【課題】 液滴の体積測定または液滴の形状測定を容易にすること。
【解決手段】 照射部と光検出器との間のビーム束の光路上の所定部において、第１方向および第２方向の双方にほぼ垂直な第３方向への速度成分を有する被計測物がビーム束を通過する。ここで、前記所定部において、ビーム束を構成する複数の光ビームのそれぞれの前記第３方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第３方向に沿った幅以下である。また、前記所定部において、前記ビーム束の第１方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第１方向に沿った幅以上である。そして、前記所定部において、互いに隣合う任意の２つの前記光ビーム間の間隔は前記被計測物の前記第１方向に沿った前記幅以下である。 （もっと読む）

【課題】 安価で且つ光の照射範囲も広くした電子部品の位置認識ができるようにすること。
【解決手段】 中空円筒形状の照明部２２に隣り合う光ファイバー束２５Ａが交差するように所定間隔を存して配設された一対のものを合計２０対４０個の光ファイバー束２５Ａを配設し、各光ファイバー束２５Ａをその光線の照射範囲の開口角内に照明部２２の中心Ｃを含むように、且つその光線の主軸Ｓが前記照明部の中心Ｃを避けるように配設することにより均一の光の照射空間が円Ｅ内と大きくなる。従って、大きな電子部品Ｄでも光をムラ無く照射できることとなる。
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【課題】検知可能な位置を飛躍的に拡張でき、しかも比較的安価で高い安定性を有して侵入を検知する。
【解決手段】光ファイバー１０Ａ，１０Ｂの長さ方向に一定間隔でファイバーガラスの屈折率が異なる複数種類のＦＢＧ（グレーティング部）を設け、両光ファイバーの同じ位置のＦＢＧの反射波長が異なる組み合わせとして検知対象範囲に沿って敷設し、光信号発生器１１からの光入力に対して各ＦＢＧからの波長λ１〜λ８の反射波をハーフミラー１２Ａ，１２Ｂで導出し、波長シフト検出器１５Ａ，１５Ｂで波長シフトが生じた各ＦＢＧ位置をタイミングパルスとして検出し、論理和演算部１７で論理和を得、侵入位置判定部１８で当該ＦＢＧの反射波長の違いの組み合わせから侵入位置を検知する。 （もっと読む）

【課題】検査ワークの欠陥を正しく検出する。
【解決手段】Ｘ−Ｙテーブル２は、検査ワーク１の第１、第２の撮像領域の線方向と直角のＹ方向に移動する。照明装置４ａ，４ｂは第１の撮像領域に光ビームを照射し、照明装置４ｃ，４ｄは第２の撮像領域に光ビームを照射する。第１のラインセンサカメラ３ａは第１の撮像領域を撮像し、第２のラインセンサカメラ３ｂは第２の撮像領域を撮像する。第１の撮像領域は、検査ワーク１の基材面に設定され、第２の撮像領域は、検査ワーク１の導体の上面に設定される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハあるいはペレット上の欠陥を高速で確実に検出することができる半導体外観検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体外観検査装置２ａは、検査対象面１０ａで反射した反射光から、少なくともその半値幅が１００ｎｍ波長帯域の１／２以下からなる狭帯域幅のピークを有する透過光を生成するとともに、１００ｎｍ波長帯域内において、透過光を複数の波長で選択的に出力させるようにした透過特性切替装置１６を備える。透過特性切替装置１６は、その実効光路長が設定中心透過波長の整数倍からなるように厚みが設定された液晶デバイスを少なくとも１つ有する複数の平行ニコル液晶セルおよび垂直ニコル液晶セルを組み合わせてなる波長可変液晶フィルタ１４と、各液晶セルに複数の電位を多段に切り替えて印加する駆動回路１５とから構成される。 （もっと読む）

