【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】ガラスシート (１４)内または上の粒子及び欠陥を検出するためのガラス検査装置において、製造環境に容易に配備され得るコンパクトな装置に容易に集成することができる比較的低コストの光学コンポーネントを用いる。
【解決手段】この装置は、検査されるべき表面(１)が反射型レンズ(１０)の物平面にあるように取り付けられる。レンズは、レンズ周縁の接線方向に長く、径方向に短い、細いストライプ領域をラインスキャンカメラ(１８)上に結像させる。ストライプ領域を照明するように、ライン照明装置(１２)を取り付けることができる。検査を実施するため、ガラス上方で装置を移動させることによるか、装置を固定しておいてガラスを移動させることによって、ストライプの長軸に直交する方向でガラスに対して装置が移動される。この移動中に像情報がラインスキャンカメラによって収集され、組み合わされて、画像にされる。 （もっと読む）

【課題】光の透過性を有する基板の面位置を高精度に検出できること。
【解決手段】 基板の表面で反射された光を検出し、その検出結果に基づいて表面の面位置を検出する面位置検出装置である。その面位置検出装置は、基板の裏面を保持する保持部と、該保持部に対して凹状に形成された凹部とを有する保持装置と、基板の屈折率と同等の屈折率を有する流体を凹部に供給する流体供給装置と、凹部の上方の基板の表面に光を照射する照射装置と、を備える。 （もっと読む）

レーザベースの変位検出器(26)を使用して、透明な物品(20)の一つの面に塗布された化粧コーティング(22)を検出し、それによって、レーザ加工システムの中に装填されているときにどの面が最も上になっているかを判定する。具体的には、可視光に対して透明で、レーザ加工システムの中で適切な向きにすることが特に困難である物品(20)が、レーザベースの変位検出器(26)を物品(20)上の部分コーティング(22)と共に使用することによって、向きを定められる。 （もっと読む）

【課題】 光源から放射される光ビームを、板ガラスのような透明材料を透過させてスクリーンに投影し、透明材料内の欠陥を検出する検査装置において、光学倍率、光源からスクリーンまでの距離、または光源の光度を変えることなしに、種々のサイズの透明材料の検査を可能にする。
【解決手段】 スクリーン２６上に投影される光ビームを遮る光学素子２４を光源２２とスクリーン２６との間に配置して、光ビームの少なくとも一部分の光度を変えて、ほぼ一様な照度分布をスクリーン２６上に生成させ、透明材料３０内の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定線に沿う物体３４の正反射面の相対位置を測定する方法において、正反射面の傾斜角の許容範囲を広くする。
【解決手段】 （ａ）少なくとも１本の集束光ビーム３８を測定線上の公称位置４０に集束させ、正反射面からの反射ビーム４４を形成する。（ｂ）検出器平面５０における反射ビーム４４の像を記録する。（ｃ）検出器平面５０内の反射ビーム４４の像の位置を決定する。（ｄ）その反射ビームの像の位置を測定線に沿う公称位置４０からの正反射面の変位に変換する。工程（ａ）において、複数本の集束光ビーム３８を公称位置４０に集束させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】測定ワークを回転させずに、レーザー光の入射方向を変換することができる非接触表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】９０度相違するＸ軸方向及びＹ軸方向で、それぞれレーザー光Ｌの反射光を別個に検出できる構造になっており、それをダイクロイックミラー１３ｙをスライドさせることにより選択的に切り換え可能な構造にした。従って、非球面レンズ１は動かすことなく、ダイクロイックミラー１３ｙをスライドさせるだけで、対物レンズ６に対するレーザー光Ｌの入射方向を９０度相違する別の方向に変更することができる。非球面レンズ１を動かさないため、非球面レンズ１の状態が変化することがなく正確な測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】照明手段を備えた二次元測定機において、測定物を常に高コントラストで撮像できるようにするとともに、常に充分な光量を得ることできるようにする。
【解決手段】測定物（１）を拡大する顕微鏡（５）と、測定物を照明する照明手段（１１）とを備えた二次元測定装置において、照明手段は、それぞれ異なる波長（λ_１、λ_２、λ_３、λ_４、λ_５）の光（１４）を出射する複数のＬＥＤ照明（１２）を備えており、複数のＬＥＤ照明のうちから選択した１つのＬＥＤ照明から出射された光（１４）が、コリメータレンズ（１３）で平行光線とされ、顕微鏡内に配置された半透明プリズム（１６）で測定個所（２０）に向けて反射される。 （もっと読む）

