【課題】カメラによるキャリブレーションシートの撮影が容易に行えるキャリブレーションチャート表示装置を提供すること。
【解決手段】所定のキャリブレーション撮影方向から撮影されたキャリブレーションチャート１の画像を記憶する校正画像記憶部５９と、校正画像記憶部５９に記憶されたキャリブレーションチャート画像を、前記キャリブレーション撮影方向と所定の画像回転角度に応じて表示するキャリブレーションチャート画像表示部６１とを備えている。 （もっと読む）

パターン化と非パターン化ウェハの検査システムを提供する。１つのシステムは、検体を照明するように構成された照明システムを含む。システムは、検体から散乱された光を集光するように構成された集光器をも含む。加えて、システムは、光の異なる部分に関する方位と極角情報が保存されるように、光の異なる部分を個別に検出するように構成されたセグメント化された検出器を含む。検出器は、光の異なる部分を表す信号を生成するように構成されていてもよい。システムは、信号から検体上の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを含むこともできる。他の実施形態におけるシステムは、検体を回転・並進させるように構成されたステージを含むことができる。１つの当該実施形態におけるシステムは、検体の回転および並進時に、広い走査パスで検体を走査するように構成された照明システムを含むこともできる。
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本システムは、仕様書を越える可能性のある領域の表示をオペレータに提供する、或いは前記オペレータによるより詳細な分析を要求する遠隔映像検査装置からの画像の分析を自動的に実行する。パターン認識アルゴリズムは、前記画像の異常或いは欠陥を調査するため連続画像に適用される。前記調査領域は、最初、欠陥の可能性がより高い、検査されるアイテムのエッジに制限される。処理要求及び誤検出の可能性を減らすために、調査領域は制限された視野及び奥行きに狭められる。へこみ及び小さな割れなどの欠陥は、立体測定技術を用いて、或いは公知の補足画像を欠陥と予測することで検出される。この技術は、画像相違マップを提供するのに用いられる。公知の三角アルゴリズムを用いて、前記マップは奥行き及び距離情報を前記処理システムに提供する。
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【課題】ワークの立体形状を正確に計測する。
【解決手段】立体計測システムは、ワーク１１００を撮像するカメラ１００と、ワーク１１００を照明するストロボ２００と、カメラ１００の電子シャッターに同期してストロボ２００を発光させてワーク１１００を撮像するように制御する制御回路と、撮像された画像データを画像処理する画像処理コンピュータとを含む。画像処理コンピュータは、撮像された画像データに対して、明度の不均一を補正するシェーディング補正回路と、補正された画像データに対して、カメラ１００からワーク１１００までの距離に応じた明度の違いに基づいて、ワーク１１００の特徴量を算出する算出回路と、算出された特徴量に基づいて、ワーク１１００の位置情報を作成する作成回路とを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザレーダによる測距値と画像による測距値との最適な統合を複雑な演算等することなく素早く行い前方の立体物データとして素早く出力する。
【解決手段】距離データ統合部５ｃはレーザ距離データと画像距離データの統合を次のように行う。レーザ距離データが有効な場合、レーザ距離データが遠方の場合は最終的な距離データはレーザ距離データとし、レーザ距離データが中間距離の場合、画像距離データが有効で且つ画像距離データとレーザ距離データとの差が所定値以内の場合は最終的な距離データはレーザ距離データと画像距離データとの平均値とし、上述以外の場合はレーザ距離データとする。レーザ距離データが近距離の場合は最終的な距離データは画像距離データとし、レーザ距離データが極近距離の場合は最終的な距離データはレーザ距離データとする。またレーザ距離データが無効な場合は最終的な距離データは画像距離データとする。 （もっと読む）

【課題】 保護層形成後のプリント回路板の光学式検査において、保護層に影響による誤検出を減らす。
【解決手段】 保護層の光学特性を利用し、照明の波長を切り替えるなどして輝度分布の異なる複数枚のプリント回路板表面画像を撮影する。これらの画像の輝度の差より保護層形状を認識する。保護層形状を認識することにより、プリント回路板の保護層形成部分とそれ以外の部分を画像上で分離し、それぞれに適した条件で画像処理を行うことにより、誤検出の少ない検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 被写体の３次元画像の検出に不足する３次元画像を容易に確認する。
【解決手段】 点Ｇ₁ 、Ｇ₂ 、Ｇ₃ から被写体の３次元画像を撮影する。各点で撮影した3 次元画像を合成して被写体の３次元形状を検出して画面表示ＬＣＤパネルに表示する。３次元画像を現在のカメラの位置を原点とするカメラ座標に変換して、現在のカメラの位置、姿勢、レンズの向きの基づいて表示する。 （もっと読む）

【課題】 被写体の視覚情報である２次元画像情報と赤外線により被写体の距離情報である３次元画像情報を検出する３次元画像検出装置において、各検出を迅速かつ常に合焦された状態で行う。
【解決手段】 ＣＣＤの色分離フィルタＦに赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各波長を中心にした狭い帯域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタと赤外領域のみに分光透過率特性をもつバンドフィルタを用いる。ＲＧＢの色フィルタが設けられた画素に対してコントラスト方式の焦点調節を行う。２次元画像情報を検出後、メモリ２４に記録されたデータに基づいて、レンズ駆動回路２７を駆動し光学系の焦点面を所定距離移動させる。赤外線レーザをレーザダイオード１４ａから照射して３次元画像情報として検出する。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルのセル厚分布を全体的に把握できるとともに、セル厚の基準値に対するずれ量（差異）を容易に把握できる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ２４は偏光板２３から射出される透過光を受けて所定のカラー画像を取得し、このカラー画像データをコンピュータ装置２６に送出する。コンピュータ装置２６は、あらかじめＲＯＭやハードディスク等に格納されたデータ処理プログラムを実行することにより、ＣＣＤカメラ２４から出力されたカラー画像データに演算処理を加えて後述するセル厚相関データに変換し、このセル厚相関データを用いて変換画像をモニタ２７に出力する。 （もっと読む）

【課題】 照明変化や背景変化等の影響が及びにくくして、メータの指針の検査が容易にできるようにした。
【解決手段】 電流計や電圧計等の計測器本体１１はＸ，Ｙ移動機構に載置されて横方向Ｘ、縦方向Ｙに移動されるように構成される。計測器本体１１の指針部分と目盛りなどの背景部分は、カラービデオカメラ１２で観測撮影され、撮影されたビデオ信号は画像処理装置１３に入力される。この画像処理装置１３では、入力されたビデオ信号から背景部分や指針部分の画像処理が行われる。画像処理装置１３で処理された画像処理信号は、色抽出部１４に入力される。この色抽出部１４では、指針部分と背景部分との識別化をＵＣＳ色度図と呼ばれる色表現方法を利用して行う。その後、指針部分だけを判定部１５で判定して抽出する。 （もっと読む）

【課題】 被写体や照明光の影響を受けることなく、正確な３次元情報の入力が可能である３次元情報入力カメラを提供する。
【解決手段】 ３次元情報入力カメラは、被写体または照明光についての撮影条件を検出する撮影条件検出手段を備える。投影手段１は、２種以上のパターン光を選択可能に投影できるように構成される。投影手段１は、撮影条件検出手段による被写体または照明光についての撮影条件検出結果に基づいて、投影するパターン光の種類を選択して投影する。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）