サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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【課題】 温度補正の精度が高いＦＢＧセンサ用光ケーブルを提供する。
【解決手段】 測定対象物に沿って布設されるセンサ用光ファイバ４２に、測定対象物の変位を検出するためのセンサ用ＦＢＧ４４を書き込んだＦＢＧセンサ用光ケーブル１において、センサ用光ファイバ４２に沿って温度補正用光ファイバ２を設け、その温度補正用光ファイバ２に、センサ用ＦＢＧ４４を温度補正するための温度補正用ＦＢＧ３を、センサ用ＦＢＧ４４と同じ位置に書き込んだものである。 （もっと読む）

土木構造物での変形の位置を特定し測定するための工程において、平行で、信号の伝達可能な、複数の光ファイバ（２ａ乃至２ｅ）を有する、少なくとも１つのジオシンセティックな繊維（１）が、構造物に、もしくは構造物の下に適用され、光ファイバは、均等に離間され、同じ波長に対応するＮ１個の連続したグレーティングからなるシリーズ（４）に分布するブラッググレーティング（３）を有し、シリーズは、それら自身同一の複数のセットの中に配置され、これらセットの各々は、異なる波長に対応するＮ２個の連続したシリーズを有するということと、少なくとも２つの光ファイバで、１つのシリーズ（４）におけるグレーティングの数Ｎ１と、１つのセット（５）におけるシリーズの数Ｎ２とは、光ファイバの各々に伝達される入射光の波長とブラッググレーティングにより反射される光の波長との間の違いを測定することにより特徴付けられる工程に関する。
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【課題】例えば欠陥を探しての試料の検査のあいだ、試料を照射する方法および装置を提供する。
【解決手段】ある局面において、照射装置は、それぞれ第１端および第２端を有する光ファイバの束を含む。照射装置は、１つ以上の入射ビームを、光ファイバの１つ以上の対応する第１端に選択的に伝達することによって、選択された１つ以上の入射ビームがファイバの１つ以上の対応する第２端から出力されるようにする照射セレクタをさらに含む。照射装置は、ファイバの対応する１つ以上の第２端から出力された選択された１つ以上の入射ビームを受け取り、選択された１つ以上の入射ビームを試料に向けて導くレンズ構成も含む。レンズ構成およびファイバは、ファイバの第２端において試料の画像化平面を画像化するよう互いに対して構成される。ある局面において、入射ビームはレーザビームである。本発明の具体的な応用例において、試料は、半導体デバイス、半導体ウェーハ、および半導体レチクルからなるグループから選択される。 （もっと読む）

【解決手段】 対象物のデジタル画像は、隠され、遮られ、又は視認できない対象物の部分の表示を含んでいる。画像は、歯群の多次元の視覚的表示である。歯群とその表面、輪郭及び形状の特性が判定及び／又は分析される。光は、歯群に向けて送られ、そこから反射される。反射光は基準光と組み合わせられ、歯肉下組織のような隠された領域を含む歯群の特性が判定される。 （もっと読む）