【課題】本発明は、物体の三次元の表面形状の評価方法及び評価装置並びに車両用窓ガラスの製造方法に関し、物体の三次元の表面形状を評価するうえでその表面に形成される反射歪みの定量的な検出を可能にすることにある。
【解決手段】対象物体の三次元の表面形状のデータを取得させると共に、その取得された表面形状のデータの２次微分値を算出させる。また、対象物体に要求される三次元の仮想形状データを算出させると共に、その算出された仮想形状データの２次微分値を算出させる。そして、その算出された対象物体の三次元の表面形状の２次微分値と、仮想形状データの２次微分値との差を算出させ、その差に基づいて、対象物体の表面形状を評価させる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの組立作業において、ワークの把持動作を確実に行う。
【解決手段】把持部材２ａ、２ｂの間にワークＷを把持する工程において、各把持部材２ａ、２ｂに設けられた接触押圧部２１ａ、２１ｂがワークＷを押圧して把持することによって発生する光学縞を検出して、把持力の制御を行う。このとき、把持部材２ａに設けられたワーク有無検出部２２ａがワークＷに接触することによって発生する光学縞を検出することで、把持部材２ａ、２ｂの間にシート状のワークＷが有ることを確認する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、有効測定範囲を認識可能で高精度な測定を実現できる光学式寸法測定装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを出力する発光部１０と、レーザビームによりワークＸが配置される測定領域を走査する走査部２０と、測定領域を通過したレーザビームを受光する受光部３０と、受光部３０で得られた走査方向の明暗パターン（受光信号）からワークＸの寸法を算出する寸法算出プログラム５１２と、を備えた光学式寸法測定装置１００において、レーザビームの走査中における点灯区間及び消灯区間をユーザ操作により設定するためのキーボード４８と、設定された点灯区間及び消灯区間におけるレーザビームの点灯制御を行う点灯制御プログラム５１１と、を備え、寸法算出プログラム５１２は、点灯区間を測定領域中の有効測定範囲とし、有効測定範囲における受光信号からワークＸの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】複屈折基板の板厚を正確に求める板厚測定法を得る。
【解決手段】予め複屈折基板の板厚ｔと反射干渉光強度波長特性の振幅の節に対応した波
長λ（ｔ）との関係を求めるステップと、前記基板の反射干渉光強度波数特性を取得する
ステップと、前記反射干渉光強度波数特性の節より波数の大きい領域の前記反射干渉光強
度波数特性のデータに対し、相隣接する２つのデータのうち波数の大きい側のデータから
波数の小さい側のデータを減じ、それに−１を乗じた値を求め、この値を波数の小さい側
のデータに加算した新データで、波数大きいデータを置換して補正反射干渉光強度波数特
性を求めるステップと、前記補正反射干渉光強度波数特性にＦＦＴ処理を施して、複屈折
基板の板厚を求めるステップと、を含む複屈折基板の板厚測定法である。 （もっと読む）

【課題】計測ヘッドを走査して形状計測するには、傾斜角および変位量の双方を検出する必要があり、計測ヘッドが大型化し、重量も重くなるため、計測ヘッドの小型化および軽量化に有利な技術を提供する。
【解決手段】被検面の形状を計測する面形状計測装置は、基準点から光を放射し被検面１０で正反射して戻ってくる被検光と参照光との干渉を検出することによって基準点と被検面との間の距離を計測するための計測ヘッド１１０と、計測ヘッドを走査する走査機構と、計測ヘッドを使って計測された垂直距離と前記基準点の座標とに基づいて被検面の形状を計算する処理部とを備え、処理部は、基準点の座標を（ｓ，ｔ，ｕ）、基準点から被検面までの垂直距離をｑ、前記被検面上の点の座標を（ｘ，ｙ，ｚ）としたときに、（ｘ，ｙ，ｚ）＝（ｓ，ｔ，ｕ）−ｑ（α，β，γ）（α，β，γ）＝（∂ｑ／∂ｓ，∂ｑ／∂ｔ，∂ｑ／∂ｕ）に基づいて被検面の形状を計算する。 （もっと読む）

物品は、複数の機能素子及び一体化した基準マークを含む光透過性基材を含む。基材は、全反射の臨界角、並びに基準面を画定する長さ及び幅を有する。基材は、主表面に配置される一体化した基準マークを含む。一体化した基準マークは、基準面に垂直である基準線と共に第１の半角及び第２の半角のそれぞれを画定する第１及び第２の円錐台形の表面によって形成される少なくとも１つの実質的に楕円状の特徴部を含む。第１及び第２の半角は、度で表される全反射の臨界角を９０度から差し引いたもの以下である。方法は、本開示による光透過性基材を提供することと、マシンビジョンシステムを用いて基準マークの位置を精密に検出することと、基材を光学的に精密に位置合わせすることと、を含む。
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【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