【課題】接合体における各構成の屈折率差の大小に関係なく、好適に接着層の厚さを測定することができる、接合体における接着層の厚さの測定方法を提供する。
【解決手段】第１層と、第１層と同等の屈折率を有し、第１層に接合される接着層とを有する接合体の接着層の厚さを測定するための測定方法は、第１層と接着層との界面に、界面よりも高い反射率を有する反射層を形成する反射層形成工程Ｓ１０と、反射層に測定光を照射する測定光照射工程Ｓ２０と、測定光が反射層で反射された反射光を取得する反射光取得工程Ｓ３０と、取得された反射光に基づいて接着層の厚さを算出する反射光解析工程Ｓ４０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】情報端末装置に対する撮影対象の空間的な動作によって、情報端末装置の表示部に表示される情報を制御できる情報端末装置を提供する。
【解決手段】情報を表示する表示部５と、表示部５に表示する情報を記憶するメモリ６とを少なくとも有する情報端末装置１０であって、空間的位置関係の基準となる撮影対象Ｓと、一定間隔で画像を入力する撮像部１と、撮影対象Ｓに光量を照射する光源部２と、撮影対象の空間的位置関係の変化を推定する推定部３と、メモリ６から読み出して表示部５に表示する情報を推定部３により推定された空間位置関係の変化に応じて制御する制御部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】多方向に飛散する液滴に対応でき、流速の速い蒸気流中でも光ファイバが破損することが無く、複数回液滴が突き刺さっても精度良く計測する。
【解決手段】光ファイバ１１と光ファイバ１１を先端から離れた位置で支持する円筒部材１２を蒸気流の方向に配置し、光ファイバ１１に液滴Ｄが当たることにより液滴径と速度を計測する蒸気タービン内の液滴計測装置であって、円筒部材１２に光ファイバ１１を覆う液滴防護筒１３_１を設ける。液滴防護筒１３_１は、その底部に液滴排出孔１４を有する。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面および裏面の各形状を、互いの相対的な位置関係を正確に把握しつつ高精度に測定する。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９に対し、顕微干渉計１の相対姿勢を変えながら行う形状測定を、被検レンズ９が裏面側から支持された状態で行う表面部の測定と、被検レンズ９が表面側から支持された状態で行う裏面部の測定とに分けて行う。表面部の測定により求められたコバ部側面９７の第１の形状情報と、裏面部の測定により求められたコバ部側面９７の第２の形状情報とを互いに照合することにより、被検体表面と被検体裏面との相対位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動する等の測定条件に対する設計制約が小さく、被測定物の定量的な表面歪分布を高速かつ高精度に求めることができる表面歪の測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】線状拡散光を被測定物１に対して発生する線状光発生手段２と、被測定物１の表面における前記線状拡散光の鏡像を撮影する撮像手段３と、線状光発生手段２及び撮像手段３に対する被測定物１の相対的な位置を変化可能な移動手段４と、撮像手段３によって得られる線状光発生手段２及び撮像手段３と被測定物１との経時的な相対位置の変化に基づく鏡像を画像処理して被測定物１の表面の歪分布を演算する表面歪分布演算手段１０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】人間が手に取って観察するような例えば茶碗類、布地・その他の類、又は透明層を持つ物体等の厚さの非接触計測は困難だったが、人間がその物体を観察することで感じる「厚さ」に近い厚さを、物体の観察面の画像情報から容易に推定できる、物体の厚さの推定方法を提供する。
【解決手段】ステレオ撮像が可能なステレオ撮像手段で、物体の面の両眼画像を撮影しマッチングを行い、両眼視差量の算出で得た情報に基づき、物体の面の厚さを推定する対象物体の厚さの推定方法で、好ましくは両眼画像は、複数の空間周波数帯域に分割して用い、又は、複数の視差角に対して撮像したものを用いる。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０などで構成され、さらに撮像ユニット３０を光軸方向に位置決めするためのＺステージ４０を備え、撮像ユニット３０を光軸方向にスキャンして得られた複数の画像を合成する。 （もっと読む）

【課題】形状の変化幅が数μｍを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。
【解決手段】光源部１０は、その出力光の可干渉距離が５０μｍ以上１０００μｍ以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー１４は、光透過率が８０％以上９８％以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ１６の光軸Ｚ方向の厚みｔ_Ｂが、上記出力光の可干渉距離の２分の１よりも大となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】薄膜の基板面内における膜厚変動の影響を低減でき、計測精度の向上を図ること。
【解決手段】ガラス基板上に薄膜が製膜された被検査基板Ｗに、該ガラス基板側から単波長の光を照射する光源と、光源から射出された照明光の光軸に対して所定の傾斜角度で受光軸が交差するように配置され、被検査基板Ｗを透過した拡散透過光を受光する受光素子と、受光素子によって受光された光の強度に基づいて薄膜のヘイズ率を求めるコンピュータ７とを備える。コンピュータ７は、ヘイズ率と拡散透過光の光強度とが関連付けられたヘイズ率特性を有しており、該ヘイズ率特性と前記受光素子によって受光された光強度とを用いてヘイズ率を求める。 （もっと読む）

【課題】複数の薄膜が積層された状態で各薄膜の膜厚を計測すること。
【解決手段】薄膜検査装置は、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第１透明薄膜の膜厚及び第２透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも２つの特徴量特性が格納された記憶部１４と、被検査基板Ｓに対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部１１と、被検査基板Ｓからの反射光を受光する受光部１２と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部１４に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部１４に格納されている特徴量特性とを用いて、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部１５とを備える。 （もっと読む）

本発明は、再帰反射板を凸レンズ又は凹面鏡のように使用し、透明又は反射体からなる被検体が屈曲したり、被検体の移動中に振動が発生する場合にも安定的に欠点を検出できるようにし、検査領域で起きる透過検査時の密度勾配と反射検査時の反射角度の変化を用いて測定領域を通過又は反射する平行光の変位現象を捕捉する検査方法である。また、本発明は、透過光又は反射光が集まるカメラレンズの前面にはナイフエッジを光軸に対して水平に設置し、平行光から逸脱した光を遮断することによって、カメラには検査領域の密度勾配に起因する光の明暗の変化が得られ、３次元欠点映像を得られるようにする欠点検査のための検査装置である。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）