【課題】バンパーの形状変化を２次元または３次元で捉えられ、接触物体の大きさなどを検知でき、簡単なシステム構成とすることができるバンパーセンサを提供する。
【解決手段】自動車車両用のバンパー本体１０の表層部分または表面にセンサ部ＳＰを有する光ファイバ（２０ａ，２０ｂ）が複数本配置されて、コアおよびコアの外周に設けられたクラッドを備え、伝送する光の一部の外界との相互作用を可能にするセンサ部がバンパー本体の表面を構成する面において２次元的に複数箇所配置され、光ファイバの入射端に対する入射光を出射する光源１１と、センサ部を介して光ファイバの出射端から出射される光を検出する受光部１３を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】微小凹面の形状誤差を非接触で高速・高精度に計測できる微小凹面形状の形状誤差機上計測方法及びその計測装置を提供する。
【解決手段】微小凹面２２に対向する対物レンズ２３と、集束光を発する光源モジュール２５と、集束光の光軸２６と軸心２７を共通にするレンズ鏡筒２８と、撮像素子２９と、レンズ鏡筒２８と撮像素子２９間に配置されたマイクロレンズアレイ３１と、コンピュータとを備え、レンズ鏡筒２８が共焦点を有する２個のレンズ４１、４２と、共焦点に配置されたピンホール４４とを有し、対物レンズ２３を通して集光される集束光の集光位置と、微小凹面２２の曲率中心とを同じくして測定系を構成し、微小凹面から反射されマイクロレンズアレイ３１により撮像素子２９上に形成された光線列の各重心位置と、事前に求めた微小凹面２２が理想形状である場合の光線列の重心位置との差異から、微小凹面２２の形状誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】伝送路の曲げによる影響を受けず、光源の波長スペクトルが変化することによる光ファイバＮＡの変化によって変動する測定値を抑制し、精度良く測定することのできる光学式検出センサを提供する。
【解決手段】光源から出力された出射光を第１光ファイバの端面から相対距離離して配置された被測定物に照射し、第２及び第３光ファイバでこの反射光を受光して被測定物の変位量を算出する光学式検出センサであって、第１光ファイバの長手方向と被測定物の照射面に対する法線とが角度θとなるように配置され、第２及び第３光ファイバは、平行配置され、且つこの第２及び第３光ファイバの長手方向と被測定物の照射面に対する法線とが角度θとなるように配置され、第１光ファイバと、第２及び第３光ファイバは、法線を介して対向配置され、第１乃至第３光ファイバは、光源の出力波長に対してｄＮＡ/ｄλが４×１０^-５以下の特性を有する。 （もっと読む）

【課題】 軸ずれの影響を受けにくく、軸ずれによる誤差の少ない正確な変位量の測定を行う光ファイバー式変位センサーを得る。
【解決手段】 光源２が発した光を長方形状の光出射端面１４から測定対象物１に出射する投光ファイバー束１１と、測定対象物１で反射した反射光を光出射端面１４の両側に配置された合同な長方形状の光入射端面１２，１３の各々から受光する２本の受光ファイバー束９，１０と、２本の受光ファイバー束９，１０の各々を伝搬した反射光の受光量を検出する２つの受光素子３，４と、２つの受光素子３，４の受光量に対応した補正テーブルをあらかじめ記憶させた記憶部８と、２つの受光素子３，４の受光量の和に基づいて測定対象物１の位置の変位を測定し、この受光量の和と記憶部８に記憶された補正テーブルとに基づいて測定対象物１の変位を補正し、測定対象物１の位置を判定する位置判定部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス体へ直接接触することなく色収差に基づいて熱ガラス体の厚さを測定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明方法を、光源からの光ビームを収束装置を用いて生成直後の熱ガラス体上へ集束させ、ガラス体からの反射光を分光計へ導いて反射光スペクトルを得、ガラス体の前面及び後面それぞれからの反射光の反射光強度が最大となる２つの波長を見出し、見出した２つの波長間の差からガラス体の厚さを測定し、厚さの測定中収束装置の温度を１２０℃以下に維持し、及び少なくとも１個の熱遮断性フィルターを用いて集束装置への熱放射の到達を実質的に遮る各工程から構成する。 （もっと読む）

