【課題】電極の位置あわせが容易、かつ小型で検出感度が高く、安価に構成可能な静電容量式の接触式一軸変位センサを提供する。
【解決手段】本体１０と、スタイラス１２と、スタイラス支持手段１１と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備えた接触式一軸変位センサ１であって、スタイラス支持手段１１は、支持部材１１１および保持部材１１２を有し、支持部材１１１は、板状の弾性材料から形成され、外周部１１１Ａを保持部材１１２に固定されるとともに中心部１１１Ｂにスタイラス１２を支持し、検出手段１３は、支持部材１１１に設けられた可動電極１３１と、保持部材１１２の基部１１２Ｂに設けられた固定電極１３２と、を有し、可動電極１３１と固定電極１３２の間の静電容量の変化によりスタイラス１２の変位を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接触子の形状が理想的な球ではない場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置、その形状測定方法並びに形状測定プログラムを提供する。
【解決手段】擬似測定点を取得する擬似測定点取得部２１２と、各擬似測定点から被測定物表面へと向かう大凡の方向にガイドラインを生成するガイドライン生成部２１３と、接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を擬似測定点に一致させると共に測定時の接触子と接触子モデルとの姿勢を一致させて接触子モデルを配置する接触子モデル配置部２１４と、各ガイドラインと各配置された接触子モデルの表面とが交わる交点を取得する交点取得部２１５と、各ガイドライン上における交点の中から擬似測定点から最も離れた交点を測定点として取得する測定点取得部２１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ワークに関して複数項目を測定する際の高効率化及び高精度化を実現することにある。
【解決手段】接触式検出器１６の本体１８に設けられ、軸方向を中心に回転角度を変更自在に保持される一の支持軸部２２と、該支持軸部２２の側部より突出し、該支持軸部２２より突出する方向が異なる複数の測定用軸部２４，２６と、該各測定用軸部２４，２６の先端に設けられ、該各測定用軸部２４，２６毎に先端形状ないし先端寸法が異なる複数の接触部２８，３０と、を備え、該支持軸部２２の軸方向を中心に該支持軸部２２の回転角度が調整されることにより、該複数の接触部２８，３０の中から測定目的に応じた一の接触部２８（３０）が選択され、該選択された接触部２８（３０）のみが該ワーク２１に接触され、該ワーク２１の形状データの取得に用いられることを特徴とするスタイラス２０。 （もっと読む）

【課題】穴壁表面の凹凸を定量的に計測して、既設コンクリート構造物の補強の確実性を向上させることが可能な凹凸計測装置および凹凸計測方法を提供することを目的とする。
【解決手段】架台３と、この架台３のガイド孔３ａ内にスライド自在に挿入されて鉛直移動するスライド軸部４と、既設コンクリート構造物１の挿入穴１ａの穴壁１ｂ表面の凹凸形状を計測する凹凸計測手段とを備えた凹凸計測装置２。凹凸計測手段は、穴壁１ｂ表面に接触する接触子５ａと、この接触子５ａの水平方向の移動変位を計測する第１変位計５とを有する第１計測手段と、スライド軸部４の鉛直方向の移動変位を計測する第２変位計６からなる第２計測手段とを備えている。これにより、接触子を穴壁表面に接触させながら、スライド軸部を鉛直移動させることによって、挿入穴の深さ方向に沿って、穴壁表面の凹凸形状を定量的に計測できる。 （もっと読む）

本方法は、１つのプローブ（６）と、１つの校正体と、前記プローブ（６）によって記録された測定値（ｘ_ｉ，ｙ_ｉ，ｚ_ｉ）を記録し、かつ、座標測定機の諸要素の事前に確定された変形パラメータに依存して補正するための１つの装置（１０，３０）と、を有する座標測定機の測定値を補正するのに役立つ。本方法は、ａ）前記校正体の表面（２６）の所定点（２８）で機械的可撓性を確定するステップ、ｂ）確定された前記可撓性をデータセット（Ｎ）の態様で前記装置に記憶するステップ、ｃ）前記校正体を前記プローブ（６）によって点状に走査するステップ、ｄ）ステップｃ）で確定された前記プローブ（６）の測定値を前記データセット（Ｎ）で補正することによって前記プローブ（６）を校正するステップを含む。本方法は既知の可撓性を有するワークでも同様に利用することができる。さらに、本方法を実施するのに適した座標測定機が提案される。 （もっと読む）

【課題】長尺の基準定規や大型の平面基準を分割して、必要な長さを構成し、個々の分割部を被測定面の姿勢表示物体として使用することで、基準の変形を少なくし、センサとその対象面の組み合わせを最適化することのできる技術を提供する。
【解決手段】姿勢表示物体ＯＢＪは、同一の面に設置した時の表示傾斜角度および表示高さの違いが校正されているため、それらを被測定面ＰＬ上に配置すると、姿勢表示物体ＯＢＪが置かれた被測定面ＰＬの極所的な傾斜と高さが読み取れる。そのとき、表示物体表面ＯＢＪに付与されるセンサ用のターゲットＴＧは使用するセンサＡ，Ｂに最適な表面性状を持たせることが出来る。 （もっと読む）

