【課題】
多点で変位を同時に光学的に行おうとした場合、各種光学式変位計を多数用いる方法で多点の同時変位検出を行うことができるが、各センサはそれぞれ、レーザ等の光源、投射レンズ、受光レンズ、受光素子、処理回路、電源等を持ち、また、各センサの出力を受けるための多チャンネルＡＤ回路や出力を処理するコンピュータおよびソフトウエアが必要であり、センサの数が多くなるほど非常に高コストになっていた。
【解決手段】
一端に色収差をもつレンズを備えた光ファイバと、他端に、一本が光源につながり、もう一本が検出器につながる光ファイバを備えた光ファイバカプラとを備えた多数のプローブと、多数のプローブの光源側の光ファイバを並べ、白色光または複数波長光を投入する光源と、多数のプローブの検出器側の光ファイバを並べ、そこに対向配置したカラーカメラとを備える多点変位検出装置とした。 （もっと読む）

【課題】土粒子の粒径及び流砂量を計測又は監視する土粒子計測システム、土粒子計測及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の土粒子計測システムは、土粒子が流れる方向と直行する方向に配置されるＦＢＧセンサ１１と、ＦＢＧセンサ１１から出力されるブラッグ波長の光信号から、土粒子の衝突によって生じるひずみ量を検出するＦＢＧアナライザ１２と、検出したひずみ量の値から土粒子の粒径及び流砂量を決定する土粒子管理・監視装置１３とを備える。土粒子管理・監視装置１３は、当該検出したひずみ量の値から土粒子の粒径の仮定値を決定して、該仮定値における前記ＦＢＧセンサへの衝突時の土粒子の運動エネルギー及び運動エネルギー期待値を算出し、運動エネルギーと運動エネルギー期待値の差が所定の許容範囲内になる仮定値の運動エネルギーから土粒子の粒径及び流砂量を決定する。 （もっと読む）

【課題】光導電性感光体におけるフィラー微粒子を分散させた表面層の膜厚及びフィラー微粒子を分散させた表面層を含む感光層の膜厚を、同時に且つ精度良く確実に測定すること。
【解決手段】中間層及び感光層を有し、感光層の所定厚さ部分が表面層として形成された光導電性感光体の膜厚を測定する際に、光源からの光を光導電性感光体に垂直入射し、表面層表面において反射した第１の反射光と、中間層表面において反射した第２の反射光とが干渉した第１の干渉光、及び、第１の反射光と、入射光の中で表面層の中間層側の面において反射した第３の反射光とが干渉した第２の干渉光を、分光手段に導いて分光し、分光した分光スペクトル強度から反射率を演算する際に、反射率を任意の大きさに拡大することにより干渉波形を求め、干渉波形の低周波成分に基づき表面層の膜厚を演算算出し、干渉波形の高周波成分に基づき感光層の膜厚を演算算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多方向に飛散する液滴に対応でき、流速の速い蒸気流中でも光ファイバが破損することが無く、複数回液滴が突き刺さっても精度良く計測する。
【解決手段】光ファイバ１１と光ファイバ１１を先端から離れた位置で支持する円筒部材１２を蒸気流の方向に配置し、光ファイバ１１に液滴Ｄが当たることにより液滴径と速度を計測する蒸気タービン内の液滴計測装置であって、円筒部材１２に光ファイバ１１を覆う液滴防護筒１３_１を設ける。液滴防護筒１３_１は、その底部に液滴排出孔１４を有する。 （もっと読む）

