【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、搬送手段５、撮像部１、観察用補助部材２、液体充填手段７、及び液体除去手段８を備える。搬送手段５は検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する。撮像部１は光透過性フィルムＡの一面Ａ１（表面）側からこの光透過性フィルムＡの外観を撮像する。観察用補助部材２は撮像部１で撮像される光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配される。液体充填手段７は光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体４を介在させることでこの光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とを密着させる。液体除去手段８は撮像後の前記光透過性フィルムＡに付着している液体４を光透過性フィルムＡから除去する。 （もっと読む）

【課題】平行平面板の被測定面に対して高精度な測定を行うことが可能な干渉測定方法を提供する。
【解決手段】所定の参照面６ａおよび平行平面板５の被測定面５ａに、互いに干渉しない異なる波長を有する２種類の可干渉光を照射する第１のステップと、２種類の可干渉光が照射された参照面６ａおよび被測定面５ａからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第２のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面５ａの高さを測定する第３のステップとを有し、平行平面板５における被測定面５ａと反対側の面５ｂからの反射光の影響を排除するように２種類の可干渉光における波長の関係および、参照面６ａと被測定面５ａとの間の光学距離を調整するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムにおけるコーティング層の膜厚むらによる欠陥の検出を簡易な構成且つ高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５を具備する。光透過性フィルムＡに一面側から光を照射する照明手段６を具備する。照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡの一面側で反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１を具備する。前記撮像部１として、互いに異なる特定波長域の光を受光して撮像する複数の撮像部１が、前記搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、気泡を選別処理するガラス基板内の気泡選別処理法を提供する。
【解決手段】１）顕微鏡１４Ｃを用い、欠陥Ｄ４の上方よりガラス基板２０上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する検査画素の明るさを２値化して２値検査画素２Ｋ−０とし、４）２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する選別処理を行う。 （もっと読む）

【課題】誤検出を低減して欠陥検出の精度を高め、しかも検査時間の短縮とコスト低減とを同時に図る。
【解決手段】照明光学系は、光を焦点面上に集光して被検査物１００に照射するとともに前記焦点面上の集光点を走査させる。光分割部２０は、被検査物１００から得られる光を分割する。第１の光検出部２１Ａは、集光レンズ３１Ａ、光制限部３２Ａ及び光検出器３３Ａを有し、分割後の一方の光を検出する。第２の光検出部２１Ｂは、集光レンズ３１Ｂ、光制限部３２Ｂ及び光検出器３３Ｂを有し、分割後の他方の光を検出する。光制限部３２Ａと共役な平面と光制限部３２Ｂと共役な平面とは、前記焦点面の付近において、互いに光軸方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でコストが低く、かつ、測定点を効率よく測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】空間の任意の位置に設置され、入射光に平行な反射光を返す反射体２Ａを有したターゲット２と、空間の他の任意の位置に設置されるとともに、第１の基準軸線Ｌ_１上の基準点Ｐから略扇形に広がる測定光Ｂ_３を発生してターゲット２を照射する照射手段２２と、ターゲット２からの反射光Ｂ_４を受光して受光位置を検出する受光素子２３と、基準点Ｐおよびターゲット２を結ぶ線と第１の基準軸線Ｌ_１との交わる仰角αを、受光位置から演算する演算処理手段５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】透明な小径管体の外観欠陥検査を、管肉厚部分の影響を受けずに高精度で行える管体の検査装置及び検査システムを提供する。
