【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の焦点の調整に必要な情報を設定する作業を容易にする。
【解決手段】表面に電極５１が形成された透光性を有する基板５０と、この基板５０の電極５１に異方性導電膜８５を介して電気接続されることにより基板５０に一体に設けられた付属物６１とを具備するワークを、付属物６１が接続された面とは反対の面を上に向けた状態で配置し、撮像装置１０および同軸照明用の照明部１３、ならびに変位センサ１５を含む撮像ユニット１により撮像して、生成された画像を用いて圧痕５２の状態を判別する。検査の前のティーチング処理では、圧痕５２が消失した画像が生成されたときの変位センサ１５の計測値を特定し、検査では、特定された計測値に所定大きさの正または負のオフセット値を加算した値を基準の高さとして、撮像ユニット１の高さを調整する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部１４によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ１８によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部３２によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の形状によらず、ライン照明とラインセンサの構成の光学的測定装置を用いて高速かつ高精度に、測定対象物のエッジ周辺部付近まで測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】支持部材により支持された測定対象物の表面に、ライン照明光を照射し、測定対象物の表面からの散乱光あるいは反射光あるいは透過光を結像光学系を介して受光部に結像させて、測定対象物の状態を測定する場合、ライン照明光が測定対象物のエッジ周辺部にあたらないようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透明平板基板の表裏に存在する微細な異物を光散乱方式により高感度に検出するとともに、異物が表裏のいずれに存在するかを確実に判別することができる異物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】透明平板基板に投光系により検出光を照射し、前記透明平板基板に存在する異物による散乱光を受光系により受光して前記異物の存在を検出する異物検査装置において、前記透明平板基板の表面に前記透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で前記検出光を照射する投光系と、前記表面側に設けられ、前記検出光の照射点を基準として、前記投光系と略対称の位置に設けられ、前記検出光が異物に照射された際の散乱光を受光する第１の受光系と、前記表面側で、前記検出光の照射点のほぼ頭上に設けられ、前記散乱光を受光する第２の受光系とを備える。 （もっと読む）

【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面（或いは下面）高さをも測定できるようにする。
【解決手段】 記憶装置３２から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面ＦＳの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し開始後順次検出する光量ピークのうち所定番目以降に検出される光量ピークに対応する焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能な厚さ測定装置及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】厚さ測定装置１は、投光部２と、配置面１１Ａ上に光透過性物体９が無い場合における配置面反射光Ｌ２３と、配置面上に光透過性物体が在る場合における裏面反射光Ｌ２２とをそれぞれ受光可能な受光部１３と、受光部における反射光の受光位置Ｘ３及び裏面反射光の受光位置Ｘ２間の距離ΔＸ２と、光透過性物体の厚さｄ１とにおける相関関係に基づき光透過性物体の厚さを測定する測定部８と、を備える。 （もっと読む）

基準面に対するシート材の選択区域の位置を決定するための方法は、第１の入射光ビームが第１の位置と第１の角度で選択区域に当たり、それによって、第１の反射光ビームを生成するようにシート材の選択区域に第１の入射光ビームを発射する工程を含む。第２の入射光ビームは、この第２の入射光ビームが第２の位置と第２の角度でシート材の選択区域に当たり、それによって第２の反射光ビームを生成するようにシート材の選択区域に発射される。第２の位置と第２の角度は、それぞれ、第１の位置と第１の角度とは異なる。第１の反射光ビームおよび第２の反射光ビームは、基準面で遮断される。反射光ビームが遮断された位置、および入射光ビームが発射された角度に関する情報が受信され、基準面に対する選択区域の位置に対して関連付けられる。
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【課題】円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供する。
【解決手段】全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸に垂直な方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸の方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、当該工業過程において品質制御を行うために、サーモグラフィ技術を利用することによりリアルタイムに透明な被写体の３次元モデル化を行うことができる３次元スキャナ（１）に関し、摺動部（２）、ヒータ（３）、サーマルカメラ（５）及び制御ユニット（６）を含む。
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【課題】光学的に透明な球体の表面形状に関する好適な測定が可能となる、球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法を実現する。
【解決手段】光学的に透明な球体１０の上面での第一反射光Ｒ１と、球体１０の下面での第二反射光Ｒ２とが干渉した干渉縞を生成させて、例えば、フィゾー型干渉計を応用した干渉計１００を用いて、その干渉縞に基づき球体１０の上面と下面との間の光路差の分布を算出することができ、その光路差分布に基づいて球体１０の真球度を算出することができる。
また、第一反射光Ｒ１と第二反射光Ｒ２とが干渉して干渉縞を生成させる、光源１から照射された光の焦点が球体１０の中心Ｏとなる第一配置と、光源１から照射された光の焦点が球体１０の表面となる第二配置とを検出して、その第一配置から第二配置までの移動量に基づいて球体１０の曲率半径を測定することができる。 （もっと読む）

