【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源１からの出発ビーム２を測定ビーム３と第１の参照ビーム４ａとに分割するビームスプリッタ５ａと、光の重ね合わせ手段と、第１の検出器８ａとを備える。重ね合わせ手段と第１の検出器８ａとは互いに連携する。物体７によって反射された測定ビームと第１の参照ビームとが第１の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ５ａは、出発ビーム２を測定ビーム３と、第１の参照ビーム４ａと、少なくとも第２の参照ビーム４ｂとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第２の検出器８ｂが備えられ、物体７によって散乱させられた第１の受信ビーム４ｂ’としての測定ビームと第２の参照ビーム４ｂとが第２の検出器８ｂの検出面で重ね合わされる。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも１つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 （もっと読む）

【課題】光の左右比の検出精度の低下が抑制された光センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板（１０）に受光素子（２０）が形成され、受光素子（２０）の形成面（１０ａ）上に、透光膜（３０）を介して遮光膜（４０）が形成され、遮光膜（４０）に透光用の開口部（５０）が形成された光センサであって、仮想直線（ＶＬ）を介して線対称の関係にある一対の受光素子（２１，２２）及び一対の開口部（５１，５２）を有し、形成面（１０ａ）に直交する高さ方向に沿う光を、開口部（５１，５２）を介して受光素子（２１，２２）に照射した際に、一対の受光素子（２１，２２）から出力される出力信号に基づいて、高さ方向に沿う光が開口部（５１，５２）を介して受光素子（２１，２２）に入射した際に出力される一対の受光素子（２１，２２）の出力信号が互いに一致するように、各出力信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】人の接近を高精度に判定することができる人体検知装置等を提供する。
【解決手段】それぞれ一対の正負電極１０ａ，１０ｂ，２０ａ，２０ｂを有する第１及び第２の焦電型センサ１０，２０と、各焦電型センサを被覆するレンズ３を備える。垂直状被取付面５１に対して直交する面からなる検知エリア６において、第１の焦電型センサの正負電極に対応する第１の正極視野１００ａと負極視野１００ｂ、第２の焦電型センサの正負電極に対応する第２の正極視野２００ａと負極視野２００ｂを含む検知ブロック３００、３０１が、第１の正極視野と負極視野を結ぶ仮想線１００ｃまたはその延長線と、第２の正極視野と負極視野を結ぶ仮想線２００ｃまたはその延長線が交差する態様で形成されている。交点から被取付面５１への垂線について、各仮想線同士が線対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】投影面傾き計測装置、プロジェクタを小型化する。
【解決手段】投影面傾き計測装置１１は、投光ユニットと、入射角センサと、を備える。入射角センサは、水平方向、垂直方向にそれぞれ、２つずつ配置される。投光ユニットは、スクリーンＳ上の水平方向、垂直方向に、それぞれ、設定された２つの測距点に光を投光して投光スポットを形成する。入射角センサは、投光スポットからの反射光を受光して、その入射角を検出する。この入射角センサは、２分割受光素子からなり、２つの受光素子に入射した光の受光割合に基づいて、反射光の入射角を検出する。このような構成により、位相センサで必須のレンズが不要となり、レンズの焦点距離を確保する必要もないので、小型化も可能となる。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】 透光性板状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス板Ｇの表面及び裏面で反射させて、反射光をラインセンサ５５に導いてガラス板Ｇの厚さを測定する。測定用レーザ光は、Ｙ軸線回りに回転可能なガルバノミラー４５及びＸ軸線周りに回転可能なガルバノミラー５１を介してガラス板Ｇに照射される。