【課題】傾きセンサの高感度化と小型化を実現した上で、光利用効率を向上させる。
【解決手段】本発明は、所定の基準面に対する対象物（例えば光ディスク）５の傾きを検出する傾きセンサであり、対象物５に照射する光を発する光源１と、光源１からの光を取り込むカップリングレンズ２と、対象物５で反射された光束を収束光に変換する検出レンズ７と、対象物５で反射された光束を光検出器に導く光学素子１６と、対象物５で反射された光束を受光し光電変換信号を出力する光検出器８ａ，８ｂとを備えた傾きセンサにおいて、対象物５に照射する光束は収束光であり、前記光学素子１６は、対象物５で反射された光束を複数の光束に分割する光学素子であることを特徴としており、収束光を測定対象物に照射することで、光源からの光を無駄にせずに、効率よく照射することができので、信号光量を大きくでき、感度良くチルト検出することができる。 （もっと読む）

【解決課題】
投影光学系の波面収差を測定する際に、機械的な振動のために集光点が変動することに起因する誤差を低減する、高輝度ではあるが低ＮＡである光源を波面収差測定に整合させる、非テレセントリックな光学系に対して主光線を整合させる、ことを目的とする。
【解決手段】
集光光束の状態を検出して集光点を制御する、開口数調整ピンホールを配置する、集光光学系中で集光光束を軸はずしとする手段をとる。
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【課題】物体の表面形状を測定する方法を提供する。
【解決手段】表面形状を決定するためのシステム及び方法は、測定光に分散を生じさせる色結像光学系を含む。物体の表面に異なる入射方向から入射する、異なる波長の測定光を生成し、検査される表面から出て、検出器により受け取られる測定光に含まれる色情報から、検査される表面の形状を決定する。 （もっと読む）

【課題】被検物体の反射光の光量を撮像素子の検出範囲内に調整することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で複数の色光に色分解し、複数の色光の光路にそれぞれ配置された調光手段で光強度を調整する。調光手段で調光された複数の色光は色合成光学系で色合成された後、被検物に照明される。被検物で反射された光の一部は、反射光検出器で複数の色光毎に光強度が検出され、残りの反射光は、撮像部で被検物の反射像が撮像される。反射光検出器で検出された複数の色光の各色光の強度が、所定の値になるように調光手段は制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】 省スペース化、装置レイアウトの簡素化を容易であって、無端移動部材に設けられるマーク部材上の所定箇所の位置やマーク部材を備える無端移動部材上の所定箇所の位置を正確に検知することである。
【解決手段】 光反射特性又は光透過特性が互いに異なるマーク部分と非マーク部分とが所定間隔で交互に連続して構成されており、複数あるマーク部分のうちの一部及び複数ある非マーク部分のうちの一部の少なくとも一方に代えて、該マーク部分及び該非マーク部分のいずれとも光反射特性又は光透過特性が異なる特定マーク部分が設けられている。これらの部分は、受光した光特性又は受光量の違いを区別して検知できるマーク検知手段によって、それぞれ個別に検知できる。 （もっと読む）

【課題】 位置誤差の発生が防止出来る平面モータを実現する。
【解決手段】 複数のスライダーとプラテンに設けられた半導体レーザー光源で干渉計を構成し前記スライダーの位置を検出する平面モータにおいて、
複数のスライダーの位置検出の干渉計に使用される一つの半導体レーザー光源を具備したことを特徴とする平面モータである。 （もっと読む）

【課題】スキャニングミラーの動的変形のその場測定値を用いることで、その変形に伴う走査光品質の低下を抑えられる光走査装置を提供する。
【解決手段】光走査装置において、パルス光源からの光を分割して、一方の光を前記スキャニングミラーに照射してその反射光を物体光とし、他方の光を参照光として、前記物体光と前記参照光とを干渉させて干渉縞を取得する手段を有すること、前記干渉縞を時間的、または空間的に変調するための干渉縞変調手段を有すること、前記スキャニングミラーの動作と前記パルス光源発光とのタイミングを調整する手段を有すること、前記干渉縞からスキャニングミラー動作中の表面形状を求める演算器を有すること、前記演算器から出力される表面形状測定値に基づき、被測定物の形状に起因する前記被走査面上での光像の精度劣化を補正する補正手段を有すること。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の配置の自由度を向上させることのできる光センサを得る。
【解決手段】 演算装置は、受光素子１４，１６の光の入射角度−出力特性を示す角度出力関数及び光の入射強度−出力特性を示す強度出力関数に基づいて、受光素子１４，１６の出力から光伝播角度θ及び光強度Ｌを算出する。また、受光素子１４と受光素子１６の中間位置に角度出力関数及び強度出力関数が受光素子１４（受光素子１６でも可）と等しい仮想受光素子１７を仮想的に形成すると共に、光伝播角度θ及び光強度Ｌから仮想受光素子１７の出力Ｉ_p＝ｆ（Ｌ）×ｇ（θ）を算出する。演算装置において仮想受光素子１７を仮想的に形成するため、仮想受光素子１７の配置位置が他の部材の搭載場所である場合や悪環境下の場所であっても、そのような場所に仮想受光素子１７を配置することができるので、受光素子配置の自由度を向上させることができる。 （もっと読む）