本願発明は物体の三次元測定のための装置に関し、その装置は移動可能な第一のパターンを物体に投影する第一の赤外線光源を有する第一の投影装置、および赤外線スペクトル領域において物体の画像を記録する少なくとも一つの画像記録装置により構成される。本願発明はさらに物体の三次元測定のための方法に関し、その方法は物体(5)を三次元測定する方法で、第一の赤外線光源(1a)を備える第一の投影装置(1)により第一の赤外線パターンを物体に投影し、赤外線放射を感受する最低一つの画像記録装置(3)でその物体の映像を記録し、そのパターンは映像の記録のたびに移動する、というステップにより構成される。
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【課題】透明膜で形成されたパターンは、コントラストの変化が場所によりことなる現象が発生し、輝度変化のパターンと一致しないパターンを測定することができなかった。透明膜パターンのコントラストの変化が変化した場合でも測定が可能な線幅測定方法を実現する。
【解決手段】透明膜のコントラスト変化に合わせて、複数の輝度変化パターンを登録し、登録された複数の輝度変化パターン毎に対応する測定条件を設定し、複数の測定条件で測定する。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡単かつ高精度に被検レンズの透過波面を測定することが可能な測定装置、それに使用されるアライメントシステム、アライメントシステムの制御方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】干渉計２０を有して被検レンズ１０の透過波面を測定する測定装置１に使用され、被検レンズ１０の集光点ＣＰと反射型球面原器２７の球心Ｏとを位置合わせするアライメントシステム４０は、被検レンズ１０を載置するステージ２５を移動する移動部５０とコンピュータ６０を有し、設定された移動方向と移動量に基づいて移動部５０を制御する移動制御モジュール７０と、方向判断モジュール６４が、実際には、明暗領域１６の中心１７が検出領域２９ａの中心２９ｂから離れる方向に移動していると判断した場合に、設定した移動方向を反対方向に再設定し、再設定された移動方向にステージ２５が移動するように移動部５０を制御する移動制御モジュール７０を有する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度を低下させることなく、測定できる範囲をロングレンジ化した光学式変位計を提供する。
【解決手段】 基準面による反射光及び検査対象物による反射光からなる干渉光を分光する分光手段と、分光後の干渉光の波数に関する光強度分布を生成する光強度分布生成手段と、波数に関する光強度分布を波数に対する光強度の空間周波数に関する光強度分布に変換し、極大点を抽出する光強度極大点抽出部５３と、極大点の空間周波数に対応する周波数成分の位相を決定する位相決定部５６と、上記位相に基づいて検査対象物の変位量を判定する変位量判定部５７により構成される。位相決定部５６は、周波数成分の相対位相を判定する相対位相判定部７１と、相対位相の判定結果及び過去の判定結果に基づいて相対位相をつなぎ合わせ、絶対位相を求める絶対位相算出部７３と、リセット指示に基づいて絶対位相の基準点を更新する位相基準更新部７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 センサの高さ位置を簡単に調整できる高さ計測装置を提供する。
【解決手段】
センサ本体１は、光源１０を備え、光源ウインド１１を通ってプローブ光１５を出力し、対象面５５にて反射したプローブ光１５を計測ウインド１２と計測レンズ１３を通してラインセンサ１４で受光し、対象面５５の高さを計測する。 光源ウインド１１の下側に、ビームスプリッタ２１が設けられており、プローブ光１５を直交方向に分岐してガイド光２５とし、該ガイド光２５を反射ミラー２２で反射させて、スクリーン２０上に当てる。スクリーン２０は、スリガラスなどの光透過性の拡散板であり、下側から当たったガイド光２５のガイド光位置２６を上面から視認し、センサ本体１の高さ位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】２つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１００は、第１ＰＬＣ１１０と第２ＰＬＣ１２０の２つのＰＬＣを接続して構成されている。そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。ＭＺＩ回路１０１は、一部が第２ＰＬＣ１２０に形成され、他の部分が第１ＰＬＣ１１０に形成されている。ＭＺＩ回路１０１を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Ｄを高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）