【課題】検出コイルを金属製の外殻で覆っても、渦電流損失を小さく抑え、必要十分な位置検出感度を得ることができる変位センサを提供する。
【解決手段】二つのコイルに矩形波電圧を印加して、各々のコイルに流れる電流を独立して検出してから差動回路等で差を演算するのではなく、直接電流の差の値を検出することにより、Ｓ／Ｎ比が良好であり高感度な変位センサを実現できる。また、各々のコイルは同じ磁気特性と電気特性を備えるため、温度変化でこれらの特性が変化したとしても夫々同じように変化するので、温度変化に起因するばらつきが生じ難い。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被覆の表面に凹凸を有する被覆金属線８であっても、変位センサ１７及び被覆２６の双方に衝撃、又は損傷を加えることなく、変位センサ１７を被覆金属線８に近接させて被覆厚の測定を精度よく行うことが可能となる被覆厚測定装置を提供すること。
【解決手段】一方向に移送される被覆金属線８の被覆２６に接触して配置され、この被覆２６を介して芯線２５までの距離を測定する変位センサ１７を有するセンサ部９と、このセンサ部９に対して被覆金属線８の移送方向の上流側に配置され、前記センサ部９が測定する前記被覆２６の部位において、被覆表面から所定値以上の高さを有する凸部又は所定値以上の深さを有する凹部を検出する検出部１０とを備えている。
更に、センサ部９を保持する駆動手段１１は、検出部１０が上記凸部又は凹部を検出したときにセンサ部９を被覆２６より遠ざけることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減少し、且つ薄型化を実現し、以って位置検出能力を向上させた、表示機能付位置検出装置、及びそのための位置検出センサを提供する。
【解決手段】反射板の光反射機能を、位置検出装置のセンサ基板表面に設けた。具体的には、白色レジストの塗布、予め白色顔料が練り込まれた白色のＰＥＴフィルムの貼り付け、微細発砲処理が施された白色のＰＥＴフィルムの貼り付け、或は加熱成形時に結晶化による白色化がなされた白色のＰＥＴフィルムの貼り付け等といった方法を用いる。こうすることで従来の反射板は不要になり、材料調達のコストが低減し、組み立て工程の歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上を図ることができるセンサ素子の提供。
【解決手段】センサ素子１は、互いに逆向きに形成された第１の櫛歯電極１３２，１３３および第２の櫛歯電極１３４，１３５を有し、ベース部１４に弾性的に支持されるとともに櫛歯の凹凸方向に振動する振動部１３と、第１の櫛歯電極１３２，１３３と噛合する第３の櫛歯電極１１２，１１３を有し、ベース部１４に固定された固定部１１と、第２の櫛歯電極１３４，１３５と噛合する第４の櫛歯電極１２２，１２３を有し、ベース部１４に弾性的に支持されて外力の作用により櫛歯の凹凸方向に変位する可動部１２とを備える。 （もっと読む）

本発明は、テストサンプルの表面のあるエリアの電気的特性を決定するためのプローブに関するもので、プローブは、テストサンプルに対して所定の向きになるようにしている。プローブは、第１表面を規定する支持本体を備えてもよい。複数のカンチレバーアーム（１２）が、第１表面と同一平面の関係で支持本体から延びてもよい。複数のカンチレバーアーム（１２）は、互いにほぼ平行に延びてもよく、各カンチレバーアーム（１２）は、テストサンプルの表面に対して所定の向きのプローブ運動によって、テストサンプルの該エリアと接触するための導電性チップを含んでもよい。プローブは、運動を行う際、複数のカンチレバーアーム（１２）の何れか１つがテストサンプルの表面と接触する前に、テストサンプルの表面と接触するように配置された、支持本体から延びる接触検出器（１４）をさらに備えてもよい。
（もっと読む）