【課題】撮影画像のコントラストを改善してチップ表面の凸部を容易に検出することを可能とする表面検査装置又は表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１に、光源からの光をライン状にしてステージ上に支持されたバンプ付きチップ２の表面に斜め一方向から光を照射するラインライトガイド５と、バンプ付きチップ２の表面の反射光を透過させるテレセントリック光学系７とを設け、テレセントリック光学系７によって結像された反射光によりバンプ付きチップ２の表面の凸部を検査する。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いずに、一括に広範囲を露光すると共に、下層の露光パターンの位置と上層パターンを形成するための露光位置との位置ずれを、高速かつ高精度に補正し得る露光装置および露光方法を提供する。
【解決手段】 ２次元的に並び配された複数のミラー素子からなるＤＭＤ５の各ミラー素子にパターンデータを入力することによって、所定領域に対する所望のパターンを一括的に露光できる露光ヘッド１ａと、露光ヘッド１ａと基板１１とを相対的に走査させるためのステージ１２とを備え、走査しながら露光を行う。基板１１に形成された下層配線パターンを光の照射にてモニターすることにより下層配線パターンの位置を検出し、かつ検出結果に基づいて、ＤＭＤ５の各ミラー素子に入力するパターンデータを補正することにより上層パターンを形成するための露光位置を補正するコンピュータ７を有する。 （もっと読む）

【課題】アライメントカメラの位置の校正、露光ヘッドの位置の校正の頻度やタイミングを最適化して、露光精度の向上、再現性（ワーク間並びに露光装置間において一定の精度を有する特性）の向上を図る。
【解決手段】ステージ上に配されたワークに露光ヘッドによって画像を露光する露光方法において、前記ステージ上に固定された基準スケールに基づいて少なくともアライメントセンサの校正値を求める校正ステップ（Ｓ５０４、Ｓ５０５）と、前記校正値に基づいて前記ワークに形成された前記アライメントマークを測定する測定ステップ（Ｓ５０７）と、少なくとも前記校正ステップによる校正値と前記測定ステップによる測定値に基づいて前記ワークに対して画像の露光を行う露光ステップ（Ｓ５０８）とを有し、特定の条件に適合した場合に、前記校正ステップによる処理を行うように制御する。 （もっと読む）

【課題】 均一でむらのないスリット光を生成できるスリット光照射装置を提供
する。
【解決手段】 本発明になるスリット照射装置は、パターン検査方法およびパタ
ーン検査装置に用いられるスリット光照射装置であって、光を照射する発光部と
、この発光部から照射された光を均一に拡散する光拡散部と、この光拡散部で得
られた均一な拡散光を受けて平行光を生成する第一の平行光生成部と、この第一
の平行光生成部からの平行光を受けて予め決められた幅のスリット光を生成する
スリット光生成部と、このスリット光生成部からの予め決められた幅のスリット
光を受けてそのままの幅の平行光を生成する第二の平行光生成部と、を具備する
ことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】
正確に検査を行うことができる検査装置及び検査方法並びにそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は、光源１からの光ビームを反射する回転反射面を有し、出射ビームの伝播軸線を時間とともに回転させて光ビームを走査するポリゴンミラー５と、球面凹面鏡８と補正レンズ９を有し、ポリゴンミラー５から出射された出射ビームを光軸に平行で、光軸からの距離が時間と共に変化する光ビームとするコリメータ光学系７と、光ビームの走査方向に沿って設けられ、試料１０で散乱した散乱光を集光するシリンドリカルレンズ２１と、シリンドリカルレンズ２１から出射された散乱光が入射するよう配置されたバンドルファイバ２３と、バンドルファイバ２３から出射した散乱光を検出するＰＭＴ２４とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の観察において、より詳細に観察するために被検査物の画像を拡大しながら傷等の大きさを計測する場合に、わざわざ拡大した画像をもとの縮小した画像に戻して計測する必要がなく、作業の効率を向上させることが可能な管状観察装置を提供する。
【解決手段】 管状観察装置１は、先端に観察機能と照明機能とを有する硬性ヘッド部と、湾曲部とを有する細長の可撓性の挿入部を備えている。硬性ヘッド部は、レーザ光を出射する面発光レーザ１８と、このレーザ光の出射角度を走査する圧電振動体１５と、レーザ光の反射光を検出する検出部からなる測長手段とが設けられている。管状観察装置は、さらに、観察機能の視野範囲を測長手段の走査範囲よりも大きくする観察機能を有する拡大観察手段と、この拡大観察手段に連動して測長手段のレーザ光の出射方向を制御する走査角制御部５８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】口腔内レーザデジタイザシステムによって、例えば歯科アイテムなど実在の物体の三次元可視画像を、レーザによるデジタル化を介して、得ることができる。該レーザデジタイザは、露光時間に、該物体の複数の部分を走査することによって、該物体の画像を捕捉する。該口腔内デジタイザは、例えば歯、歯列、又は歯群など、歯科アイテムの画像を捕捉するために、口腔内（生体の）に挿入することができる。捕捉された画像は、三次元可視画像を生成するように処理される。
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【課題】膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、基板９と受光部４との間に配置されて光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。ムラ検査装置１では、波長帯切替機構５により選択光学フィルタ５１ａが変更された場合、各光学フィルタ５１の光学特性による影響や選択波長帯の変更に伴うラインセンサ４１のＣＣＤ感度のばらつきの影響が、補正情報記憶部７６に予め記憶されている選択波長帯（選択された光学条件）に対応する補正情報に基づいて補正された後、膜厚ムラの検査が行われる。その結果、膜厚ムラをより精度良く検出することができる。 （もっと読む）

