本発明に従う装置は、基本的に２つの異なる測定モードで作動可能な対物レンズ（８）を有する。第１干渉モードでは、測定対象物（９）は干渉光学的に測定される。第２イメージングモードでは、イメージ処理ルーチンに供される光学イメージが作られる。２つの操作モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結する照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
（もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたパターン投影装置又はパターン検査装置において、干渉縞の発生を低減すること。
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ発生装置と、パターンを有するマスクと、レーザ発生装置とマスクの間に配置され、レーザ光をマスク上に照射し、パターンを対象物に投影する光学系と、光学系内に配置される回転位相板と、回転位相板を回転する駆動装置と、回転位相板と光学系間の振動伝播を阻止する緩衝材と、を備えている、パターン投影装置、及び、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】動状態解析システムにおいて、画像の動状態或いは変化状態を高精度で解析できるようにする。
【解決手段】動状態解析システム（１００）は、時間軸又は時間と相関関係にある数量軸上で所定間隔をおいて並ぶ少なくとも二枚の画像の差分を、画素単位で演算する差分演算部（１１１）と、画像上における少なくとも一方向に交わる配列をなす複数の画素についての、該演算された差分の平均値や最大値などの差分統計値を、前記一方向に沿った座標軸上の各点に対応付けて演算する差分統計値演算手段（１１２）と、該演算された差分統計値を、座標軸と時間軸又は数量軸とで張られた面に置くことで、解析用画像を生成する解析用画像生成手段（１１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理に適した輝度を持つ画像を容易に得ることのできるようにしたい。
【解決手段】パンタグラフ４およびその摺板に対する照明器具１０とパンタグラフ４およびその摺板を撮像するカメラ２との間に、光量を摺板の長手方向において２次元的に調整できるフィルタ７１を設ける。 （もっと読む）

本出願は画像を記録するための新しい方法を開示する。本出願は、多くの科学分野及び技術分野における顕微鏡検査及び表面分析に関する。特に、本出願は、マイクロエレクトロニクス、すなわち、パターン化されていないウェハ、パターン化されたウェハ、及びフォトマスクで使用される表面の画像化及び検査に関する。本出願は、電気振幅を記録するという意味で、ホログラフィに関する。用途には、顕微鏡検査、欠陥検査、光波散乱計測、及び光学計測が含まれる。
（もっと読む）

【課題】
本発明は、炭素繊維布帛の欠点を簡便、かつ、高精度で、信頼性高く検査できる炭素繊維布帛の検査装置および検査方法を提案すること。
【解決手段】
本発明の炭素繊維布帛の検査装置は、炭素繊維布帛を移動させる送出装置と巻取装置と、それらの間に設置する、少なくとも次の（ａ）〜（ｈ）の手段を備えることを特徴とする炭素繊維布帛の布帛欠点の位置および種類を検出する検査装置である。
（ａ）照明手段
（ｂ）画像取得手段
（ｃ）遮光手段
（ｄ）撮像した取得画像を数値化した布帛情報に処理する画像処理手段
（ｅ）炭素繊維布帛形態を数値化した布帛情報を予め基準情報として登録しておく記憶手段
（ｆ）布帛情報と基準情報とを比較して、布帛欠点の在否、および、欠点の位置ならびに種類を判別する判別手段
（ｇ）出力手段
（ｈ）炭素繊維布帛の移動量または前記画像取得手段の移動量を検出する移動量検出手段 （もっと読む）

【課題】ウェハ各部の検査画像の撮像にあたり、ウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行え、検査時間を大幅に短縮できる外観検査方法および外観検査装置の提供。
【解決手段】ウェハをアライメントする際（Ｐ１）に用いられるアライメントパターンについてのマーク合焦位置を測定し（Ｐ２）、このマーク合焦位置を基にウェハのソリ形状を求め、このソリ形状からウェハの被検査面の各部における各部合焦位置を算出するので（Ｐ３）、ウェハの被検査面の各部ごとにフォーカス調整（合焦）することが不要となる。すなわち、ウェハの各部ごとに合焦する手間が掛かることなく、ウェハ各部における合焦位置を得ることができるので、孔が明いていたり裏面側への接触が不可とされたウェハのソリに対処しつつフォーカス補正を容易に行うことができ、ウェハの外観検査に要する時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】検査用マークを用いることなく、任意の位置における合わせずれを計測する。
【解決手段】要素パターンを重ね合わせて形成される複合パターンの画像Ａと、各要素パターンの基準画像Ｂ１，Ｂ２とを取得し、画像Ａと各基準画像Ｂ１，Ｂ２との間でマッチングを実行し、このマッチング結果に基づいて複合パターンにおける各要素パターン間の合わせずれを出力する。 （もっと読む）

