工作機械のプローブ（１０）は、プローブの動きに応じて電池による電力を供給する接続のためのスイッチ（３２）又は他のセンサを有する。好ましい実施形態では、スイッチが工作機械のスピンドルにおけるプローブの回転に反応する。スイッチ（３２）は、リニア加速に反応するが、回転にも同様に反応するプローブに取り付けられる。回路は回転とリニアの動きを識別するために設けられる。
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【課題】 接触部の脱落事故がなく信頼性が向上するプローブを提供すること。
【解決手段】 軸部２と、軸部２の先端部分に設けられた接触部３と、を備える。軸部２は、その先端部分が接触部３に埋設されている。かつ、先端部分には軸部２の軸方向に対して交差する方向へ張り出したフランジ部２２を備える。フランジ部２２は、先端方向に行くに従って拡径する形状である。 （もっと読む）

【課題】反転法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の真直精度補正方法を提供する。
【解決手段】直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、測定機１の直動機構（４，５）を使って検出器７を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークＭＷを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １）高精度な形状測定機で容易に、トレーサブルな値付け測定をすることができ、２）歯車歯面形状測定機の検査・校正を短時間で容易に、正確に、かつトレーサブルに行うことができ、３）歯車歯面の精度規格とも整合して検査・校正結果を得ることができる、歯車歯面形状測定機の検査・校正アーティファクトを提供する。
【解決手段】 検査・校正アーティファクト１０は、略円筒形状あるいは略円錐体形状の本体部１４と、本体部１４の両端から本体部１４と同軸に延在する軸１２と、本体部１４の外周面１４ｘに９０°又は１２０°ごとに、あるいはそれより既知のある微小角度ずらした位置に形成され、径方向外側に突出する４つ又は３つの測定対象となる歯１６ａ〜１６ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 触針の軌跡が、固定および固定解除の動作の際においてでさえも、完全に制御される測定ヘッドとを提供する。
【解決手段】支持要素（３０）と、該支持要素（３０）に接続され、支持要素（３０）に対して第一軸（Ｂ）を中心に回転可能な第一可動要素（４０）と、固定状態および固定解除状態にするためのアクチュエータとを有し、該アクチュエータが、固定解除状態にあるときに、第一可動要素（４０）を支持要素（３０）から離隔させ、第一軸（Ｂ）を中心に回転可能にするために第一可動要素（４０）に固定解除力をかけるように構成され、固定状態にあるときに、支持要素（３０）に対して第一可動要素（４０）を再び締め付け、第一軸（Ｂ）の周囲の回転を防止するように第一可動要素（４０）に固定力をかけるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】機械の較正を行うために用いられる装置もしくは機械自身として用いられる装置について記述される。
【解決手段】装置は、２つの構造体を具え、その各々は、その上に三角形状に間隔を置いて配置された３つの支持部を有する。支持部は、ボールもしくはソケットとすることができる。構造体は６つの部材によって相互に接続され、各々の支持部には２つの部材の端部が接続される。較正デバイスとして用いる場合には、部材を伸縮駆動される測定バーとし、構造体をそれぞれ機械の固定部および可動部に接続すれば、機械の部分の変位が構造体間の相対変位を生じさせ、測定バーの長さを変化させる。機械として用いる場合には、部材を構造体の一方によって動力が供給される支柱とする。その構造体は、ワークピースに対し工具またはプローブを相対的に位置づけるべく工具またはプローブを保持して他方の構造体に対し相対的に操作されるものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を用いた被測定物の３次元形状を測定するための３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定用治具１００に平行平面１４０を保持し、その表面１４１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１４２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。また、測定用治具１００に基準球１５０を保持し、その表面１５１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１５２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。この測定結果から、円錐面１１１、１１２の位置関係に対応する補正値を算出する。さらに、測定用治具１００に非球面レンズ１２０を保持し、その表面１２１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１２２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。そして、上記補正値を用いて表面１２１と裏面１２２との相対的な位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】 等速ジョイントの外輪のマウス部内面に形成された研削加工で形成されるトラック溝の形状を確認するのに、相対向するトラック溝へ測定子を当接させて、そのときの測定子間の距離を測ったり、全トラック溝に対向した基準ボールを案内面でトラック溝側へ移動させ、この時の案内面の位置からトラック溝の径を計算して研削の状況を確認していた。しかし、直接トラック溝の径を測定していないのでトルク伝達ボールの挙動を把握できなかった。
【解決手段】 基準ボールの中心からトラック溝４の谷４ｃへ摺動移動できる測定杆９と、この測定杆９の移動を平行に測定してトラック軸４の谷４ｃと基準ボール２４との距離を計測する計測器１０とを設けて、この測定杆９と計測器１０を相対的に移動可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接触式のプローブの接触荷重の変動を低減し、高速かつ高精度な３次元計測を可能にする。
【解決手段】図示しないワークに接触させるプローブ１は、板バネ２ａ、２ｂを介してステージ７に支持され、リニアモータ（１０、１１）によって上下動する。まず、位置設定器１７の指令値に従ってステージ７を移動させ、プローブ１をワークに接触させた後は、板バネ２ａ、２ｂの変位によってプローブ１の接触荷重を検出する変位センサ５と荷重設定器１８を含むプローブ荷重制御系に切換えて接触荷重を制御しながらプローブ１を走査する。走査開始直後には接触荷重に誤差が発生するため、予め設計値を用いた演算あるいはダミー走査によって求めた荷重補正信号を荷重補正器２２に蓄えておき、必要に応じてプローブ荷重制御系の出力に加える。 （もっと読む）