【課題】有機汚染については有機物の分解により表面のセルフクリーニングで洗浄を省くと共に、親水性の制御により洗浄を必要とする場合でも容易に汚れを除去可能とする。
【解決手段】測定子１２４を被測定物１０２に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機１００において、前記測定子１２４の先端表面に、光触媒膜１２４ｂを有する。前記形状測定機１００は、前記光触媒膜１２４ｂを活性化させる光源を備えることができる。前記光触媒膜１２４ｂは、金属酸化物を有することができる。前記光触媒膜１２４ｂは、少なくとも炭素又は窒素のいずれかを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に倣い測定できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】倣いベクトル指令部２２０から発せられた倣いベクトル指令に基づいて駆動機構の動作状態を推定して推定動作状態量を算出する動作推定部３００と、動作推定部３００にて算出された推定動作状態量に応じて駆動センサの検出値を補正演算する補正演算部４００と、を備える。
動作推定部３００は、倣いベクトル指令が発せられてから倣いプローブの移動位置に反映されるまでの信号伝達特性であるノミナルモデルが設定されたノミナルモデル設定部３１１を有し、補正演算部４００は駆動中の駆動機構が変形することによって生じる測定誤差を補正する補正量を推定動作状態量に基づいて算出する補正量算出部４２０と、駆動センサおよび検出センサによる検出値と補正量算出部４２０にて算出された補正量とを合成して測定データとする測定データ合成部４３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定アームのパラメータの校正作業に要する手間や時間を削減することのできる多関節型座標測定装置のパラメータ校正方法を提供する。
【解決手段】 まず、二つの小球２２を有する標準器２０Ａを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をそれらの小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の各々の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて一次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。つぎに、一つの小球２２を有する標準器２０Ｃを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をその小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて二次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。 （もっと読む）

電動の関節式走査ヘッド（１６）における角度測定スケールを、基準加工品（４０；６０；８０）を用いて較正する方法が記載される。この方法は、走査ヘッド（１６）に取り付けられた走査プローブ（２８）などの表面検出デバイスを走査ヘッド（１６）の少なくとも１軸（Ａ１，Ａ２）のまわりに回転させ、基準加工品（４０；６０；８０）に対し異なる複数の角度方向に表面検出デバイスを移動させる工程を含む。次に、その異なる角度方向のそれぞれで、表面検出デバイスにより、基準加工品（４０；６０；８０）の少なくとも１つの特性を測定する工程が実行される。そして、測定された基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用い、また付加的に既知または較正済みの基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用いて、走査ヘッドの少なくとも１つの測定スケールに対する誤差マップまたは関数を生成する。この方法は、走査ヘッド（１６）を移動させるために、座標測定機械（１４）などの座標位置決め機械の使用を含むことができる。基準加工品（４０；６０；８０）は、単一の特徴部または配列された複数の特徴部（４６；６６）を含むことができる。
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【課題】触針プローブと被測定物表面との摩擦抵抗による測定誤差が発生しにくい形状測定装置を提供する。
【解決手段】触針プローブ２を被測定物Ｓに接触させ、相対的に走査させて被測定物Ｓの形状を測定する形状測定装置１は、触針プローブ２の表面に設けられ、触針プローブ２と被測定物Ｓとの間の摩擦抵抗を軽減する抵抗減少部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内スプラインの歯溝の測定の効率化及び精度の確保が可能な内スプラインの歯溝測定装置を提供する。
【解決手段】センタユニット２の上下一対のセンタ５，６によって軸部品４を支持することで軸部品４を高い精度で心出しする。この状態で、軸部品４を軸心回りに回転させながら測定子２０を内スプライン７の各歯溝に順次当接させて、各歯溝における測定子２０の基準位置に対する変位を変換手段によってスピンドル２３の軸部品軸方向への変位に変換して、該計測結果に基き、軸部品４の内スプライン７の歯溝の振れを測定するので、歯溝の振れの測定を効率化することができると共に、測定精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】摩擦力に起因するプローブの先端の摩耗の問題を解消する。
【解決手段】座標測定機の支持体３を所定の軌道３６に沿って動かし、この支持体３に対して走査プローブ２を動かし、さらにコントローラでそれらの動きを調整することで、走査プローブ２の先端部２５の走査経路３７に沿った動きを一定の走査速度に維持し、走査プローブ２の先端部２５にかかる偏向力を小さくし、加速段階における大きな摩擦力に起因する過熱を抑える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面から受けた抗力の方向に変位しないタイプの測定プローブを用いた場合でも、目標点の３次元座標の正確な測定を可能にする。
【解決手段】測定ヘッド２９に対して３次元変位可能に測定球３３を支持しており３次元座標系における測定ヘッド２９に対する測定球３３の変位量を検出可能になっている測定プローブ１５を用い、測定プローブ１５を目標点に向けてアプローチさせ、測定球３３を測定ヘッド２９に対して変位させた後、このときの測定球３３の変位の方向から測定プローブ１５を被測定物１３に再度アプローチさせることを繰り返す。そして、アプローチの方向と測定ヘッド２９に対する測定球３３の変位の方向とが概略一致したときの測定球３３の変位量と測定ヘッド２９の３次元座標位置とに基づいて接触点における被測定物１３の３次元座標を求める。 （もっと読む）