【課題】歪みの発生要因が複合している場合であっても画像の歪みを補正することができるようにし、しかも簡単な作業で補正量を決定できるようにする。
【解決手段】市松模様が表記された標準パターン板をＴＶカメラにより撮像する（Ｓ１）。ＴＶカメラで得られた歪み検出画像から基本図形に対応した４個以上の基準点を検出する（Ｓ４）。歪みが生じない場合の基準点の位置として標準図形から予測される理想基準点を各基準点に対応付けて設定し（Ｓ８）、各基準点から当該基準点に対応付けた各理想基準点への変位を補正ベクトルとして求める（Ｓ９，Ｓ１０）。歪み検出画像の全画素について、それぞれ周囲に位置する４個の基準点の補正ベクトルを用いて内挿補間を行うことにより各画素ごとの補正ベクトルを求める（Ｓ１２〜Ｓ１５）。この補正ベクトルをＴＶカメラで撮像した画像に適用して画像の歪みを補正する。 （もっと読む）

【課題】画像強度情報から位相特異点を検出する位相特異点検出方法、及び、位相特異点検出装置、並びに、プログラムに関し、画像の１画素以下の精度で位相特異点の位置を決定できる位相特異点検出方法、及び、位相特異点検出装置、並びに、プログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、画像強度情報から位相特異点を検出する位相特異点検出方法であって、画像の強度情報から擬似位相情報を抽出する擬似位相情報抽出手順と、擬似位相情報抽出手順で抽出された擬似位相情報から擬似位相情報の１画素の分解能で位相特異点の位置を特定する位相特異点特定手順と、位相特異点特定手順で特定された位相特異点近傍の擬似位相情報を補間し、その補間結果に基づいて位相特異点の位置を決定する位相特異点決定手順とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッジ部の真直度の検出精度を向上させる。
【解決手段】画像処理装置１３は、撮像装置１２とダイヘッド２３の塗布表面２３Ａとの間のＹ方向距離および二値化閾値を適宜に変更し、算出される各エッジ部２２ａ，２２ａ毎の境界部の中点座標の変化を検出し、所望の誤差で各中点座標を算出するために必要とされる撮像装置１２とスリット部２２との間の距離のずれ及び二値化閾値の範囲を算出する。画像処理装置１３は、撮像装置１２とスリット部２２との相対移動に係る誤差を、所定相対位置から相対移動させた際に算出した各中点座標と、所定相対位置から相対移動と平行な方向に所定距離だけ異なる相対位置から相対移動させた際に算出した各中点座標とに基づき、位相差法により、相対移動に係る誤差を補正した後の各中点座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】 誤品検査を行う作業者の集中力を回復させることができる物品検査装置を提供する。
【解決手段】 部品コード（物品識別情報）に対応して部品の外観形状を示す情報を記憶している外観形状データベース（記憶手段）２１と、部品に付されている部品ＩＤを入力する部品ＩＤ入力手段３１と、部品ＩＤが入力された際に、入力された部品ＩＤに対応して外観形状データベース２１に記憶されている外観形状情報から得られる真正物品の外観形状、又は、入力された部品ＩＤから相違する非真正物品の外観形状を表示する表示器４０を備えている。そして、表示器４０が真正物品の外観形状を表示する頻度は、非真正物品の外観形状を表示する頻度よりも高い。 （もっと読む）

【課題】試料の測定対象面に段差が存在する場合、反射率の異なる部位が存在する場合、または透過面が存在する場合においても、これらの影響を受けずに測定を行うことができる共焦点走査型光学顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】共焦点走査型光学顕微鏡システムは、試料の測定対象範囲となる領域を複数に分割した領域である分割領域と、該分割領域に対応して設定される該分割領域についての光軸方向に関する観察範囲である分割領域観察範囲と、を設定し、相対位置変位手段によりその各分割領域観察範囲を試料を変位させて、該分割領域観察範囲内で取得された２次元画像の各画素データから代表となる画素データである代表画素データを取得し、その代表画素データに基づいて、観察画像を構築することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】実際の検査に用いられた画像を用いて、検査結果の確認に適した見本画像を簡単に登録できるようにする。
【解決手段】部品実装後の検査のための検査装置１Ａと、はんだ付け後の検査のための検査装置１Ｂと、情報処理装置２とによる基板検査システムにおいて、各検査装置１Ａ，１Ｂから情報処理装置２に、検査に使用した画像や検査結果を被検査部位毎に送信する。情報処理装置には、あらかじめ、良品や不良品の見本画像が表すべき内容を示す指標データが複数登録されており、指標データ毎に、検査装置１Ａ，１Ｂから送信された画像の中から当該指標データに最も適合するものを抽出し、見本画像として登録する。 （もっと読む）

