【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレートと、これの上に置いたブロックゲージの干渉縞画像を複数得る。複数の画像中、２個の画像において、同一位置の画素間の輝度値の差を得、他の２個の画像の組み合わせについても、同様に輝度値の差を得る。これらの差について画素ごとに総和を取り、その総和の値を輝度に対応させた画像を作る。ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０は、干渉縞が生じないので総和が小さくなり、干渉縞が生じている部分８２は、画像間の輝度の差が大きいので総和は大きくなる。この画像に対し、適切な二値化処理を行い、ベースプレートとブロックゲージの境界部分８０を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】基準部材の基準部と電子回路部品とを撮像して部品保持具による電子回路部品の保持位置の相対的な位置決め誤差を検出し補正する装置を提供する。
【解決手段】基準マークを備えた基準マーク部材を部品吸着具７０の回転軸線のまわりに回転可能に設け、基準マーク部材回転装置１１２により回転させる。基準マーク部材は、部品吸着時には、電子回路部品と干渉せず、部品カメラにより撮像される回転位置に位置させられ、電子回路部品と共に撮像され、基準マークの中心位置等に基づいて吸着具回転軸線の位置を取得し、部品吸着具７０による電子回路部品の保持位置誤差を取得する。撮像後、電子回路部品の姿勢を変更する場合、基準マーク部材が電子回路部品と干渉するのであれば基準マーク部材を回転させ、干渉を回避する。基準マーク部材は、吸着具回転軸線を中心とする円の半径方向，吸着具回転軸線と平行な方向に移動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】起伏を有する被検査物における、前記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求める方法および端部傾斜角に基づいて、各起伏間の起伏厚の差を精度よく検査する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る端部傾斜角測定方法は、上記課題を解決するために、起伏を有する被検査物における、端部傾斜角測定方法であって、上記被検査物に光を照射するステップＡと、上記被検査物の反射光分布を検知するステップＢと、上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップＣと、上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップＡにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップＢにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップＤと、を含む （もっと読む）

【課題】 ノイズに対してロバストであり、信頼性が高い平面を抽出することができる平面抽出方法、その装置、そのプログラム、その記録媒体及び撮像装置を提供する。
【解決手段】 距離画像等の３次元データから平面を抽出するには、先ず、３次元データ群からそれぞれの３次元データに対応する信頼度パラメータを算出し、信頼度パラメータに基づいて３次元データを選別し、選別された３次元データからランダムに１つの基準点と、この基準点から所定の距離内でランダムに他の２点をサンプリングし、３次元データによって決まる１つの平面を示す平面パラメータを複数算出し、得られた複数の平面パラメータを投票空間に投票してこの投票結果に基づき平面を決定する。 （もっと読む）

本発明は、可動弁体（３）を介して油圧式に作動可能な連続往復動する構造部品、特に内燃機関の噴射弁（２）として形成された弁（１）のためのダンパ機構（７、７ａ）であって、復元力（Ｆ）によって付勢された前記可動弁体（３）は作動媒体を通す圧力管路（６）を通じて圧力供給される圧力チャンバ（５）に隣接し、前記ダンパ機構（７、７ａ）は前記圧力管路（６）に配置されているダンパ機構に関する。高い開閉動作速度を保持すると同時に耐久寿命を高めるために、前記ダンパ機構（７、７ａ）は筒部（８、８ａ）内で２つのエンドポジション間を縦方向に摺動し得るバンパ弁体（９、９ａ）を有し、前記バンパ弁体（９、９ａ）には、基本的に前記バンパ弁体（９、９ａ）の長手方向に延びて前記バンパ弁体（９、９ａ）の向かい合う２つの端面側（１２、１３）を互いに流体連通する少なくとも１本のバンパ流路（１１、１１ａ）が配置され、前記バンパ流路（１１、１１ａ）には絞り作用が流れ方向に依存する一方向絞り弁（１４、１４ａ）が配置されるようにすることが提案される。
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【課題】光ファイバにおける所定区間のブリルアンスペクトルのパラメタをより精度良く測定すること。
【解決手段】本発明のブリルアンスペクトル測定装置１は、光ファイバ部１０と、光ファイバ部１０から出力されるブリルアン散乱光のスペクトルを検出する測定器５と、を備える。光ファイバ部１０は、センシングファイバ１１と、センシングファイバ１１に直列接続された接続用ファイバ１２，１３とを含む。所定の温度及び所定の印加歪状態において、センシングファイバ１１のブリルアンスペクトルの中心周波数ν_B1と接続用ファイバ１２，１３のブリルアンスペクトルの中心周波数ν_B1との差は、センシングファイバ１１及び接続用ファイバ１２，１３のブリルアンスペクトルの線幅以上である。 （もっと読む）

