【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

【課題】三次元形状測定方法および装置において、例えば、ハレーション等の被測定物の表面の反射特性による反射光のノイズ成分を低減し、被測定物の表面の測定不能域を低減することができるようにする。
【解決手段】三次元形状測定装置１００は、被測定物１にパターン光１２ｂを投影するプロジェクタ２と、パターン光１２ｂが投影された被測定物１を撮像して、被測定物１の表面からの反射光画像を取得するＣＣＤカメラ３と、反射光画像から被測定物１の三次元形状を算出する演算部４と、被測定物１とＣＣＤカメラ３との間に配置された偏光フィルタ９と、プロジェクタ２と被測定物１との間に配置された偏光フィルタ７とを備え、偏光フィルタ７、９は、透過軸の方向を調整可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】交換可能なクロマティックポイントセンサ構成要素の強度補償を提供する。
【解決手段】クロマティックポイントセンサ（ＣＰＳ）の光源および波長検出器サブシステムの非均一応答に補償を提供する方法が提供される。光源からの光は、ＣＰＳ光学ペンを通る測定路を迂回し、迂回光を波長検出器に提供して、検出器のピクセルにわたって分布した未処理強度プロファイルを提供する光路に入力される。結果として生成される未処理強度プロファイル信号のセットが解析されて、未処理強度プロファイル信号内に発生する波長依存強度変動の誤差補償係数のセットが決定される。後に、誤差補償係数を適用して、本発明を使用しない場合にはＣＰＳ距離測定プロファイル信号データのピーク領域内の信号の形状に発生する歪みおよび非対称性を低減することができる。開示される方法は、様々な実施形態において、ＣＰＳ構成要素に強化された精度、ロバスト性、現場でのテスト、および交換可能性を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】固定のセンサに対してテーブルが動作する計測装置において、ワークの形状を正確に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レーザーによるスリット光を照射する光源２１及びスリット光によって生じる光切断線を撮像する撮像部２２を有するセンサ２と、予め設定された計測開始位置に配置されてスリット光を受ける受光表面３１ａにワークＷを把持し、計測開始後に所定動作をするテーブル３１と、撮像部２２の撮像データを位置データに変換してワークの形状を計測する計測部４と、計測部４に対し、受光表面３１ａのずれを検出可能な位置情報を提供するずれ検出部５２と、を備え、計測部４は、位置情報に基づいてずれを検出し、ずれが検出された場合、当該ずれに応じて位置データを補正して、ワークの形状を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置が基準位置からずれている場合であっても、被測定体（例えば、ステージ）の位置を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】いずれか一方が被測定体に設けられるスケール及びセンサを備え、前記スケールを前記センサで読み取ることで前記被測定体の位置を測定する測定装置であって、基準位置からの前記スケールのずれ量を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記基準位置からの前記スケールのずれ量に基づいて、前記スケールを前記センサで読み取ることで測定された前記被測定体の位置を補正する演算部と、を有することを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】測定作業の生産性を向上した３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】ベアボードを測定位置に移送し、ベアボードに第１パターンプロジェクターの格子をＮ回移送させながら第１方向に第１格子パターン照明を照射し、ベアボードに照射された第１格子パターン照明に対応するＮ個の格子パターン映像を撮影し、パッドの第１高さ位相を算出し、ベアボードに第２パターンプロジェクターの格子をＮ回移送させながら第１方向とは異なる第２方向に第２格子パターン照明を照射し、ベアボードに照射された第２格子パターン照明に対応するＮ個の格子パターン映像を撮影し、パッドの第２高さ位相を算出し、算出されたパッドの第１高さ位相及び第２高さ位相を用いて基準面を算出して貯蔵し、ソルダが形成されたパッドを有するボードを測定位置に移送し、同様のプロセスを行うことによって基準面に対する相対的なソルダの高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 広い領域のステレオ撮影に必要な複数のカメラを設置する際に、容易にキャリブレーションを実行する技術を提供する。
【解決手段】 所定の空間領域(50)に対して異なる方向から撮影する二台のカメラと、その二台のカメラの撮影タイミングを制御する撮影制御装置と、前記所定の空間領域内を移動可能な被写体(たとえばラジコンヘリコプタ31)とを備える。 前記被写体(30)は、三次元の位置座標を取得可能なＧＰＳ装置(32)を搭載し、 前記撮影制御装置は、所定の空間領域(50)内の被写体(30)を前記二台のカメラ(11L,11R)にて撮影して画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】センサの設置が簡単であるとともに、伸び量の測定精度を高めることができるリンクコンベアチェーンの伸び測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】センタリンク２とサイドリンク３とが交互に連結されたリンクコンベアチェーン１の伸び測定装置１０であって、センタリンク２の特定部位を検出する基準センサ２０と、この基準センサ２０が特定部位を検出したときに、前後に配置された二体のセンタリンク２，２に一方から光を照射し、二体のセンタリンク２，２の間から他方に通過した光を受光する幅センサ３０と、予め設定された基準の受光量と幅センサ３０が検出した受光量との誤差量を算出する制御装置４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】カメラを簡単に校正することができるカメラ校正装置を提供する。
【解決手段】 校正対象のカメラ１０２を使って参照点の幾何情報が既知である参照物体を撮影して取得した画像において所定の２次元座標系を設定し、用意された参照点の２次元座標値を抽出する参照点調整部１０４および参照点測定部１０５を設け、参照物体調整部１０４によって、前記得られた参照点の中で、一部の参照点が特定の幾何拘束条件を満足するまで参照物体の姿勢または位置を調整し、前記調整された参照物体に対して、参照物体上の全ての参照点の３次元点が画像上の２次元座標系へ射影するときの透視投影条件から導出された計算に従って、参照点の幾何情報と２次元座標上で得た参照点の座標値から、前記カメラ１０２の内部情報または外部情報を校正するカメラ校正処理部１０６を設ける。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両用車輪の踏面部及びフランジ部の形状や、車輪直径、フランジ高さ、フランジ厚さ、左右車輪間隔の距離等の車輪寸法を迅速、正確に計測する車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車両が走行する線路近傍に、車輪が計測位置に到達したことを検出する車輪計測位置検出センサー、該センサーの信号をトリガーとし車輪の内側からフランジ部と基準溝に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う内側面レーザー変位計及び前記センサーの信号をトリガーとし車輪の外側から踏面部とフランジ部に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う踏面レーザー変位計を設けると共に、前記２つのレーザー変位計により形状測定されたデータを受信し補正処理を行い記録保存する計算機部を有してなる車輪形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カメラの自動キャリブレーション装置及び自動キャリブレーション方法に係り、カメラの位置や向きのズレに起因する撮影画像の画像処理時の計測誤差の発生を防止することにある。
【解決手段】撮影対象として所定基準面を基準にして面対称な特徴点の組を複数有する面対称物体を含むカメラの撮影画像から、面対称物体の面対称特徴点の少なくとも２組を抽出し、その抽出される面対称物体の面対称特徴点の少なくとも２組に基づいて、所定基準面を特定する基準面パラメータ、及び、該面対称物体の面対称特徴点の少なくとも２組を含む面対称構成平面を特定する構成面パラメータを導出する。そして、その導出される基準面パラメータ及び構成面パラメータに基づいて、撮影対象とカメラとの座標系の対応を示す回転パラメータ及び並進パラメータを更新する。 （もっと読む）