【課題】高精度でしかも高速に対象物の重心を求めることが可能な対象物の重心検出方法を提供する。
【解決手段】画素のＸ方向に沿って画素ラインごとに順次画像データをスキャンし、当該画素ラインでの対象物の画素数とそのラインのＹ座標位置（ｙ０〜ｙ９）からラインごとにモーメントの総和と対象物の画素数の総和を求めて対象物の重心Ｙ座標を検出する。このＸ方向スキャン時に、対象物の画素が検出されるごとに、そのＸ座標位置（ｘ０〜ｘ９）に、最初並びに最後に画素が検出されたラインのＹ座標を記録し（バッファ４１〜４４）、その座標値からＹ方向のラインごとのモーメントの総和と対象物の画素数の総和を求めて重心Ｘ座標を検出する。このような構成では、スキャンはＸ方向にだけ行われるので、重心を求める処理速度が高速になる。 （もっと読む）

【課題】各種工具のスローアウェイチップなどの工具チップであるワークを、効率良く正確に検査することができる工具欠陥検査装置と工具欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】工具の刃先に用いる工具チップであるワーク１２を回転自在に支持する支持部１４と、照明装置２０により照明されたワーク１２を撮像可能に形成されたカメラ２２を有する。カメラ２２により撮像された画像を表示する表示装置２６と、カメラ２２により撮像されたワーク１２の像を画像処理する画像処理装置２６とを備える。支持部１４を移動自在に保持したステージ１８と、支持部１４を回動または直線移動させる駆動装置である支持装置１６と、ワーク１２の刃先稜線を異なる角度から照明しカメラ２２の撮像方向に対して両側に位置した複数のスポット照明２９を備える。 （もっと読む）

【課題】時系列的に変化する撮影画像から、撮影装置の撮影位置、姿勢又は対象物の座標を精度良く計測できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】時系列的に撮影した一連の撮影画像を取得し、撮影画像から特徴点を抽出し、特徴点を追跡して相互に対応付け、相互に対応付けられた一連の撮影画像からをステレオ画像を選択し、標定および三次元計測を行ない、三次元計測により求められた対応特徴点の三次元座標を撮影画像に逆投影し、対応特徴点の座標と逆投影された対応特徴点の座標との残差を算出し、算出された残差に基づいて、対応特徴点の三次元計測への適否を判定し、不適切と判定された対応特徴点を削除し、削除された対応特徴点を除いて再度標定および三次元計測を行なうことにより、計測精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】車両周辺の画像から該車両との接触を回避すべき対象となる歩行者等の対象物を迅速に判定して、運転者への情報提示や車両挙動の制御を行うことができる車両周辺監視装置を提供する。
【解決手段】撮像手段２Ｒ，２Ｌを介して取得した画像から、車両１０の周辺に存在する対象物を抽出する対象物抽出手段１１と、抽出された対象物のうちから歩行者を抽出する歩行者抽出手段１２と、抽出された歩行者の姿勢を判別する姿勢判別手段１３と、少なくとも姿勢判別手段１３により判別された歩行者の姿勢に関する第１判定処理を含む判定アルゴリズムを実行することにより、抽出された対象物が車両１０との接触を回避すべき回避対象であるか否かを判定する回避対象判定手段１４と、少なくとも回避対象判定手段１４の判定結果に応じて、車両１０の機器を制御する車両機器制御手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】製品の３次元的内外面形状を測定し、測定したデータから設計、製造に必要なＣＡＤデータを作成し、製品を再現化する３次元形状測定方法および３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定方法は、対象物の表面形状および内部形状のそれぞれを撮像し（Ｓｔ−１、Ｓｔ−２）、撮像した内部形状を点群データに変換し、変換した点群データを基準マーカを基点に重ね合わせて合成する内部形状合成工程（Ｓｔ−３）と、撮像した表面形状を点群データに変換し、変換した点群データを基準マーカを基点に重ね合わせて合成する表面形状合成工程（Ｓｔ−４）と、前記内部形状合成工程（Ｓｔ−３）で作成した内部形状合成点群データと前記表面形状合成工程（Ｓｔ−４）で作成した表面形状合成点群データとを合成して一体化する内部表面データ合成工程（Ｓｔ−５）と、この内部表面データ合成工程（Ｓｔ−５）で作成したデータをＣＡＤデータに変換する３次元形状変換工程（Ｓｔ−６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、被検査物をカラー画像により三次元的に観測する光学測定装置を提供すること。
【解決手段】光学測定装置は、入力される第１波長の第一光を被検査物へ集束して被検査物から反射される第１反射光を出力し、入力される第２波長の第二光を第２参照光と第２測定光とに分割し、第２測定光を被検査物へ集束して検査物から反射される第２反射光を出力するとともに、第２参照光を反射して第２反射光と干渉させる第３反射光を出力する対物レンズ系を備え、第１反射光と、第２反射光と第３反射光との干渉とを用いて被検査物の三次元画像を生成する。 （もっと読む）