【課題】高速道路等の橋桁の３軸方向のズレの変位を監視し、変位が許容値を超えたかどうかの判定を容易に行う。
【解決手段】本発明における第１、第２の変位センサ本体Ｓ１、Ｓ２は、それぞれＺ軸変位センサ用プローブ４を監視対象物である第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの下面に向けて配設されている。
第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの対向する端縁部近傍の下面には、それぞれ平板状の第１、第２段差部材１７ａ、１７ｂが取り付けられており、第１の段差部材１７ａの下面には第１の変位センサ本体Ｓ１のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部が、第２の段差部材１７ｂの下面には第２の変位センサ本体Ｓ２のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部がそれぞれ所定の弾力を維持して当接されている。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの固体部分に生じている歪みを直接検出し、かつ回転系非回転系間の電力・信号伝達が不要なタイヤ歪み検出用センサシステムを提供する。
【解決手段】 歪みに応じて反射波長が変化するＦＢＧを形成した光ファイバ１をタイヤ２の内層３に埋め込み、この光ファイバ１とタイヤ外部との間で光伝送を行うためのカプラ４をタイヤ２の側部に設けた。タイヤ２の内層３の変形に応じてＦＢＧの反射波長が変化する。 （もっと読む）

【課題】 煩雑な補正を行うことなく正確な周波数間隔を有するレーザ光を得ることができ、その結果として高い測定精度を得ることができる光ファイバ歪み測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ歪み測定装置１０は、被測定光ファイバＦＢに入射させるレーザ光を射出する光源部１０ａと、被測定光ファイバＦＢから射出されるレーザ光に含まれる偏波状態の異なる成分間の光路差を測定する測定部１０ｂとを備える。光源部１０ａは、半導体レーザが設けられたレーザ光源１２と、半導体レーザに注入する電流を制御して半導体レーザから射出されるレーザ光の周波数変調を行う光源制御回路１１と、半導体レーザから射出されるレーザ光を共振させて被測定光ファイバＦＢに導くリング共振器１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】多くの空間を必要とせず、測定点の選択が容易でより正確な測定方法を提供する。
【解決手段】リングモールド（４）上でガラスパネル（６）を曲げる工程でガラスパネル（６）の撓みを測定する方法であり、ガラスパネルの測定点で撓みを測定し、測定データが曲げ工程の進行状況、特にガラスパネル（６）の加熱又は曲げ工程の不完全さを制御するために適用される方法であり、リングモールド（４）に対して不動の参照面（５ａ、５ｂ）が設定され、距離ゲージ（７、７０）が、参照面（５ａ、５ｂ）と該距離ゲージ間の距離を測定するために使用され、距離ゲージ（７、７０）が、ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ間の距離を測定するために利用され、及びガラスパネル（６）の撓みが、参照面（５ａ、５ｂ）と距離ゲージ（７、７０）間の距離を、該ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ（７、７０）間の距離と比較することにより測定される。 （もっと読む）

【課題】従来のシステムより計測点数が多く、リアルタイムな計測ができる光ファイバセンシングシステムを提供する
【解決手段】光源と、受光部と、歪みを受け屈曲すると透過光が減衰する光ファイバセンサとを備えた光ファイバセンシングシステムにおいて、前記光ファイバの両端にそれぞれ異なる波長帯域の光を透過または反射する光学フィルタを備え、これら光学フィルタの透過光または反射光の光量の差分を光ファイバに掛かる歪み量として計測する。 （もっと読む）

【課題】
常時又は地震時等の災害時に於ける構造物、特に、２点間の変位量を所定の遠隔地に於いても迅速かつ適正に検出できる技術を提供する。
【解決手段】
構造物としての一方の桁３５、構造物としての他方の桁３６に於いて、該一方の桁３５と他方の桁３６の相互間の下方位置には橋台又は橋脚３７が配置してある。該橋脚３７は躯体で構成してもよい。上記橋脚３７は、上面に２点間変位計３８を配置し、上記２点間変位計３８は、上記光ファイバ固定治具及び複数列で構成された複数個又は多数固のプーリーでなる回転可能な光ファイバ巻回部材及びコイルバネ等でなる変位・荷重変換部材を搭載する。この２点間変位計３８から歪みセンサ機能を有する一方側及び他方側の光ファイバ３９、４０を引出すと共に該一方側の光ファイバ３９をＢＯＴＤＲ計測器４６に接続する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、露光装置の生産性向上を阻害する事無く、各露光ショット毎の正確な位置ずれ量を計測し、算出した位置ずれ量を補正して高速かつ高精度に回路パターンを転写する事を目的とする。
【解決手段】 被露光基板上の一回の走査露光で露光される露光領域内もしくは該露光領域周辺に露光パターンの所定位置からのずれと伸びを代表する様に配置された複数の位置合わせマークを原版のパターンを被露光基板上に投影する投影光学系の光軸とは離れた別の光学系でほぼ同時に観察する複数の観察手段と、観察された前記複数の位置合わせマークの所定位置からの位置ずれ量を計測する手段と、該ずれ量から露光パターンの位置ずれ量と伸びを算出する手段と、算出された露光パターンの位置ずれ量と伸びの情報に基づいて被露光基板の位置ずれと投影倍率を補正して露光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 温度補正の精度が高いＦＢＧセンサ用光ケーブルを提供する。
【解決手段】 測定対象物に沿って布設されるセンサ用光ファイバ４２に、測定対象物の変位を検出するためのセンサ用ＦＢＧ４４を書き込んだＦＢＧセンサ用光ケーブル１において、センサ用光ファイバ４２に沿って温度補正用光ファイバ２を設け、その温度補正用光ファイバ２に、センサ用ＦＢＧ４４を温度補正するための温度補正用ＦＢＧ３を、センサ用ＦＢＧ４４と同じ位置に書き込んだものである。 （もっと読む）