【課題】かごが軸線に直交した方向にずれた寸法を測定するエレベータ寸法測定装置を得る。
【解決手段】かご１０の第１の基準点に設けられ昇降路１４の軸線方向にレーザー光４ａを送出し昇降路１４の天面から反射されたレーザー光４ａを受け昇降路１４の軸線上の第１の基準点の位置を測定する軸線方向位置測定部４と、かご１０の第２の基準点に設けられ軸線に対して直交した方向にレーザー光５ａ、６ａを送出し昇降路１４の内壁から反射されたレーザー光５ａ、６ａを受け第２の基準点から内壁までの寸法を測定する奥行方向寸法測定部５および間口方向寸法測定部６と、昇降路１４内に設けられ鉛直方向にレーザー光２ａを送出する鉛直スポットレーザー光装置２と、かご１０に設けられレーザー光２ａを受けた鉛直点の位置を測定する位置検出部７と、鉛直点と第２の基準点との距離を算出するパソコン３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電子部品の位置が誤ってずれていても、電子部品の高さ計測を可能とする、端子高さ計測方法を提供する。
【解決手段】電子部品８にレーザをパルス点灯させたライン光を走査して、光切断法により端子９の高さを計測するための電子部品８の端子高さ計測方法において、レーザの連続点灯により電子部品８の端子９の位置を取得して、その位置情報から端子高さを計測するためのレーザ点灯位置補正を行なう。 （もっと読む）

【課題】
被測定対象物の大型化に伴い、その質量、静電気等の影響により被測定対象物を動かすこと自体が困難となり、強制的な位置決め動作が困難となり、位置決め動作不良が多く発生するようになった。このような位置決め動作不良を低減するために、複雑なシーケンスを持った位置決め機構と動作シーケンスが装置として要求されてきている。
【解決手段】
撮像した画像によるアライメント方式、即ち、物理的に基板等の被測定対象物を位置決めせずに撮像したカメラ画像から被測定対象物（試料）の搭載位置を測定し、観察位置決めの補正するものである。このため、本発明は、撮像装置のヘッド部を位置補正するための微動軸機構と補正制御手段とを備えた。 （もっと読む）

被写体（２８）の三次元マッピング装置（２０）は、被写体（２８）上に第１次スペックルパターンを投影するよう配されたコヒーレント光源（３２）と拡散板（３３）とを有する照明アセンブリ（３０）を有する。単一の画像獲得アセンブリ（３８）は、照明アセンブリに対して相対的に、単一かつ固定の位置および角度から、被写体上の第１次スペックルパターン画像を獲得するように配されている。プロセッサ（２４）は、被写体の三次元マップを導き出すために、単一かつ固定角度で獲得された第１次スペックルパターンの画像を処理するために接続されている。 （もっと読む）

【課題】表面、および裏面が球面形状であるレンズの外形形状を精度良く測定することができるレンズ形状測定装置を提供する。
【解決手段】レンズ形状測定装置１は、載置部３に載置されているレンズ２０のＸ軸、およびＹ軸に対する傾きを算出し、ここで算出した傾きに応じて、レンズ２０をＸ軸、およびＹ軸に対して傾ける補正を行う。レンズ形状測定装置１は、この補正の後、レンズ２０の表面、および裏面を走査し、このレンズ２０の外形形状を測定する。したがって、表面、および裏面が球面形状であるレンズ１０に対する外形形状を精度良く測定できる。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの外形精度には関係なく、正確な検査領域を決定できる液晶パネル検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１２を載置するステージ１８と、液晶パネルの裏面から光を当てる照明装置２０と、照明された液晶パネル１２を撮影するＣＣＤカメラ２２と、撮影した画像からブラックマトリックス３８の内周側を検出し、その検出位置から検出領域を決定し、その検出領域に基づいて液晶パネル１２の割れ、欠け等を検査する制御部２４とよりなる。 （もっと読む）

