【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源１からの出発ビーム２を測定ビーム３と第１の参照ビーム４ａとに分割するビームスプリッタ５ａと、光の重ね合わせ手段と、第１の検出器８ａとを備える。重ね合わせ手段と第１の検出器８ａとは互いに連携する。物体７によって反射された測定ビームと第１の参照ビームとが第１の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ５ａは、出発ビーム２を測定ビーム３と、第１の参照ビーム４ａと、少なくとも第２の参照ビーム４ｂとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第２の検出器８ｂが備えられ、物体７によって散乱させられた第１の受信ビーム４ｂ’としての測定ビームと第２の参照ビーム４ｂとが第２の検出器８ｂの検出面で重ね合わされる。 （もっと読む）

【課題】入力信号が時間的に非対称の場合でも計数結果を精度良く補正する。
【解決手段】カウンタ１３は２値化信号のランレングスを数える。計数結果補正部１４は、ランレングスの度数分布を、信号の立ち上がりから立ち下がりまでの第１のランレングスと立ち下がりから立ち上がりまでの第２のランレングスについて作成し、第１のランレングスの代表値Ｔ_Hの０倍以上１倍未満の長さである第１のランレングスの数の総和、第２のランレングスの代表値Ｔ_Lの０倍以上１倍未満の長さである第２のランレングスの数の総和、｛Ｔ_H＋（ｎ−０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝以上｛Ｔ_H＋（ｎ＋０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝未満の長さである第１のランレングスの数の総和、｛Ｔ_L＋（ｎ−０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝以上｛Ｔ_L＋（ｎ＋０．５）×（Ｔ_H＋Ｔ_L）｝未満の長さである第２のランレングスの数の総和を求め計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】入力信号が有効か否かの判定を簡単に実現する。
【解決手段】信号判定装置１０は、入力信号を２値化する２値化部１００と、２値化部１００の出力を入力とし、判定期間中の入力信号のランレングスを測定するランレングス測定部１０１と、ランレングス測定部１０１の測定結果から、判定期間中の入力信号に含まれるノイズの度数分布を幾何分布と仮定した分布を求め、求めた分布とランレングス測定部１０１の測定結果から得られるランレングスの分布とを比較することにより、入力信号が有効か否かを判定する判定手段（確率算出部１０３、ノイズ度数算出部１０４、有効性判定部１０５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の振動振幅を精度良く求める。
【解決手段】振動振幅計測装置は、物体１２にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する期間と発振波長が減少する期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１２からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形を数える計数部７と、計数結果に基づいて物体１２の振動の最大速度を算出する振動最大速度算出部８と、計数結果に基づいて物体１２の振動周波数を算出する振動周波数算出部９と、振動最大速度と振動周波数とから物体１２の振動振幅を算出する振動振幅算出部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ある期間に観測される干渉波形の数を基に物理量を算出するバッチ処理方式と個々の干渉波形の周期を基に物理量を算出する逐次処理方式とを適宜切り替え可能にする。
【解決手段】物理量センサは、物理量の算出をバッチ処理方式で行う第１の演算部９と、物理量の算出を逐次処理方式で行う第２の演算部１０と、信号抽出部８が計測した個々の干渉波形の周期から干渉波形の単位時間当たりの数を算出し、この数の変化の周波数をｆｓｉｇ、半導体レーザ１の発振波長変調の搬送波の周波数をｆｃａｒとしたとき、ｆｓｉｇ＞ｆｃａｒ／Ａ（Ａは１より大きい所定の定数）が成立する場合、第２の演算部１０の算出結果を採用すべきと判定し、ｆｓｉｇ＞ｆｃａｒ／Ａが成立しない場合、第１の演算部９の算出結果を採用すべきと判定する切替部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、少なくとも発振波長が連続的に単調増加する発振期間が繰り返し存在するように半導体レーザ１−１を動作させるレーザドライバ４−１と、レーザ１−１と発振波長の増減が逆になるように半導体レーザ１−２を動作させるレーザドライバ４−２と、レーザ１−１，１−２からのレーザ光とその戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２−１，２−２および電流−電圧変換増幅部５−１，５−２と、電流−電圧変換増幅部５−１，５−２の出力信号に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７−１，７−２と、信号抽出部７−１，７−２の計測結果に基づいて物体１０との距離および物体１０の速度を算出する演算部８とを有する。 （もっと読む）