この装置は、試料（２）の少なくとも１つの表面（１）の歪みが温度に対して測定されることを可能とする。所定の平面、例えば表面（１）の平面に垂直な方向の歪みが、合成像によって測定される。前記平面における歪みが、画像相関によって測定される。画像相関と合成像とによる測定は、共通の可視光検出カメラ（３）を使用する。試料（２）は、可視光（Ｌ）を少なくとも局所的に通す透明格納容器（６）内に配置される。少なくとも１つの赤外線発光器（９）が、大部分がカメラ（３）によって検出されないスペクトル帯の赤外光が発生されることを可能とする。
（もっと読む）

光ファイバブラッグ格子ＦＢＧセンサが各固定体に回転可能に設けられた回転軸により支持される回転体に設けられる。ＦＢＧセンサは回転軸に沿って延長され、一端は回転軸の一端の中心に配置される。光ファイバが固定体に設けられ、一端がＦＢＧセンサから離れてＦＢＧセンサの端部と対向するように配置される。多波長の光源から放射された光は光ファイバを通じて光ファイバとＦＢＧセンサ間の間隙を横切ってＦＢＧセンサに伝達される。ＦＢＧセンサは回転体の変形に対応する周波数の光を反射する。データ処理ユニットが反射された光を受けて、それに基づいて回転体の変形を算出する。
（もっと読む）

土木構造物での変形の位置を特定し測定するための工程において、平行で、信号の伝達可能な、複数の光ファイバ（２ａ乃至２ｅ）を有する、少なくとも１つのジオシンセティックな繊維（１）が、構造物に、もしくは構造物の下に適用され、光ファイバは、均等に離間され、同じ波長に対応するＮ１個の連続したグレーティングからなるシリーズ（４）に分布するブラッググレーティング（３）を有し、シリーズは、それら自身同一の複数のセットの中に配置され、これらセットの各々は、異なる波長に対応するＮ２個の連続したシリーズを有するということと、少なくとも２つの光ファイバで、１つのシリーズ（４）におけるグレーティングの数Ｎ１と、１つのセット（５）におけるシリーズの数Ｎ２とは、光ファイバの各々に伝達される入射光の波長とブラッググレーティングにより反射される光の波長との間の違いを測定することにより特徴付けられる工程に関する。
（もっと読む）

第１に、光ファイバを備える鉄道監視システムである。光ファイバの第１の部分は、レールの軌道の組の１つに取り付け可能であり、ファイバの第１の部分の特徴は、ファイバの第１の部分が取り付けられる前述の１つの軌道の特性の変化に応じて可変である点である。システムはまた、光信号をファイバの中に放射するためのファイバに接続された光信号放射器を含み、ファイバは少なくとも第１の変更された光信号を生成し、この信号はファイバの一部の特性の変化に関係する情報を含む。システムは更に、第１変更された光信号に含まれる情報に基づいた、１つの軌道の特性の変化を確認するために、ファイバに接続されて第１の変更された光信号を受信して解析するための光信号アナライザを含む。
（もっと読む）

本願は、部材（１，３）の本体縁（５ａ）の位置の変化を測定する測定装置（７）に関し、測定装置は、変化に反応するセンサ（９）、光源（８）、本体縁（５ａ）に固定した測定縁（５）、及び光源（８）から出る光（６）を含んでいる。位置の変化から、（例えば軸受における）力Ｆによる変形についての情報を取得し、重量又は不平衡を求め、密封部又はプレスばめ部を監視することができる。測定は、なるべく導光体を使用して、反射又は透過で行われる。
（もっと読む）

投影露光装置（１００）は、基板（Ｗ）が載置されるとともに、その基板を保持して移動可能な基板テーブル（３０）と、基板テーブルの位置情報を計測する位置計測系（１８等）と、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれを補正する補正装置（１９）とを備えている。この場合、補正装置により、液体の供給に起因して基板と基板テーブルとの少なくとも一方に生じる位置ずれが補正される。これにより、基板に対して液浸法を利用した高精度な露光を行う。 （もっと読む）

材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも１つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
（もっと読む）