【課題】プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際の耐久性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部でシート材７を走査し、シート材表面の凹凸及び摩擦係数に応じた振動及び衝撃による歪を誘起することにより圧電素子１５ｂが電気信号を発生し、電気信号の強度差を基にシート材表面の表面性を識別するＳ字型表面性検知センサ１５であって、Ｓ字型プローブ１５ａは、先端当接部に板状セラミックチップであるジルコニアチップ１６を有し、ジルコニアチップ１６は、シート材７表面にジルコニアチップ１６の先端部を当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】間隔検出システム（１１０）を提供する。
【解決手段】システム（１１０）は可変距離ｄ（１１６）によって検査対象（１１４）から離間されたプローブ（１１２）を含む。システム（１１０）はまたプローブ（１１２）を介して電流を供給するための交流（ＡＣ）電源（１１８）も含み、ＡＣ電源（１１８）およびプローブ（１１２）はプローブ（１１２）の先端と検査対象（１１４）の間に制御されたプラズマチャネル（１２０）を生成するように構成される。システム（１１０）はさらに、プローブ（１１２）の先端と検査対象（１１４）の間の電圧差に基づき可変距離ｄ（１１６）を決定するように構成された処理ユニット（１２４）を含む。 （もっと読む）

機械部品の長さ寸法をチェックするためのゲージヘッドまたは測定ヘッドは、ケーシング（１）と、フィーラ（７）を支持する可動アーム（４）と、ケーシングに対するアーム変位を可能にするためにケーシングおよびアームに結合される支点（１０）と、ケーシングに結合されるシリンダ（７０）とアームを明確な不作動位置へと付勢するためにシリンダ内でスライドするピストン（７２）とを有する引き込み装置（６８）と、ケーシングに対するアームの位置に応じて信号を供給する位置トランスデューサ（５０）とを含む。引き込み装置は、シリンダ内に収容され且つその端部がシリンダおよびピストンに固定されるベローズガスケット（８８）を含む。
（もっと読む）

【課題】
触針式段差計において探針を交換した後に行う力の較正を自動的に短時間で正確に行う方法及び該自動較正機能を備えた触針式段差計を提供する。
【解決手段】
本発明の方法は、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正する。また本発明の自動較正機能を備えた触針式段差計においては、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正するコンピュータ手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 極めてサイズが小さく、高感度・高性能のセンサを少なくとも一部が弾性変形を生じる微細構造体の所望の位置に所望の形状・サイズで設けられるようにする。また、微細構造体の弾性変形を測定する際の部品の組立・調整の容易化、検出回路の小型化・簡略化を図るとともに、微細構造体の微細箇所の局所的変位を検知できるようにする。
【解決手段】 開示される微細構造体は、梁部１４が弾性変形を生じるカンチレバー１である。このカンチレバー１には、梁部１４の弾性変形をトンネル効果により検出するセンサ１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低いコストで、３つの座標方向における高分解能の測定を可能にする。
【解決手段】ハウジング12内に弾力性をもって吊り下げられた探針18を備えた座標測定機械用のプローブヘッド10。センサー構成26は前記ハウジング12に対する前記探針18の片寄りを検出する。前記センサー構成26は、磁石34と前記磁石に近接して配設されたホール素子36とを有する少なくとも１つのホールセンサーを備えている。前記探針18が片寄ると、前記磁石34が磁石34のＮ極とＳ極とによって規定されるその軸方向において前記ホール素子36に沿ってその側方を通過する。極性の変化するホール電圧が前記ホール素子36で得られる。極性が反転する点付近にあるホール電圧の直線的な範囲が、探針18の片寄りを表す量として処理される。
（もっと読む）

【課題】 可動部を付勢するバネがボビンと干渉することなく、可動部を押し込むことができる接触式変位センサーを提供する。
【解決手段】 検出信号を生成する励磁コイル１２と、励磁コイル１２が装着され、軸方向に中空部が形成されたボビン１３と、中空部内に挿入されるコアが一端に形成され、ボビン１３から軸方向に突出された他端に接触子４が形成された可動部と、可動部と同軸に配置されるとともに全体が常に中空部内に収容され、可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネ１１により構成される。特に、バネ１１は、中空部の直径とバネ１１の外径との差がバネ１１の内径とコア保持管１４の直径との差よりも小さくなるように構成される。また、可動部は、コアを保持し、バネ１１の先端に当接するコアホルダ部１５と、接触子４が設けられるシャフト部１７と、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部１８とからなるように構成される。 （もっと読む）