【解決手段】光軸方向に順に光源１９、管軸方向スリット３４を複数有するスリット板２１、光軸直交方向に移送されるガラス管１５、撮像装置２０を配置し、スリット板２１を背景にガラス管１５を撮影し画像処理装置２４で画像処理して、ガラス管１５の外観欠陥を検出する装置で、スリット板２１は、ガラス管１５を通して見た時、スリット３４がガラス管１５の内径寸法より狭い範囲内の画像となるように、またスリット外方遮光部分３５ｂが管肉厚部を遮光する画像となるように形成され、撮像装置２０は、スリット画像と共にガラス管１５の外形画像等を同時に撮影し、画像処理装置２４は、スリット画像と外形画像等に基づいてガラス管１５の外観欠陥の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】この発明は、試料片の厚さを屈折率分布の計測と同時に、かつ高精度で行うことを可能とし、もって屈折率分布を高精度で計測することを可能とすることを課題とするものである。
【解決手段】屈折率が既知でかつその値が異なる２種以上の透明な板状体１，２と、屈折率が未知の被計測部分が包埋された被計測試料５とをその薄片化方向に沿った面を当接させて積層し、次いで前記積層された板状体と試料体とに薄片化加工を施して被計測薄片９を形成する。
干渉計測を行うために、一旦可干渉光を二分し、一方には被測定部分の情報、他方には基準となる位相の情報を持たせた後、その両者を重畳させる。こうして得られた干渉画像から、一の板状体と他の板状体のそれぞれの領域を透過した可干渉光の間の位相差を計測し、この位相差と前記透明板状体の既知の屈折率から前記被計測薄片の厚さを計測する。 （もっと読む）

【課題】被測定体によって形成される光束の波面を高精度（例えば、高空間周波数のうねり成分まで）、且つ、短時間で測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】参照面を有する光学系と、検出面を有する検出部とを備え、前記光学系によって前記検出面に形成される被測定体又は基準面からの被検光束と前記参照面からの参照光束との干渉パターンを前記検出部で検出する測定装置を用いて、前記被測定体によって形成される光束の波面を測定する測定方法であって、前記測定装置における位相伝達関数及びパワースペクトル密度を用いて、前記測定装置による測定結果から前記光学系に起因する波面誤差を分離する測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】偏心測定方法および装置において、被検レンズ系の被測定面の面間隔の製作誤差の影響を受けることなく、偏心量の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】第１面の偏心量を算出し、被検レンズ系と投影光学系との光軸方向の相対位置を第１測定位置として取得する第１面偏心測定工程（ステップＳ２）と、投影光学系を第ｉ面の測定開始位置に相対移動する測定位置移動工程と（ステップＳ４）、第ｉ面に光源の像を投影し、投影光学系の光軸方向の位置を調整して、第ｉ面での反射光による光源の像を像面に結像させ、この像位置の情報を取得し、被検レンズ系と投影光学系との光軸方向の相対位置を第ｉ測定位置として取得する第ｉ面測定工程（ステップＳ５）と、面間隔データを実測値に修正したレンズ設計データを用いて、第ｉ面の偏心量を算出する第ｉ面偏心量算出工程（ステップＳ６）とを備える偏心測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】 所定領域の歪の値を迅速に測定することを可能にする。
【解決手段】 成形し徐冷されて移動するガラスリボンの帯状領域を、既知の偏光光を通過させ、この帯状領域の各点を通過した光の偏光方位の変化を画素単位で検出して算出し、前記算出した各点の偏光方位の変化量から前記ガラスリボンの帯状領域の各点の歪を一度に求め、前記ガラスリボンの移動にあわせて所定の間隔で、前記帯状領域の歪を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノイズがあったりエッジが不完全であったりしても透明部材の形状を認識し、透明部材の位置が検出可能となる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 面が互いに向き合うよう連なって配置された複数の透明部材を面の垂直方向から撮像した画像を取得する画像入力部２と、画像入力部２によって取得された画像に撮像された複数の透明部材それぞれの輪郭を少なくとも含んだ領域を取得するＲＯＩ設定部１０と、ＲＯＩ設定部１０によって取得された領域内から、複数の透明部材のエッジを抽出するエッジ抽出部１１と、エッジ抽出部１１によって抽出されたエッジから、複数の透明部材のうちの所定の透明部材のエッジを選択する最適エッジ選択部１２と、最適エッジ選択部１２によって選択されたエッジに基づき、所定の透明部材の位置を算出する位置算出部１３と、を備える位置検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】観察環境の変化にかかわらず、精度よく観察する。