【課題】
高精度な変位測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定物１の変位量を測定する変位測定装置１００であって、ベース２までの距離に基づいて第一の原点位置を検出する測距センサー５と、被測定物１までの距離に基づいて第二の原点位置を検出する測距センサー６と、測距センサー５、６を搭載して測距センサー５、６の測距方向に移動するステージ４と、測距センサー５、６を移動させて検出された第一の原点位置及び第二の原点位置を利用して、ベース２に対する被測定物１の変位量を測定するコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の原点の検出に関して、光源からの光の波長が変化した場合にも（実環境においても）高い再現性を実現できる。
【解決手段】第１の波長の第１光源からの光による第１の干渉信号と第２の波長の第２光源からの光による第２の干渉信号との位相差が０となる位置を原点とする干渉計の調整方法であって、前記第１の波長がλ１、前記第２の波長がλ２である場合における原点に対する前記第２の干渉信号の振幅が最大となる位置の相対位置Ｄを求めて、パラメータの値ＰをＰ＝Ｄ／λ２（λ２−λ１）の式に従って算出し、このパラメータの値Ｐに基づいて、前記第１の波長がλ１からλ１’、前記第２の波長がλ２からλ２’に変化した場合における前記原点の移動量ＢをＢ＝Ｐ・（λ１’・λ２’−λ１・λ２）の式に従って算出し、この原点の移動量Ｂに基づいて、前記第１の波長がλ１’、前記第２の波長がλ２’である場合における原点を決定する調整方法。 （もっと読む）