干渉法を用いて被測定光デバイス（ＤＵＴ）を測定する。ＤＵＴは光ファイバ、光部品、或いは光システムを１つ以上含むものである。ＤＵＴに対する第１の干渉パターンのデータがＤＵＴへの第１の経路に対して得られる。ＤＵＴに対する第２の干渉パターンのデータがＤＵＴへの第２のやや長い経路に対して得られる。この長いほうの長さのゆえに、第２の干渉パターンのデータは第１の干渉パターンのデータから時間的に遅れる。次に、ＤＵＴ干渉パターンデータの時間変化する成分は第１および第２の干渉パターンデータから特定される。特定された時間変化成分は振動などによって生じた時間変化する位相を補償するために、第１または第２の干渉パターンデータを修正する目的で用いられる。そこで、ＤＵＴの１つ以上の光学的特性が修正された干渉パターンデータに基づいて決定される。
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【課題】
レーザ光源からの光束で物体表面を照射し、その反射光を用いて物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める際、傷やスペックルなどによる散乱光の影響を抑制しオートフォーカスの精度と応答性を高め、オートフォーカス可能レンジを拡げる。
【解決手段】
レーザ光源２からの光束でレンズ３、シリンドリカルレンズ２２、ビームスプリッタ４、対物レンズ５を介して対物レンズ５の焦点位置近傍に設置される物体６表面を照明する。この照明光はシリンドリカルレンズ２２の作用によって、物体表面上でピントがあったときに円形状のボケ状となる。このボケ状照明光で得られた物体表面からの反射光を対物レンズ５、ビームスプリッタ４、結像レンズ７を経て物体表面と共役位置にある受光部８に投影する。受光部８はこの投影像を受光し、演算部にそれを伝えて物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める。

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【課題】正確で再現性があり従って計測可能で予測性のある結果が得られ、人間の視覚では見つけることができない単独微細粒子を検出できる漏出粒子検出システムを提供する。
【解決手段】面１７上の清浄部分によって反射された平行光の量及びその面１７上にある粒子によって反射された平行光の量を計測することによって、略平滑面１７上の漏出粒子を検出する方法及び装置であり、この方法及び装置においてはＤＶＤ用やＣＤ用のそれと同様の光ピックアップ１０を使用できる。これにより窪み欠陥も検出できる。 （もっと読む）

【課題】被測定対象面に対する照明領域を広くし、面外変位の測定領域を拡大し、かつアライメントずれに影響を受けない位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、光源(101)からの光束より平行光束を形成し、該平行光束から前記ビームスプリッタで得られる分離光束が基準面(122)及び測定対象面(121)のそれぞれに斜めに入射するように、該平行光束をビームスプリッタ(113)に供給する入射ユニット(111,112)と、基準面及び測定対象面で反射され、ビームスプリッタ(113)によって光路が統一された分離光束を、当該光路に沿ってビームスプリッタ(113)へ平行光束として供給するべく反射する反射ユニット(112,114)とを有し、反射ユニットから供給され、ビームスプリッタ(113)にて分離され、基準面及び測定対象面で反射され、ビームスプリッタ(113)で再び光路が統一された光束を干渉させ、分離光束の位相差に対応した信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】 低コスト且つ誤謬の少ない欠陥探索並びにその型分類を自動的に行なう基板検査装置とその方法、特にマスク・レチクル等の基板に於いて欠陥粒子及び設計者の意図とは異なる欠陥図形を探索発見する自動検査と、それ等欠陥の型の自動分類とを行なう基板検査装置及びその自動検査方法を提供する。
【解決手段】 光ビームを発生し、その光ビームをして一定の光路を通過せしめ検査基板の上の表面にほぼ実質的に直角入射するようにする照明系、その光路に対して同軸になるように調整して透過光を集めて検出する透過光検出器３４、同様に反射光を集めて検出する反射光検出器３６とそれぞれの電気信号を互いに比較して比較値を提供する為の比較器、別にその比較値の期待値を得て比較値とその期待値との一致性を判定するプロセッサにて構成する。 （もっと読む）

【課題】
レーザを光源とした光学系で物体表面を照射し、その反射光を用いて物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める際、スペックル等の散乱光を抑制しオートフォーカスの精度を高める。
【解決手段】
レーザ光源２からの光束をレンズ３、多孔フイルタ２１、ビームスプリッタ４、対物レンズ５などによる光学系を介してその焦点位置近傍に設置される物体６表面を照明する。前記多孔フイルタ２１には複数の孔２２を設け、光源２からの光束がこの孔２２を通過するとき回析現象を起こし、発生した回析パターンで前記物体表面を多点に分散して照明する。この回析パターンによって分散照明された物体表面からの反射光を、発生するであろう散乱光と共に対物レンズ５、ビームスプリッタ４、シリンドリカルレンズ９、結像レンズ７を経て受光部８に投影する。受光部８はこの測定光を受けて演算部に信号を送り、物体表面位置に対する対物レンズの焦点位置を求める。

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【課題】本発明は、距離の測定のために適切でありかつ走査方向に互いに一定の間隔をあけている複数の距離センサを有し、表面（１１）から間隔をあけてこの表面に亘って走査方向（Ｒ）に移動されることができるセンサヘッド（１３）と、表面（１１）の複数の点が連続的な走査ステップで複数の距離センサによって検出されてなる走査ステップで、センサヘッド（１３）を移動させる移動手段と、複数の距離センサからの出力信号が供給される評価手段とを具備する測定装置に関する。
【解決手段】走査方向（Ｒ）に対するセンサヘッド（１３）の角度値を決定し、かつこの角度値を評価手段に送るための角度測定手段（１４，１５）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）