【課題】画像計測用および膜厚計測用のヘッドを兼用できるようにするとともに、光源からの照明光の光量の損失を抑制して、効率的な計測が行えるようにする。
【解決手段】画像計測用の第１，第２の光源からの照明光を１つに結束された出射端から出射する画像計測用ライトガイド１１からの照明光は、拡散板１３を介して対物レンズ１７に導かれるので、第１，第２の光源の内のいずれかを選択して駆動させたときの照明ムラが拡散板１３によって解消される一方、膜厚計測用ライトガイド１２からの照明光は、拡散板１３を介することなく、対物レンズ１７に導かれるので、拡散板１３による光量の損失がない。しかも、いずれのライトガイド１１，１２からの照明光も共通の対物レンズ１７から対象物に照射できる、すなわち、対物レンズ１７を共用することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の薄膜が積層された状態で各薄膜の膜厚を計測すること。
【解決手段】薄膜検査装置は、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第１透明薄膜の膜厚及び第２透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも２つの特徴量特性が格納された記憶部１４と、被検査基板Ｓに対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部１１と、被検査基板Ｓからの反射光を受光する受光部１２と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部１４に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部１４に格納されている特徴量特性とを用いて、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】腺管構造の３次元的な構造を解析し、該腺管構造を有する計測対象の内部状態を所望の色調を反映させたカラー画像により容易に診断する。
【解決手段】ＯＣＴプロセッサの処理部２２は、光構造情報検出部２２０、腺腔抽出手段及び色調切り替え手段としての腺腔抽出部２２１、閾値格納部２２２、抽出領域設定手段としての抽出領域設定部２２３、領域情報演算手段としての領域情報演算部２２４、平行断層画像生成手段としての平行断層画像生成部２２５、カラーマップ格納部２２６、色調編集手段としての色調編集部２２７、表示制御部２２８及びＩ／Ｆ部２２９を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高速に動く測定対象物に対しても、カメラから測定対象物までの距離を高精度な画像としてリアルタイムに検出する三次元情報検出装置及び三次元情報検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】強度変調光１１を測定対象物２００に照射する光源１０と、
前記強度変調光の反射光１２を受光し、該反射光の1周期の変調波に対して、又は所定の複数周期の変調波に対して、異なるタイミングでゲートを開放することにより撮像タイミングの異なる複数の画像６１、６２を取得する複数のゲート撮像素子４１、４２と、
前記複数の画像から、前記測定対象物の距離画像を算出する演算処理装置７０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】延びた状態のゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を提供すること。
【解決手段】加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、加速領域の撮影データについて、定速領域の端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また減速領域の撮影データについて、減速領域との境となる定速領域の端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】容易な調整作業によって複数の撮像装置で同じ波長帯の光を受光できる光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置を提供する。
【解決手段】薄膜に対して光を照射することによって、当該薄膜の上面および下面でそれぞれ反射する反射光の干渉による像の一部を少なくとも含む第１領域を撮像する。また、第１領域と重複する重複領域を有し、当該重複領域に上記像の一部が少なくとも含まれる第２領域を撮像する。薄膜に照射されてその反射光がそれぞれ撮像されるまでの光路上に第１光学フィルタおよび第２光学フィルタをそれぞれ配置して、特定の波長帯の光を透過させる。それぞれ撮像された重複領域の像を用いて、第１光学フィルタの透過波長帯と第２光学フィルタの透過波長帯との相対的な関係を示すパラメータを算出する。算出されたパラメータに基づいて、第１光学フィルタおよび第２光学フィルタの少なくとも一方の光路に対する傾きを変更する。 （もっと読む）

【課題】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ上の糸条幅を、パッケージ上にて、自動かつ高精度に検出することができ、また糸条幅測定作業の時間短縮ならびに作業工数の削減を図ることができる糸条幅測定方法を提供する。
【解決手段】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ３を照明し、最外層の糸条５と最外層の糸条５の下に巻回されかつ表面に露出している糸条６から反射光を受光してパッケージ３の画像を撮像するとともに、得られた画像において高光量部を特定し、該高光量部の幅を測定することで前記糸条と糸条の少なくとも一方の糸条幅を算出する。 （もっと読む）

媒体の減衰及び他の光学的特性を利用して、センサーとターゲット面との間の該媒体の厚さを測定する。本明細書には、種々の画像形成状況において、これらの厚さ測定値を取得して、ターゲット面の３次元画像を得るために使用可能な種々の媒体、ハードウェアの配列、及び処理技術が開示されている。これには、内面／凹面並びに外面／凸面を撮像するための一般的な技術、並びに、外耳道、人間の歯列などの画像形成へのこれらの技術の具体的な適用が含まれる。
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【課題】新規な接触面積測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触面積測定装置は、試料７に接する光透過性基板６と、前記試料７とは反対側から、前記光透過性基板６に白色光を照射する照射手段と、前記試料７からの反射光と前記光透過性基板６からの反射光とから生じる干渉画像を取得する干渉画像取得手段１１と、前記干渉画像の輝度値情報から輝度値ヒストグラムを作成する輝度値ヒストグラム作成手段と、前記輝度値ヒストグラムから接触面積を算出する接触面積演算手段を有する。ここで、干渉画像取得手段１１は、干渉画像と前記干渉画像の輝度値情報を取得する。また、輝度値ヒストグラム作成手段は、干渉画像の輝度値情報をRGB輝度値情報に分離し、G輝度値ヒストグラムを作成する。また、接触面積演算手段は、輝度値ヒストグラムを複合正規分布最適化近似により複数の正規分布に分離し、そのうち最も低輝度側の正規分布から接触面積を算出する。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバープローブを用いた気泡計測において、気泡弦長、気泡径、界面速度、気泡体積率等を正確に求めるために、プローブ先端と気泡との接触状態も併せて検出することができる。
【解決手段】 ファイバー軸に垂直な方向に対して少なくとも一部が傾斜している第１端面２，３を有する光ファイバーからなり、第１端面が液体中に配置されている光ファイバープローブ１と、光ファイバーの第１端面とは反対側の第２端面６から光を供給する光供給手段８と、光供給手段により供給された光が第１端面で反射して第２端面に戻ってくる、反射光量を計測する反射光量計測手段１２と、反射光量の計測結果に基づいて液体中の気泡を計測する信号処理手段と、を有する気泡計測装置であって、信号処理手段は、第１端面が気泡に接触する前に発生する反射光量のプレシグナルに基づいて、第１端面と気泡との接触状態を判定する手段をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の物理情報を高速で取得可能なイメージング分光計測装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】計測対象物３を搭載し、少なくとも一方向に可動するステージ７２と、計測対象物に広帯域光を照射する光源１と、１ライン上の領域を一度に分光する分光器５０と、分光器により分光された分光信号を一次元位置情報と波長情報として検出する二次元撮像素子８と、分光信号を演算処理し計測対象物の物理情報を求める演算処理部９と、を有するイメージング分光計測装置は、二次元撮像素子の垂直転送方向、ステージ７２の走査方向と直交する方向、及び分光器の入射スリット６の長手方向が一致するように配置され、二次元撮像素子は、受光した光を電気信号として読み出す信号読出部８ａを有し、信号読出部は、二次元撮像素子の垂直転送方向にビニング処理を行い、演算処理部は、読み出した複数の画素群ごとの前記分光信号に基づいて物理情報を求める。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの製造中に、リソグラフィ技術、およびレンズの開口数が高い瞳面で角度分解スペクトルの測定を使用して、オーバレイおよび格子形状パラメータを測定する方法を提供すること。
【解決手段】 レンズの開口数が高い瞳面にて、放射線が基板で反射した結果としての角度分解スペクトルを測定することによって、基板の特性を求める装置および方法である。特性は、角度および波長に依存し、ＴＭおよびＴＥ偏光の強度、およびその相対的位相差を含む。 （もっと読む）