【課題】測定プローブを移動させる移動装置の基準点に対する測定プローブの測定球の位置ずれの影響を低減させ、正確な３次元座標の測定を可能にする。
【解決手段】基準球１８上に設定された各格子点に対して、理論法線方向から測定プローブ１５をアプローチさせて測定プローブ１５の変位方向及び変位量を検出し、検出された変位方向と理論法線方向との差並びに検出された変位量と理論変位量との差を求め、これを各格子点における理論法線方向と関連付けて検出誤差データテーブルを作成する。測定プローブ１５を被測定物１３の基準形状に沿って移動させながら測定プローブ１５の変位量及び変位方向を検出し、測定プローブ１５と被測定物１３の表面との摩擦が変位量に与える影響を補正するための摩擦補正量と検出誤差データテーブルとにより補正した変位量及び変位方向に基づいて、接触点の３次元座標を求める。 （もっと読む）

【課題】精度良く雌ねじの有効径を測定することのできる有効径測定装置を提供する。
【解決手段】この装置は、雌ねじの内部に挿入されて同雌ねじの歯溝に各別に係合する二つの係合部２６，２７を備える。二つの係合部２６，２７は、互いの間隔を変更可能に設けられており、コイルスプリング２５の付勢力によって互いに離間する方向に付勢されている。二つの係合部２６，２７の間隔を検出するための距離センサ３１と、二つの係合部２６，２７を繋ぐ仮想線と雌ねじの中心軸に直交する方向に延びる仮想面とのなす角度を検出するための距離センサ３２とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】外輪と複数の円筒ころと保持器とを有した転がり軸受用サブアッセンブリ１０において、円筒ころの径方向内方への移動量を簡単で正確に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】上下揺動自在である揺動部材１の一端部１７ａに、サブアッセンブリ１０の頂部にある円筒ころの下面に下から当接させる接触子２が設けられている。揺動部材１の他端部１７ｂに、揺動部材１の揺動量を計測するダイヤルゲージ８が設けられている。接触子２が前記円筒ころを上へ押す一方向に、弾性部材７によって揺動部材１が付勢されている。この弾性部材７の付勢力を含む揺動部材１を一方向に揺動させようとする力は、前記円筒ころが自重によって揺動部材１を他方向に揺動させる力よりも、小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】エラーがなく、正確に測定でき、高速走査に耐えられる座標測定システムを提供する。
【解決手段】 回転軸（６５）を中心にロータ（１００）が回転することで、接触プローブ（１５）の半径アーム（１４９）先端に針（１２３）を介して取り付けた接触ボール（１２０）が移動する座標測定システムについて、回転軸（６５）のスライド移動とロータ（１００）の回転の組み合わせから生じる経路に沿って、測定対象部品の測定地点の座標を接触ボール（１２０）の接触で測定するに際し、測定対象地点の接触ボール（１２０）の位置が、ロータ（１００）の回転軸（６５）に対して距離（ｒ）だけオフセットしている。 （もっと読む）

【課題】中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を簡便な方法で短時間に全数を検査することができ、なお且つ、基板に傷を付けにくい検査方法及びその検査装置を提供する。
【解決手段】円盤状基板１１を複数枚並べて配置し、互いの主面１１ｃを平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、並び方向の一端の円盤状基板１１の開口部１１ａから他端の円盤状基板１１の開口部１１ａに向けて真球４１の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板１１を取り除きながら、複数枚の円盤状基板１１の開口径を順次検査する。 （もっと読む）

【課題】外輪と複数の円筒ころと保持器とを有する転がり軸受用サブアッセンブリ１０において、円筒ころの径方向内方への移動量を簡単で正確に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】上下揺動自在である揺動部材１の一端部１７ａに、サブアッセンブリ１０の頂部にある円筒ころに下から当接させる接触子２が設けられている。この接触子２は磁石２１を有している。揺動部材１の他端部１７ｂに、揺動部材１の揺動量を計測するダイヤルゲージ８が設けられている。磁石２１によって接触子２が円筒ころに付いた状態で、その円筒ころが軌道面に接触した状態から接触子２を押し下げることによって揺動した揺動部材１の揺動量を、ダイヤルゲージ８が計測する。 （もっと読む）