【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】 外輪１が変形しない様に、３個の玉７ａ、７ｂを外輪軌道２に軽く当接させた状態で、これら各玉７ａ、７ｂを外輪軌道２の最深部に移動させる事により、この外輪軌道２の最深部の内径を正確に測定可能とする。
【解決手段】 上記各玉７ａ、７ｂを上記外輪軌道２に押し付けた状態で、ピエゾ素子１２により振動を加える。この結果上記各玉７ａ、７ｂが、力学的に安定した、上記外輪軌道２の最深部に移動する。この状態で、測定器６ａの測定値に基づいて、上記各玉７ａ、７ｂの中心を結ぶ三角形の外接円の直径を求める。そして、この直径と、これら各玉７ａ、７ｂの外径とから、上記外輪軌道２の最深部の内径を求める。 （もっと読む）

【課題】 基準球を用いなくても、または基準球を用いた場合でも、その面精度に影響されないプローブ先端球の真球度補正処理を実現し、より高精度かつ容易にワークの形状を測定することができる形状測定機および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 前記プローブＰ₁，Ｐ₂を交換可能に支持するプローブ支持手段８ａと、前記ワークを交換可能に支持するワーク支持手段と、前記プローブ支持手段８ａに第１のプローブＰ₁を装着した状態で前記ワークの表面形状を測定して得られる第１の測定結果と、前記プローブ支持手段８ａに第２のプローブＰ₂を装着した状態で前記ワークの表面を測定して得られる第２の測定結果と、前記第１のプローブＰ₁に前記第２のプローブＰ₂を接触させて、前記第１のプローブＰ₁の表面形状を測定して得られる第３の測定結果とにより、前記ワークの表面形状を演算する演算手段２６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

測定用プローブが取り付けられる機械を用いて人工物を計測する方法。この方法は、以下のステップ、人工物の表面上の１つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、この近似的な位置を用いてプローブおよび人工物のうちの少なくとも一方をそのプローブおよび人工物における所望の１つ以上の相対位置に移動させるステップと、該位置において人工物の表面上の地点の１つ以上の表面計測値を取得するステップであって、１つ以上の表面計測値が取得される間、そのプローブと人工物との間の相対移動がないステップと、その計測値からのデータを用いて、動誤差が実質的に低減されるその表面上の１つ以上の地点の位置を決定するステップと、を有する。
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測定されるべき物体（１５）に接触するためのセンス部材（１８）を備えたスタイラス（１４）と、前記スタイラス（１４）が弾性手段（１９）を通じて接続された支持ユニット（１３）と、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラス（１４）の振動を減衰させるための磁石手段（４６）とを有するプローブを持つ座標測定装置。前記弾性手段（１９）は、導電材料でできた少なくとも１つの板ばね（４１）を有し、前記磁石手段（４６）は、前記板ばね（４１）中に渦電流を発生させる。
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【課題】 探触子自体が嵩張ることないので、測定機械の移動距離の終点に近いところの座標、または複雑な形状の部品における座標の測定を、容易に行うことが可能な手段を提供する。
【解決手段】 固定部品（３）と、固定部品（３）に接続され、固定部品（３）に対して第１軸（Ｂ）の周りを回転することができる第１可動部品（４）と、第１可動部品（４）に接続され、第１可動部品（４）に対して第２軸（Ａ）の周りを回転することができる第２可動部品（５）と、第２可動部品（５）と一体化した、細長い形状の探触体（６）とを含んでおり、探触体（６）が、固定部品（３）に対して平行移動することができるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）