本発明は、車両と対象物との間、及び、特に、歩行者と車両のフロントバンパ（１２）との間の衝突を検知する装置並びに方法に関する。光ファイバアレイ（１４）はバンパ（１２）に沿って延びており、前記アレイ（１４）は、前記バンパ（１２）に沿って離間されているセンサを有する。センサは、ファイバ上に周辺方向及び軸心方向で離間される光損失領域を有する。衝突がセンサを変形させ、そして、変調している光が１つ又は複数のファイバに沿って伝達される。信号が生成され、それは信号プロセッサにより加工され、そして、出力信号が生じる。前記出力信号を使用して、安全装置の起動、例えば、車両ボンネットをもち上げてボンネットとエンジンとの間での空間を増やし、そして被害の深刻性を減少させる。
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【課題】膜厚ムラの検査に要する時間を短縮する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。光出射部３は、互いに異なる波長帯の光を出射する第１光源要素および第２光源要素を備える。ムラ検査装置１では、制御部８により、受光部４にて受光される光の波長帯が同期制御部４３からの同期信号に同期して互いに異なる２つの波長帯の間で繰り返し切り替えられつつ膜９２からの反射光の強度分布が取得される。その結果、ラインセンサ４１の１回の走査により、２つの波長帯に対応する第１強調画像および第２強調画像を生成することができるため、膜厚ムラの検査に要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置のプラズマ電極間距離およびプラズマの分光強度を測定するための光情報を同時に伝送可能な測定プローブおよびそれを用いて間隙距離測定および分光強度測定を行う測定装置を提供する。
【解決手段】測定プローブ１は、プラズマ放電処理装置Ｐにおけるプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離を測定するための光情報と、プラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材２を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面にレーザ光を照射し、この測定対象物から到来する光を受光することにより測定対象物の情報を取得するレーザ装置であって、従来のシステムとは異なる方法を用いて高速に情報を取得する。
【解決手段】レーザ計測装置は、レーザ光を振幅変調信号に従って時間変調して出射するレーザ光出射ユニット２０と、測定対象物から到来する光を受光する光電変換器３８と、出射したレーザ光を伝送するライトガイドファイバ１３ａと、測定対象物から到来する光を伝送するイメージングファイバ１３ｂと、マイクロミラーの反射面を制御してＯＮ状態にすることにより測定対象物から到来する光の反射光を光電変換器３８の受光面に導くマイクロミラーアレイ空間変調素子３４と、受光した光の電気信号における、振幅変調信号に対する位相ずれ情報とＯＮ状態のマイクロミラーの位置情報とを用いて測定対象物の位置情報を求めるデータ処理部６４と、を有する。 （もっと読む）

その遠位端に少なくとも２つの光ファイバ・センサが配置された変形体（５）が、器官または血管の壁組織との接触から生じる遠位端の曲がりによって生じる、光ファイバ・センサの光学特性の変化が検出されるのに応答して、多次元力ベクトルを計算するようにプログラムされたプロセシングロジック（６）に結合されている、器官または血管を診断または治療するための装置が提供される。力ベクトルは、ロボット・システム（３）を用いて、直接または自動的な変形体の操作を容易にするのに利用可能である。
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複数の独立の適用機器からの放射線を同時に検出するための２次元放射線センサを使用、及び個々の適用機器に関する情報が引き出される信号を出力するためのシステム及び方法である。個々の適用機器からの放射線はセンサの別々の部分に供給される。
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スキャタロメトリ又はリフレクトメトリを用いて、２つのマークの相対位置ずれ情報を容易に求めることができる位置情報計測方法である。ウエハ（Ｗ）上にピッチＰ１でマーク（２５Ａ）を形成し、その上の中間層（２７）上にピッチＰ１と異なるピッチＰ２でマーク（２８Ａ）を形成しておく。ウエハ（Ｗ）に対して検出光（ＤＬ）を垂直に入射させて、２つのマーク（２５Ａ，２８Ａ）からの正反射光（２２）のみを波長別に分光して光電変換する。得られた検出信号から波長別の反射率を求め、所定の波長における反射率をマーク（２５Ａ，２８Ａ）の計測方向（Ｘ方向）の各位置毎に求め、求めた反射率分布から２つのマーク（２５Ａ，２８Ａ）の重なりによって形成されるモアレパターンの形状を求め、その形状からマーク（２８Ａ）の位置ずれ量を求める。
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