【課題】少ない計算量で計数誤差を補正する。
【解決手段】振動周波数計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７と、計数装置７の計数結果から物体１０の物理量を求める演算装置８とを有する。計数装置７は、一定の計数期間における干渉波形の周期を測定し、この測定結果から干渉波形の周期の平均値を代表値として算出し、測定した１周期を１つの信号として計数すると共に、測定した周期が代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満の場合は、計数の結果にｎを加算することを、計数期間中の周期の全測定結果について行う。 （もっと読む）

【課題】計数誤差を補正する。
【解決手段】振動周波数計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７と、計数装置７の計数結果から物体１０の物理量を求める演算装置８とを有する。計数装置７は、一定の計数期間における干渉波形の半周期の数を数え、干渉波形の半周期を測定し、この測定結果から計数期間中の干渉波形の半周期の度数分布を作成し、この度数分布から干渉波形の半周期の分布の代表値を算出し、代表値の０．５倍未満である半周期の数の総和Ｎｓと、代表値の２ｎ倍以上（２ｎ＋２）倍未満である半周期の数の総和Ｎｗ_nとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗ_nに基づいて計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】計数誤差を補正する。
【解決手段】張力・速度計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７とを有する。計数装置７は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、この測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、この度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を干渉波形の周期の代表値Ｔ０とし、代表値Ｔ０の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満である階級の度数の総和Ｎｗ_nとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗ_nに基づいて計数結果を補正する （もっと読む）

本発明は流体２の流れ特性を決定するための装置１に関する。装置は、距離及び速度決定ユニット３までの流体の要素の距離を決定し、自己混合干渉信号に基づいて、同時に要素の速度を決定するための距離及び速度決定ユニット３を有する。装置１は、決定された距離及び速度の少なくとも１つに基づいて流体２の流れ特性を決定するための流れ決定ユニット４を有する。これは、流体２が光学的に厚い場合であっても、流れ特性を決定可能にする。
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【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７と、信号抽出部７で計測された干渉波形の周期を、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値と比較することにより、干渉波形の周期を補正し、補正した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出部７と、信号抽出部７が計測した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するようにレーザ１を動作させるレーザドライバ４と、レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７と、信号抽出部７が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出すると共に、周期の変化特性に応じて基準周期を補正する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７と、信号抽出部７の計測結果を基準周期と比較することにより補正し、補正した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】物理量の誤算出の可能性を低減する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の数を数える信号抽出部７と、干渉波形の数から物体１０との距離及び物体１０の速度を算出する演算部８と、半導体レーザ１の発振波長変調の搬送波の振幅または周波数を調整することが可能な調整部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化した場合でも、物体の遠近を精度良く判定する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、レーザ１から放射されたレーザ光と戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、干渉波形から物体１２までの距離が距離しきい値より遠いか近いかを判定する周期分別部７および判定部８と、干渉波形の周期の度数分布を作成し、反射壁面１１との距離に対応する干渉波形の周期の規定値をＴｂとしたとき、度数分布から規定値Ｔｂ以下の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎａと規定値Ｔｂ以上の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎｂを求め、ＮａとＮｂが等しくなるようにレーザ１の発振波長変調の搬送波の振幅または周波数を調整する調整部１０とを備える。 （もっと読む）

レーザ空洞を持つレーザと、入射レーザ光の向きを該レーザ空洞に戻るように変える、レーザビームの光路に沿って配置された面を有する、レーザ自己混合測定装置が提供される。該面は、レーザ光を部分ビームへと回折させる周期構造を有する。
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【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、物体１０が基準距離の位置にあるときの干渉波形の周期を基準周期としたときに、干渉波形の周期の度数を基準周期に基づく値で分別する周期分別部７と、周期分別部７の測定結果から物体１０が基準距離よりも近距離にあるか遠距離にあるかを判定する判定部８とを有する。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、干渉波形の情報から、物体１０までの距離が基準距離より遠いか近いかを判定する距離判定処理手段（フィルタ部６、計数部７、判定部８）とを備える。 （もっと読む）

自己混合干渉を用いて光センサ（６００）に対する対象の動きを検出する光センサ（６００）を有するスイッチについて記載する。光センサ（６００）はレーザ（１００）、検出器（２００）及びフィルタ装置（５００）を有する。フィルタ装置（５００）は、検出器（２００）によって生成される測定信号を、その測定信号が所定閾値を下回る速度での対象の動きによって生じる場合に、抑制する。光センサ（６００）は、対象の動きの速度に依存した選択的なスイッチングを可能にすることができる。
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