サーボ用レーザ光も、ガルバノミラー４５，５１を介してガラス板Ｇに照射され、反射光はガルバノミラー４５，５１を介して４分割フォトディテクタ６６に導かれる。４分割フォトディテクタ６６により、ガラス板Ｇの表面のＸ軸及びＹ軸線回りの傾きが検出され、この傾きに応じてガルバノミラー４５，５１を駆動するサーボ制御により、測定用レーザ光をガラス板Ｇに対して常に一定方向から入射させる。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】光学素子の傾き精度の影響を受けず、構成が簡単かつ小型化が可能であって、回折格子の面方向の位置ずれに対しても影響が小さく、光学分解能の調整が可能な変位計測を行う。
【解決手段】レーザ光源１２からのレーザ光１３を、コリメータレンズ１４によって平行光１５とし、第１の回折格子１６を通過させて半透過半反射ミラー２２まで進行させ、一部を反射させて第１の回折格子１６を通過する第１の戻り光Ｌrev１とする。平行光１５の残りは全反射ミラー２４まで進行して反射され、半透過半反射ミラー２２と第１の回折格子１６を通過する第２の戻り光Ｌrev２となる。第１の回折格子１６による第１，第２の戻り光Ｌrev１，Ｌrev２の所定次数の回折光を、第１の光センサ２８で光量検出し、半透過半反射ミラー２２に対する全反射ミラー２４の軸方向の相対的移動量に対応する干渉縞もしくはその信号から変位量を得る。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ容易にワークの変位量を検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】非接触変位計測装置は、ワーク１２を載置可能に構成された測定テーブル１３と、ワーク１２の変位量を計測する第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃと、Ｙ軸に沿って測定テーブル１３から相対移動可能に構成され、Ｚ軸方向に広がり且つＸ軸方向の測定テーブル１３の両端に端部を有するゲート形状を有する第１ゲート状駆動部１４Ａとを備える。第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃは、ワーク１２に光を照射すると共にその光に基づく反射光を受光し且つその反射光に基づきワーク１２の変位量を計測する。第１ゲート状駆動部１４Ａは、ワーク１２に対して少なくとも２方向からの光を照射させるように第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃを配置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】クロマティックコンフォーカル変位計の高分解能且つ高速応答化及び小型化を可能とする。
【解決手段】対物レンズ１２に対し、測定対象（８）と反対側の共焦点に広帯域光源２２を配置し、測定対象からの反射光が戻るときの共焦点位置に空間フィルタを設けて透過させ、測定対象に合焦した波長の被測定光を抽出し、該被測定光の波長を特定することにより、測定対象の位置を測定する光学式変位計において、コリメートされて一方向に伝播される被測定光を、その伝播方向Ｚと直交する２方向のＸ、Ｙの直線偏光に分ける偏光子５２と、該２方向の直線偏光を通過させて、光波長に応じた位相差を持つ楕円偏光とする波長板５４と、該楕円偏光を、ＸＹ間の２つの方向の偏光成分に分ける偏光分離素子５６と、各偏光成分の光量を検出する受光素子５８Ａ、５８Ｂとを備え、該受光素子で検出した光量信号Ａ、Ｂを用いて、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）の演算を行う。 （もっと読む）

【課題】 可動部に傾きが生じても、細かい干渉縞の発生を防止することが可能な変位計測装置を提案する。
【解決手段】 変位計測装置１は、第一のベース２と、第一のベース２に対して可動に設置された第二のベース３と、を有している。第一のベース２には、光源４と、光源４から照射される光を測定光と基準光とに分岐するビームスプリッタ５と、ビームスプリッタ５からの基準光を第一の反射板６の方に向けて反射する第三の反射板８と、第一の反射板６で反射された基準光と第二の反射板７で反射された測定光との干渉光を検出する光検出器９およびλ／４波長板１０が設けられている。第二のベース３には、反射面が第二の反射板７の反射面と平行に設置されている第一の反射板６およびビームスプリッタ５からの測定光を反射する第二の反射板７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】遠距離範囲の検出分解能を落とさずに、不感帯の範囲を縮小することができる反射型光電センサを提供する。