【課題】 マークの両端に変形があるとともに、マークの両端が計測視野からはみ出す場合であっても、マークの位置を高精度に計測できるようにする。
【解決手段】 物体上に形成された複数のパターンを含むマークを検出して得られる検出信号に現れる全ての特徴波形を使ってマーク位置を演算する第１演算手段と、該検出信号に現れる複数の特徴波形のうちの両端の特徴波形を除外してその内側の特徴波形を使ってマーク位置を演算する第２演算手段と、マークの形状に関するマーク情報及び検出領域の大きさに関する領域情報が予め記憶された記憶手段と、マーク情報及び領域情報に基づいて、マークがパターンが検出領域からはみ出すか否かを判断し、はみ出す場合に第１演算手段による演算結果を、はみ出さない場合には第２演算手段による演算結果を計測結果とする判断手段とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】通常の光ファイバでのブリルアン散乱光による歪み位置の検知手法を用いてボーリング孔の孔曲がりを測定できるようにし、ボーリング孔全体の孔曲がりを手間無く測定する。
【解決手段】センサ部７の二対の光ファイバセンサ１４、１５それぞれの歪み差測定から、センサ部７の合成撓み角と合成変位を算出測定し、センサ部の方位とに基づいて、センサ部７の撓みの方位角を算出測定し、ボーリング孔の深度方向に積分して、ボーリング孔全体の孔曲がりを算出測定する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ正確に複数の同一形状物をカウントできる同一形状物のカウント方法を提供する。
【解決手段】コンピュータを用いて以下のステップにより検査対象中における同一形状の複数の目標物をカウントする方法である。
検査対象の原画像を取得する。原画像に対して所定のしきい値で二値化処理を施し、目標物を本来の大きさ以下のサイズで検出する。二値化ステップで検出された複数の目標物のうち、基準サイズ以上の大きさの目標物のみを選択して、その位置情報を抽出する。抽出ステップで選択された各目標物を膨張してマスク画像を形成する。生成したマスク画像を原画像上に被せて、選択された目標物を原画像上から除去する。前記しきい値とは異なるしきい値を選択し、その異なるしきい値で、マスク画像を被せた原画像に対して、二値化ステップから抽出処理ステップまでを必要回数分繰り返す。 （もっと読む）

検査される表面の潜在的異常の場所を囲む部分からの散乱した輻射を示すピクセル強度も、表面上のその潜在的異常の場所を含むパッチの中のピクセル強度を速やかに再調査するためにそのようなデータを利用できるように、格納される。照明ビームと検査される表面との間に回転運動が引き起こされる場合、検査される２つの異なる表面上の対応する位置に存するピクセルのピクセル強度を比較することによって信号対雑音比を改善することができ、この場合、その２つの異なる表面上の同じ相対的場所に存する対応するピクセルが照明されて、そこから散乱した輻射が同じ光学的条件の下で集められて検出される。
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レーザ干渉計位置決めシステムは、第１の位相計と第２の位相計とを備える第１のボードを含む。第１の位相計はアナログ基準電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル基準位相信号を出力する。ディジタル基準位相信号はシステム内のレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号である。第２の位相計は測定電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力する。第１のボードはバックプレーン内に挿入される。バックプレーンは、ディジタル基準位相信号とディジタル測定位相信号とを第２のボードに運ぶバスを含む。第２のボードはディジタル基準位相信号を、多数の第１のボードから受信したディジタル測定位相信号から減算する。
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【課題】 単一のセンサの構成を複雑化、大型化せずに、単一のセンサでは行い得ない検出を、複数のセンサによって可能とするような構成を提供する。
【解決手段】 光ファイバセンサ１においてアンプ本体４０は投光素子６１と受光素子６２とを備え、受光素子６２の受光レベルに基づいて被検出対象の検出を行うように構成され,アンプ本体４０の投光素子及び受光素子に連結されて、先端に検出部を備える光ファイバ１９が設けられ、光ファイバセンサ１が、他のセンサと組み合わされて使用されるか、又は、単独で使用されるかを設定可能とされており、光ファイバセンサ１が他のセンサと組み合わされて使用されると設定された場合は、自身の受光信号である第１受光信号と他のセンサからの第２受光信号から、光ファイバセンサ１が単独で使用されると設定された場合には、第１検出信号のみから被検出対象の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 真空装置に対して、複数本のファイバを容易且つ簡便な構成にて導入可能とする。
【解決手段】 真空装置外壁面に固定可能であり、外壁面と対向する対向面と、対向面に設けられた壁穴周囲を周回するシール領域と、壁穴と対向して壁穴側面から壁穴側面裏面に貫通してファイバが挿通可能な本体部ファイバ用貫通穴とを有するフランジ本体と、フランジ本体に固定可能であり、本体部ファイバ用貫通穴と対応してこれと一直線上に整列するフランジ部ファイバ用貫通穴を有するOリング押えフランジとからなり、本体部ファイバ用貫通穴とフランジ部ファイバ用貫通穴との間にファイバ用Oリングを収容し且つ押し潰すためのOリング固定領域が形成された構成とする真空装置用フランジを提供する。 （もっと読む）

