【課題】 スタイラスの軸方向に対して有害な曲げ振動の発生を防止することで、微細な表面形状の測定を可能にするタッチセンサを提供する。
【解決手段】 スタイラス１は、その軸方向に略対称の構造である。スタイラス１とスタイラスホルダ５とを連結する支持部材６〜９のスタイラス側の支持部１０〜１３は、スタイラスの重心３に対してスタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラスの軸４に対称な複数個所である。スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上にある。加振手段３１および検出手段３２の少なくとも一方は、重心３から等距離となる少なくともスタイラス上の２個所に橋渡しされるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】 バイトが破損したり、測定子を揺動させるエアーシリンダの作動不良等のトラブルや調整ミスによって測定ジョーの先端部に設けた測定子がワークと衝突した場合でも、その衝撃が装置全体に伝わらないようにして、部分的な損傷だけで済ませるようにする。
【解決手段】 ケース本体２３に揺動自在に設けられた一対の測定ジョー２０と、この測定ジョー２０を開閉するエアーシリンダ４０と、前記測定ジョー２０の先端部に取付けられた測定子２２をワーク２１に接触させた時の測定ジョー２０の位置変化に基づいて測定値を出力する検出器３０とを備えてなる自動定寸ヘッドＨにおいて、前記測定子２２には該測定子２２に所定以上の衝撃が加わった時に測定子２２の先端部２２ａが破損する切欠部３９を設けた。 （もっと読む）