本発明は、液状薬剤（Ｍ）の半透明の薬剤容器（１）のコンパートメント（５）をシールするためのストッパ（４）の長手位置を決定するための配置及び方法に関する。配置は、円形光源（８）及び光感受性センサ（７）を含み、ここで光源（８）又はセンサ（７）は、薬剤容器（１）の長さの少なくとも一部に広がる薬剤容器（１）に接して横方向に配置可能であり、ここでそれぞれの他の光源（８）及びセンサ（７）は薬剤容器（１）の先端周りに円形状に配置可能である。光源は薬剤容器中に光を放射するように配置される。光は薬剤又は薬剤容器（１）により散乱され、センサ（７）により検出される。センサ（７）はストッパ（４）の位置を検出するためにプロセッサユニットに連結される。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット１００には検査対象物１０が載置される。第１照明ユニット４００は、短波長を有する第１光を生成して検査対象物１０に向けて照射する。撮像ユニット２００は、第１光が照射される検査対象物１０を撮像する。これと共に、光学検査装置１０００は、短波長の光を照射して検査対象物１０を撮像するので、検査対象物１０に形成された透明パターンの不良検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】複数の基準座標系相互間のずれを較正する。
【解決手段】 ステージＷＳＴ１上に搭載された４つのヘッド６０_１〜６０_４のうち、互いに異なる１つのヘッドを含む３つのヘッドが属する第１ヘッド群と第２ヘッド群とに含まれるヘッドがスケール板上の対応する領域に対向する領域Ａ_０内で、第１ヘッド群を用いて得られる位置情報に基づいてステージＷＳＴ１を駆動するとともに、第１及び第２ヘッド群を用いて得られる位置情報を用いて対応する第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれ（位置、回転、スケーリングのずれ）を求める。その結果を用いて第２ヘッド群を用いて得られる計測結果を補正することにより、第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれが較正され、４つのヘッド６０_１〜６０_４のそれぞれが対向するスケール板上の領域の相互間のずれに伴う計測誤差が修正される。 （もっと読む）

【課題】画像特徴ベクトルを使用した画像パターン認識用のシステム及び方法を提供する。
【解決手段】画像特徴部に見つけられるベクトルに対応する、それぞれのベクトルインデックスを格納するため、ベクトルセットが生成される(ステップ２１０）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が計算される(ステップ２１５）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が対応のベクトルインデックスとともにベクトルセットに格納される(ステップ２２０）。次に特定される画像のために、上記トレーニング段階が繰り返される(ステップ２２５）。新しい画像の候補領域が特定される(ステップ２３０）。候補領域におけるベクトルに対応する特別のベクトルセットへの相関関係の平均が計算される(ステップ２３５）。候補領域が一若しくは複数のベクトルセットにより表される特徴部を示す可能性を判断するために、上記平均が評価される(ステップ２４０）。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上の位置を特定するためのマークを不要のものとし、しかも、正確に位置を特定することができるガラス基板位置特定方法およびそれに用いられる装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の頂点１４を構成する２辺の、この頂点近傍の位置と向きとを検知してこの頂点１４の位置を特定し、特定された頂点の位置の少なくとも２つから、ガラス基板の位置と向きとを特定する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に設けられた透光部材を介して被測定物の変位を測定する場合であっても高精度に測定することができる変位計の測定方法の提供。
【解決手段】変位計１は、被測定物としての半導体ウェハ２に向かって光を射出するとともに、半導体ウェハ２にて反射される光を受光することで半導体ウェハ２の変位を測定するものである。半導体ウェハ２の表面には、透光性を有する平面状のダイシングテープ３が設けられている。変位計１にて半導体ウェハ２の変位を測定する場合には、まず、ダイシングテープ３の屈折率と略同一の屈折率を有する液体４を、ダイシングテープ３の表面に塗布する。そして、液体４、及びダイシングテープ３を介して半導体ウェハ２の変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】ガラス容器中の応力曲線に加えて応力層の厚さおよび壁厚の両者を迅速かつ正確に確定するために蛍光発光を使用する、ガラス容器壁中の応力および壁の厚さを測定するための装置および方法が開示される。
【解決手段】本装置および方法を、ガラス容器の全周囲にわたるガラス容器側壁中の応力および側壁の厚さの両者を迅速かつ正確に測定するために使用することができる。本装置および方法は、大規模ガラス容器製造に適合され、ガラス容器の側壁中の応力および側壁の厚さの高速測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】高い精度で光学膜厚及び分光特性の計測が可能な光学式膜厚計及び光学式膜厚計を備えた薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】光学式膜厚計は、投光器１１と、反射ミラー１７と、受光器１９と、分光器２０とから構成されており、測定光の入射方向に対して実基板Ｓの逆側に、測定光の光軸に対してほぼ垂直に反射面を配設された反射ミラー１７を備えている。また実基板Ｓは、測定光の光軸に対して所定の傾き角度を有して配設される。測定光（出射光と反射光）が実基板Ｓを２回透過することになり、透過率（光量）の変化量を大きくすることができ、膜厚測定の制御精度を向上させることができる。また透過位置の違いによる測定誤差の発生を防止することができ、また、測定基板を所定の経路を通って２回透過していない測定光が受光器１９側で検出されることがなくなるため、高い精度で光学膜厚及び分光特性の計測ができる。 （もっと読む）

【課題】被覆膜の厚さと独立して、基板よりも反射率の低い被覆膜付きの基板上に存在するパターンの三次元形状を非破壊で測定することができる三次元形状測定装置を提供することである。
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第１波長の照明光と、前記第１波長と異なる第２波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第１波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第１仮想段差と、前記第２波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第２仮想段差とを測定する光検出器と、前記第１仮想段差と前記第２仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる非球面体が鍔状の平面部を有していない場合でも、面ずれおよび面倒れを高精度に測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた光干渉計測により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の各中心部の形状データを求め、各々の形状データから、第１レンズ面９１の第１臍点Ｐ_１、第１曲率中心および第１軸線の各位置データを第１測定座標系において求めるとともに、第２レンズ面９２の第２臍点Ｐ_２、第２曲率中心および第２軸線の各位置データを第２測定座標系において求める。これらの各位置データと、第１測定座標系および第２測定座標系の相対位置関係とに基づき、非球面レンズ９の面ずれおよび面倒れを求める。 （もっと読む）