離散ビーム周波数可変レーザと関連して用いられるモードモニタリング装置は、レーザの調節のためまたはレーザの使用にともなうその他の処理のために用いることができる、光フィードバックを提供する。例えば、一層正確な干渉データの収集または処理をサポートするために、周波数偏移干渉計のための周波数可変源の出力をモニタすることができる。測定ビームの相異なる部分が進行する光路長差の所望の測定値をとるための第１の干渉計を測定ビーム自体の測定値をとるための第２の干渉計と連結することができる。追加の干渉データをビームの周波数及び強度の尺度を与えるために発明にしたがって解釈することができる。
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【課題】 より少ない光センサにより干渉光、特に交流成分を有効に取得できる光画像計測装置を提供する。
【解決手段】 広帯域光源２からの光ビームを直線偏光に変換する偏光板３と、光ビームを信号光Ｓと参照光Ｒとに分割するハーフミラー６と、参照鏡８を振動させるピエゾ素子９と、参照光Ｒを円偏光に変換する波長板７と、ハーフミラー６により重畳された信号光Ｓと参照光Ｒとから生成された干渉光Ｌの異なる２つの偏光成分を抽出する偏光ビームスプリッタ１１と、この２つの偏光成分をそれぞれ検出するＣＣＤ２１、２２と、検出された各偏光成分に基づいて被測定物体Ｏの画像を形成する信号処理部２０とを備えており、光ビームの強度変調の周波数は干渉光Ｌのビート周波数に同期され、参照鏡８の振動の周波数は干渉光Ｌのビート周波数に同期され、かつ、その振幅は干渉光Ｌの波長以下とされる。 （もっと読む）

【課題】多層膜の膜厚の合わせこみを正確に、サンプリグ間隔が長くならず、且つ廉価に行う多層膜の膜厚制御方法、及び成膜装置を提供する。
【解決手段】１）予め、目標とする多層膜、及び各層を変動させて得られた各多層膜に、入射角を変化させて入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に目標とする多層膜の色度点、及び各多層膜の色度点としてプロット、２）製造された多層膜に、入射角２以上の入射光を照射した際の、各反射光の色度座標を色度図上に製造された多層膜の色度点としてプロット、３）両色度点を対比し、製造された多層膜のどの層の膜厚が、どれだけ変動しているかを判断、４）多層膜の製造条件を補正、製造する多層膜の膜厚制御する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供する。
【解決手段】 対象領域に複数の輝点を投影する投影装置１１と、複数の輝点が投影された対象領域を撮像する撮像装置１２と、撮像された像上の複数の輝点の移動に基づいて、対象領域に存在する対象物の動きを測定する測定手段１４と、対象領域内の平面上で複数の輝点の隣り合う輝点の各間隔が等しくない場合に、対象物の動きを当該輝点又は当該輝点を含む領域の撮像された位置に応じて補正する補正手段２４、２４ａとを備えるので、対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 空間的に分布する光学情報を検出するために利用できる３次元空間光検出器を提供する。
【解決手段】 ３次元空間光検出器は、３次元空間内の３次元空間座標位置に配列された複数の受光部要素を有するような構成とする。３次元空間内の３次元空間座標位置に配列された複数の受光部要素として、格子状の光ファイバーを配置し、各光ファイバーを２次元検出器に導くことで３次元的な受光位置を特定し、光信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】 オートフォーカシング機構においてフォーカシングを行なったときに生じるビーム位置ズレを自動的に補正できる画像形成装置および画像形成方法を提供
【解決手段】複数の画素を選択的にｏｎ／ｏｆｆして光ビームを照射する１または２以上の露光ヘッドを被露光体の被露光面に対して一定方向に走査して画像を形成する画像形成装置であって、前記露光ヘッドから照射される光ビームの焦点を前記被露光面に合わせるフォーカシングをおこなうフォーカシング手段と、各露光ヘッドを制御し、前記フォーカシングによって生じた前記被露光面における前記光ビームの照射位置のずれであるビーム位置ズレを補正するビーム位置ズレ補正手段とを備える画像形成装置および画像形成方法。 （もっと読む）

複数の光源（４）がリング形状で平面に配置され、個々に連続してこのリングを回転するように放射する。入射ビームは、このリングの軸（５）に向けられ、この軸に直角ではない角度で傾斜している。このビームは、ほぼこの軸（５）に沿って位置している物体（２）により反射され、ただちに、ソースのリングに平行な平面に位置している光検出器（８ａ、８ｂ、８ｃ）の１つにより受光される。形状の欠陥、表面の不規則さ、又は色の変化の存在は、光検出器により受容されたエネルギを変調することにより決定される。この測定は、物体の表面の非常に小さい領域の連続的な照明の非常に良好な解像度を提供する。
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表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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