【課題】可変コンデンサの動作制御の基準となる前記コンデンサのシャフト回転の原点を正確に且つコンデンサにストレスを与えることなく検出する。
【解決手段】可変コンデンサのシャフト回転の原点出し指令時に前記シャフトを回転させるモータを逆転させて限界位置まで前記モータを停止させ、正転指令時に前記モータを前記逆転時よりも低速で正転させて前記シャフトと同期回転するスリット板のスリットの幅を光照射式の検出手段によって検出し、この検出された幅に基づく位置を前記シャフト回転の原点として検出する。前記原点出し指令時には前記モータのトルクは原点出しに必要なトルクよりも大きい始動トルクが検出されてから前記原点出しに必要なトルクに切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】ツール位置やロボットと対象物との相対位置を簡単かつ高精度に検出する。
【解決手段】ロボット２のアーム７先端のツール取付部７ｅに球面部８ａを有するツール８を取り付け、ツール取付部７ｅから球面部８ａの中心までのツールベクトルの成分に未知数を設定し、球面部８ａを平板１６に対してツール８の姿勢を変えて少なくとも未知数の数と同じ回数当接させ、その当接時のロボット２のアーム７の関節角度に基づいて当接時のツール取付部７ｅの位置をそれぞれ求め、特定の座標系において、平板１６のＺ位置と球面部８ａの曲率半径Rcとの和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置が、ツール取付部７ｅのＺ位置とツールベクトルのＺ成分との和から得られる球面部８ａの中心のＺ位置に等しいことを意味する連立方程式を少なくとも未知数の数と同じ回数連立させ、その連立方程式を解くことでツールベクトルの成分を求める。 （もっと読む）

【課題】飛行体に装着された映像獲得カメラで撮影された単一映像情報から地上制御点を計算して姿勢角センサーの三次元誤整列情報を定量的に抽出して補正する単一映像を利用した姿勢角センサー三次元誤整列補正方法に関する。
【解決手段】地上制御点基準ベクターの計算段階と、映像情報を利用した地上制御点観測ベクターの計算段階と、計算された前記地上制御点基準ベクターと前記地上制御点観測ベクターを利用した姿勢誤差行列計算段階と、前記姿勢誤差行列計算値を利用した姿勢角センサー誤整列の補正段階とを含んで成り立つ。 （もっと読む）

【課題】参照点等を与えることなく、３次元物体の位置（撮影したカメラから３次元物体の予め定められた点までの距離）を高精度に検出することを可能とした３次元物体姿勢・位置検出装置を提供することである。
【解決手段】提案する３次元物体姿勢・距離位置装置では、２次元画像の対象物中心点の位置を、その２次元画像と、その２次元画像の姿勢に加えた組み合わせとして作成した辞書データを記憶装置８内に有するために、事前に参照点や図形を辞書データの各２次元画像に入力することなく、また、ステレオカメラ１６−１、１６−２を用いることにより、認識対象の３次元姿勢および対象物中心点までの距離を容易に認識することができる。 （もっと読む）

【課題】画像を撮像する複数の撮像装置の光軸のずれを検出する光軸検出装置において、撮像装置の光軸方向のずれを効率よく検出できるようにすることを目的とする。
【解決手段】撮像装置の前方に配置された複数種類のターゲットを認識する認識手段と、上記ターゲットを認識した位置に基づいて光軸のずれを検出する検出手段と、を備え、上記認識手段は、上記撮像装置で撮像した撮像画像の画素のうちから、上記撮像画像の一部の画素集合を選択し、当該一部の画素集合内の画素の輝度に関する所定の和算および減算からなる演算に基づいて、当該演算の結果が最大値または最小値となる上記画素集合を探索する探索手段を複数種類備え、上記探索手段が探索した上記最大値または最小値に基づいて、上記ターゲットを認識する。 （もっと読む）

【課題】基板アライメント装置が緊急停止した場合に、マーク保持部が基板及び基板保持部と衝突することを防止する。
【解決手段】上ステージ部と下ステージ部とにより互いに面方向に相対移動されて位置合せされる一対のウエハに設けられたアライメントマークを撮像する上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との視野内に、上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０とにより撮像される上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との相対位置検出用の基準マーク１４６を出し入れする基準マーク移動装置１００であって、基準マーク１４６を保持するボード１４４と、ボード１４４におけるマーク形成部分をウエハ及びウエハホルダの移動通路に出入りさせると共に、駆動が停止された場合に、ボード１４４の全体を移動通路の外部へ退避させる昇降装置１０２と、を備える。 （もっと読む）