装置は、スピンドル５１を具備する直線寸法測定器５０と、被測定物１０に接する球状の先端部６４を有する接触ステム６０と、接触ステム６０を支持するステム保持装置７０と、直線寸法測定器５０とステム保持装置７０とを往復移動させる駆動部９０と、を具備し、ステム保持装置７０は、接触ステム６０を測定軸線Ａｘ方向に移動可能に支持する軸受部材７１と、接触ステム６０と軸受部材７１とを互いに反対方向に付勢する付勢手段７５と、軸受部材７１の一端面７２ａに平行に対向するスラスト支持平面７８ａを有するスラスト支持部材７６と、スラスト支持平面７８ａと軸受部材の一端面７２ａとの間に配設された複数の球体８０と、を具備する。 （もっと読む）