【解決手段】投光レンズ１と、前方に光を射出する遠距離用投光素子２と、受光レンズ３と、前方から入射する光を受光する受光素子４と、前方に光を射出する近距離用投光素子７とをセンサボディ６内に備え、投光レンズ１の焦点に遠距離用投光素子２を配置し、受光レンズ３の焦点に受光素子４を配置し、投光レンズ１および遠距離用投光素子２の組みと受光レンズ３および受光素子４の組みとの間に、近距離用投光素子７が設けられる反射型光電センサにおいて、受光レンズ３の焦点距離が投光レンズ１の焦点距離よりも短く、受光レンズ３の前面が投光レンズ１の前面および近距離用投光素子７の前面より後方に配置され、カバー６１ａをカバー６１ｂよりも後方に配置して、空間６３ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】測定面からの反射光の光量に影響されることなく、安定したオートフォーカスができるフォーカシング制御装置を提供する。
【解決手段】フォーカスエラー信号Ｓは、ピンホール方式で生成される。信号生成部９からの出力がフォーカスエラー信号Ｓか否かの判断では、初めにデフォルトのしきい値として第１しきい値Ｎ１および第２しきい値Ｎ２が用いられる。この判断でフォーカスエラー信号Ｓと判断されない場合は、第１しきい値Ｎ１を第３しきい値Ｎ３に、第２しきい値Ｎ２を第４しきい値Ｎ４に補正して再度フォーカスエラー信号Ｓの判断をする前に、信号生成部９からの出力の波形を評価する。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】高速，かつ高精度に試料上の微小突起物の高さ検査を行えるようにする。
【解決手段】光源201からの光は第１のハーフミラー221、偏光器202、結像レンズ203,204、折り返しミラー205、対物レンズ206を介して試料2001に入射する。試料2001からの反射光は同一の経路を逆に通り、第１のハーフミラー221で反射し、第２のハーフミラー222で2本の検出ビームに分割される。2本の検出ビームは各々第１の検出側結像レンズ2081における第１のナイフエッジ2071と第２の検出側結像レンズ2082における第２のナイフエッジ2072によって半円状の光ビームに整形され、各々第１の光センサ2101と第２の光センサ2102によって検出される。第１のナイフエッジ2071と第２のナイフエッジ2072は直角方向となっているので、試料2001への入射ビームの偏向方向によらず均一な感度で，試料上の微小突起物の検査を高速で行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】受光素子のオフセット電圧の影響を低減して、高精度で試料表面の高さ測定を行うことのできる方法と、高精度で試料表面の高さ測定を行うことにより、試料の所望の位置に描画することのできる荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】高さ測定部４０からの信号は、信号処理部６０を経て、高さデータ処理部７０に送られる。次いで、オフセット電圧値除去部７１において、測定値からオフセット値メモリ部８０に登録されたオフセット値を差し引いた値を用いて、マスク２の表面の高さデータＺ_１が作成される。その後、高さ補正部７２において、高さデータＺ_１に対して所定の補正を行い、マスク２の表面の高さデータＺ_２を得る。 （もっと読む）

【課題】気体や液体等の媒体中を、略一定速度で移動する粒子サイズを簡易な構成且つ簡易な演算処理で検出する。
【解決手段】液滴の移動速度Ｕを検出し、液滴の飛翔方向の幅が所定幅Ｌである孔４４ａ，４４ｂを備え、これらの孔の有効視野において液滴の占める面積情報を所定時間置きに複数回取得し、取得した面積情報Ａ１〜Ａｎを取得回数ｎで平均化し、複数回取得に要した総時間Ｔを、液滴が上記所定幅Ｌを移動するのに要する時間Ｌ／Ｕで除算して、取得回数ｎを正規化した正規化枚数Ｎを得て、平均面積情報Ｂと正規化された取得回数Ｎとの積を実粒子面積Ｓとし、実粒子面積を１．５乗して実粒子体積Ｖを得る。 （もっと読む）