【課題】孔内形状あるいは孔内面の欠陥を高速で測定することができる孔内形状測定方法及びその装置を目的とする。
【解決手段】 コーンプリズム５を通じてスリット光を投光する円環状光ファイバー群３と、コーンプリズム５によって導光されるリング状の光像を結像レンズ７で撮り込んで投影する画像伝達光学系８とを挿入し、視差視に基づくリング状の光像に表れる凹凸により孔内形状を測定する方法であって、逆円錐部６から投光されるスリット光のコーンプリズム５の軸線に対してなす角度と、リング状の光像の逆円錐部６への受光光がコーンプリズム５の軸線に対してなす角度とを異ならせた方法及び逆円錐部６から投光されるスリット光の投光角を設定するコーンプリズム５への入射角を決定する屈曲部を円環状光ファイバー群３の先方部に形成し、投光角と異なる受光角を有する結像レンズ７をコーンプリズム５の後方に配置した装置。 （もっと読む）

【課題】中空糸膜モジュールの欠陥検査方法では、検査精度を高めるためには、画像の分解能をあげなければならない。しかし、画像の分解能を上げると、画像データ量が増える。すると画像撮影のために時間がかかり、検査時間が増大するという課題があった。
【解決手段】比較的低い分解能で中空糸膜モジュールの端面の映像を撮り、画像補間によって情報量を増やす。その上で２値化した画像データを用いて欠陥検査を行う。このようにすることで、撮影時間を短くすることができ、またデータ補間と２値化によって、誤検出や過検出といったことのない精度よい欠陥検出をすることができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端面部の画像取得において、複数の場所の像の向きがそろう光学系の装置の提供。
【解決手段】結像光学系は、集光レンズ２、視野絞り４、リレーレンズ５、ロンボイドプリズム６Ａ、および落射照明ユニット１０から構成され、ウエハ１の端面部である、上側周辺部＋上ベベル部、下側周辺部＋下ベベル部の像の偏向後の光が１つに合成されるように複数配置される。このとき、複数の結像光学系のそれぞれにおける光を偏向する回数は、偶数回または奇数回でそろっており、撮像素子７は、複数の結像光学系のそれぞれによる、偏向後の端部の各部位の像を同一の面で撮像する。 （もっと読む）

【課題】検査時にウェーハが水平方向や垂直方向に急速に変位しても、受光装置のフォーカス位置が合い、受光装置のフォーカス位置がずれることなく観測ポイントが視野中心に合った状態を維持することが可能な円板体外周検査装置を提供する。
【解決手段】円板体外周検査装置１は、円板体Ｗの径方向と円板面Ｓｗとの直交方向への変位量ΔＸ、ΔＹを検出する変位量検出装置３と、該表面Ｗｓでの散乱光Ｌを反射する第１ミラーとその反射光を散乱光Ｌの光軸に平行で逆向きに反射する第２ミラー４２とを備えるミラー部４と、ミラー部４を光軸方向とそれとの直交方向に夫々移動させるアクチュエータ５とを備え、散乱光Ｌが該表面Ｗｓで角度θ（下向き正）方向に散乱される場合、アクチュエータ５は、ミラー部４を、該表面Ｗｓでの散乱光Ｌの光軸方向及びそれとの直交方向にそれぞれ（ΔＸcosθ−ΔＹsinθ）／２及び（ΔＸsinθ＋ΔＹcosθ）／２だけ移動させる。 （もっと読む）