【課題】光偏向素子の原点位置を高い精度で行うことのできる光ビーム走査装置を提供すること。
【解決手段】光ビーム走査装置１は、光源装置１０と、光源装置１０から出射された光ビームの入射位置により光ビームＬ０の出射方向が変化する光走査領域３６を備えた透過型光偏向ディスク３０と、この透過型光偏向ディスク３０を回転駆動する駆動装置とが構成されている。透過型光偏向ディスク３０には、入射した光ビームＬ０を光走査領域３６とは異なる方向に出射する原点位置検出用出射領域８２が形成され、この原点位置検出用出射領域８２から光ビームが出射される方向には原点位置検出用光検出器８１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】カメラ校正作業を自動化することができるカメラ装置を提供する。
【解決手段】カメラ２００は、基準位置１０１、包囲パターン１０２、中央パターン１０３および角パターン１０４が形成された校正用ボード１００を所定の位置から撮像する。カメラ校正装置３００は、カメラ２００によって撮像された校正用ボード１００の画像を基に、基準位置１０１のスクリーン座標と世界座標との対応付けを行い、これを基にカメラ２００の校正用パラメータを算出し、算出された校正用パラメータにしたがってカメラ２００を校正する。 （もっと読む）

【課題】金属インクによる描画領域を正確に特定可能な画像処理装置等を提供することを課題とする。
【解決手段】画像領域の中から、所定の第１閾値よりも明るい部分、または所定の第２閾値（但し、第２閾値は、第２閾値≦第１閾値となる明度）よりも暗い部分に相当する特徴部分を検出する特徴部分検出手段４１０と、特徴部分を所定のパラメータで膨張させ、重なり合った特徴部分を囲む領域を第１領域として特定する第１領域特定手段４２０と、第１領域を所定のパラメータ分収縮させた領域を第２領域として特定する第２領域特定手段４３０と、第２領域を描画領域として特定する描画領域特定手段４６０と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】多自由度ロボットにおける位置決め誤差補正の精度を良好に維持しつつ、位置決め誤差をリーズナブルに作業効率良く検出することを可能にする。
【解決手段】校正治具５０における各球体セット５３に関する校正用物体情報を予め入力しておき、これらの球体セット５３のうちの１つを基準球体セットとし他の球体セット５３を被測定対象球体セットとする。３次元形状測定装置３０により校正用物体５０における基準球体セットを測定した後、校正用物体情報を用いて各被測定対象球体セットに３次元形状測定装置３０を移動させながら各被測定対象球体セットを測定して各被測定対象球体セットごとに、基準球体セットとの位置決め誤差Ｅ_Ｃｄおよび回転ずれＥ_Ｄを計算して座標補正データＲＤおよび回転ずれ補正関数ＲＧを計算する。そして、ワークＷＫを測定する際、３次元形状測定装置３０の位置決め位置に応じて制御量を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な装置構成で原点復帰時間を短縮できる位置検出装置、スケールおよび位置検出装置の原点復帰方法を提供する。
【解決手段】複数の原点を指標する原点パターン、各原点に対応して複数の近傍点を指標する近傍点パターン、を有するスケール１１を備え、エンコーダヘッド１２の出力に基づいて、可動子１３を目標原点に復帰させる位置検出装置１において、任意の位置にある可動子１３を、いずれか１の近傍点を検出するまで移動させる第１移動手段と、検出した近傍点から対応する原点まで移動させる第２移動手段と、第２移動手段による可動子の移動距離に相当するパルス数と、間隙パルス数記憶手段２２に記憶した間隙パルス数との照合結果に基づいて、目標原点を特定し、原点間パルス数記憶手段２３に記憶された機械原点からの原点間パルス数を参照し、目標原点の原点間パルス数を絶対位置調整用として登録する。 （もっと読む）

【課題】 高速に基板の中心位置を算出することができる安価なアライメント装置および外観検査装置を提供する。
【解決手段】 投光部２２ａおよび２２ｂは基板の周縁部に光を照射する。受光部２３ａおよび２３ｂは、投光部２２ａおよび２２ｂのそれぞれから照射された光を検出する。記憶部４２は、受光部２３ａおよび２３ｂによる検出の結果と基板の位置とが対応付けられた対応情報を記憶する。アライメント制御部４１は、対応情報を用いて基板の中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な調整加工が不要で治具の価格を低価格に抑えることが可能になると共に、作業性に優れた校正用治具を提供する。
【解決手段】 基準球１１３は支柱１１２の上部に固定的に保持されている。基準球１１３は、予め精密に測定された寸法が既知の鋼製の球である。反射板１１４は、この基準球１１３の下方において、基板１１１の表面にネジ止めその他の方法により固定的に形成されている。反射板１１４は、基準球１１３が上方から照明した場合の照明範囲よりも大なる大きさに形成されている。反射板１１４の表面は、その照明光が散乱されるよう、所定の表面粗さＲａを与えられている。 （もっと読む）