【解決手段】観察対象を撮影する撮影部２と、該撮影部２により取得された画像に基づいて、観察対象における位相差の分布を抽出する位相差分布抽出部３と、撮影部２により取得された画像から１以上の特徴量を抽出する特徴量抽出部５と、該特徴量抽出部５により抽出された特徴量に基づいて、位相差分布抽出部３により抽出された位相差の分布を補正する位相補正部７とを備える観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】透明に近い細胞などの生体材料を非染色状態で試料とし、コントラストの低い試料を可視化する顕微鏡などの観察装置に最適な三次元画像取得装置およびその方法とこれを利用した加工装置の提供。
【解決手段】試料空間内の計測点に集光する光束を照射し、透過光量を計測する。透過光信号と参照信号から微弱な光吸収量を測定する。三次元走査しながら光吸収量を立体画素とする三次元マップを得る。この三次元マップに、計測点付近の光強度分布像をコンボリューション・カーネルとするデコンボリューション処理を行ない、非染色状態で透明に近い試料の三次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】透明樹脂フィルムを保持する保持部材の影響を受けることなく、透明樹脂フィルムに傷をことなく、誤計測がなく精度良く安定した透明樹脂フィルムの膜厚を計測する膜厚計測装置及び膜厚計測方法の提供。
【解決手段】保持部材に保持された透明樹脂フィルムの表面に検査光を照射し、前記透明樹脂フィルムの反射光を受光することで、前記透明樹脂フィルムの膜厚を計測する膜厚計測装置において、前記保持部材は、前記透明樹脂フィルムを保持する面がＪＩＳＢ０６０１−１９９４に準じて測定された、算術平均粗さＲａが１．０μｍ〜８．０μｍ、最大高さＲｙが９．０μｍ〜５０．０μｍを有することを特徴とする膜厚計測装置。 （もっと読む）

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、ガラス基板の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 被検面（２０ａ）の面位置の変位を検出する変位検出装置は、光源（ＬＳ）からの光に基づいて対物レンズ（５）により一旦集光点（Ｐ）を形成した後に被検面としての物体（２０）の表面に照射する照射系（ＩＬ：１，２，３，４，５）と、被検面で反射され且つ対物レンズを経た光に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（ＤＳ：５，４，３，６，７，８，９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークがエッジ検出用レーザービームに対して透明である場合にも、ワークのエッジを精度良く検出可能なワークのエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】エッジ検出用レーザービーム発振手段と、該エッジ検出用レーザービーム発振手段から発振されたエッジ検出用レーザービームのコヒーレンスを低下させ、低コヒーレントエッジ検出用レーザービームに変換するコヒーレンス低下手段と、該低コヒーレントエッジ検出用レーザービームを集光して前記保持面又は前記ワークの表面に照射する集光器と、該保持面又は該ワーク表面で反射した低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを第２の光路に導くビームスプリッターと、該ビームスプリッターで第２の光路に導かれた該低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを受光して光強度に応じた電気信号を出力する受光素子と、該電気信号に基づいて前記ワークのエッジ位置を求める制御手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、湾曲した板状体の検査装置及び検査方法に関し、湾曲した板状体の全面を略均一に検査して、その欠陥検出を正確に行うことにある。
【解決手段】複数の曲率を有する湾曲した板状体へ向けて光を照射する光源と、光源と板状体との間に配設され、該光源から板状体へ向けて照射された光を透過・遮断するための所定の明暗パターンが形成されたパターン形成部材と、板状体を反射した光源からの光を受光する受光センサと、を設け、受光センサに受光された光の受光パターンに基づいて板状体を検査する装置において、パターン形成部材に形成された所定の明暗パターンを、受光センサでの受光パターンの間隔周期が該受光センサの分解能に対して所定の下限複数倍から所定の上限複数倍までの範囲内になるように、板状体の曲率に合わせて粗密にする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）