【課題】接触式三次元形状計測機の３軸移動機構等を非接触式として利用できることに着眼して、非接触式位置センサを代わりに取付けて転用による非接触式三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】接触式三次元形状計測機の本来接触式プローブが取付けられるべきヘッド６の原点位置に対する非接触式位置センサ２９の原点位置の原点較正データを予め作成しておき、駆動手段７ｘ，７ｙ，７ｚを駆動制御するように３軸移動機構８の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、ヘッド６の移動走査過程において非接触式位置センサ２９に対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、移動始端位置及び移動終端位置並びに繰返し周期ごとの移動位置で規定されるヘッド６の原点位置を原点較正データに対応して較正して非接触式位置センサ８の原点位置を求めて、この原点位置における非接触式位置センサ８の非接触検知位置データにより計測対象物である車両ボデー９の三次元形状データを作成する。
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【課題】キャリブレーション点数を不必要に増やすことなく、高い形状精度測定結果を保証するキャリブレーションを、精度よく、短時間で行うこと。
【解決手段】被測定物の表面上に指定された測定点における被測定物表面の法線ベクトルデータを取得し、その法線ベクトルデータによる法線ベクトル方向に関してのみキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】被測定面をトレースするプローブによる三次元形状の測定を高精度で行う。
【解決手段】プローブ先端球１０９を有するプローブ軸１０６の上端にターゲットミラー１１４を固定し、レーザ測長によって本体架台１０１に固定された第一の基準ミラー１０２とターゲットミラー１１４の離間距離を検出してワークＷの表面形状データを得る。ワークＷに対するプローブ先端球１０９の押圧力を一定に保つために、プローブ軸１０６を保持するＺ軸アーム１０３上の第二の基準ミラー１１１とターゲットミラー１１４の離間距離を検出するレーザ測長系によって、Ｚ軸ステージ１０４を制御し、板バネ１０７、１０８の歪を調整する。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 測定子を低接触力で接触させながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる機上形状測定器を提供する。
【解決手段】 機上形状測定器３０は、測定開始前にサーボモータのロック状態等における機械振動成分を測定し（Ｓ１４）、振動成分を除去するノッチフィルタ６６を設定する（Ｓ１８）。測定開始後、リニアスケール４４の出力から、設定したノッチフィルタ６６によりサーボモータのロック状態等における機械振動成分を除去する（Ｓ２０）。このため、測定プローブ３２を低接触力で接触させることで、機械振動の影響を受け易い状態となっても、機械振動分を除去し、影響を打ち消すことで、高精度な形状測定を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 極座標制御方式マシニングセンタにおける基準点の補正方法を提供する。
【解決手段】 極座標制御方式マシニングセンタは、ワークを載置する旋回テーブル５０と、旋回テーブル５０の旋回中心Ｃ_０を通るＹ軸に沿って制御される工具ヘッドを有し、工具ヘッドの工具主軸は、旋回テーブル５０に垂直なＺ軸に沿って制御される。旋回テーブル５０上に基準点誤差量測定用ピン１００を取付け、工具主軸に取付けたタッチセンサＳ_１でＹ軸上の座標を検知して主軸原点位置からの距離Ｌを演算し、Ｙ軸上の基準点誤差量ΔＹを補正する。距離Ｒ位置にタッチセンサＳ_１を設定し、ピン１００を両側からタッチさせて、角度θ_１，θ_２を検知する。この角度差からＸ軸方向の誤差量ΔＸを演算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 上面より表面形状を測定する３次元測定機において用いられる、長さ測定とＸＹＺ軸の直角度をナノメートルのオーダで高精度に校正するための校正治具を提供する。
【解決手段】 ３次元測定機の校正治具であって、長さ標準器であるブロックゲージと、それぞれ所定の基準径をもつ少なくとも３つの基準球と、上記ブロックゲージの側端面に一定の力で上記各基準球を当接させる付勢手段とを備える。上記基準球は、少なくとも１つが上記ブロックゲージの第一の側端面側に配置され、少なくとも２つが上記第一の側端面と反対側の第二の側端面側に配置される。 （もっと読む）

【課題】複雑なオートフォーカス機能を必要としない簡単な光学系によって、形状測定の基準となる位置マーク球の位置を高精度で検出する。
【解決手段】被測定物Ｗ₁ を保持するジグ２は３個の位置マーク球３を有し、被測定物Ｗ₁ の表面をトレースするプローブ１０とは別に、各位置マーク球３の反射光から位置マーク球３の光学像の２次元位置を互いに異なる光軸方向から検出する２つの光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂを、Ｚスライダ７に保持させる。各光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂのポジションセンサーから得られる２組の２次元位置情報を用いた演算によって、各位置マーク球３の位置を３次元的に求める。 （もっと読む）

測定システムは関節式プローブヘッドに取り付けられた表面検出器を有し、プローブヘッドはさらに座標位置決め装置に取り付けられる。表面検出器は、表面を走査するため、座標位置決め装置およびプローブヘッドの少なくとも一方を少なくとも１つの軸線に関して駆動することにより、表面に対して動かされる。この表面検出器は表面からのその距離を測定し、プローブヘッドは、表面検出器の相対位置を実時間にて表面から予め設定された範囲内まで制御するため、表面検出器が少なくとも１つの軸線を中心として回転するように駆動される。
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【課題】 生産性に優れ、かつ測定における信頼性の高い圧電振動板の周波数測定方法および周波数測定装置を提供するとともに、圧電振動板の周波数分類方法および周波数分類装置を提供する。
【解決手段】 最初に下電極体３１〜３８の高さを測定し、動作補正情報を得る。その後パーツフィーダ１から第１の移載装置により水晶振動板Ｑを吸引し、インデックステーブルの搭載ステーションに位置する下電極体３１の上面に順次移載する。当該測定ステーションＳでは、周波数測定部が設置され、制御部の指示により、先に下電極体３１に対する動作補正情報をメモリ７１から読み出し、当該動作補正情報に基づく移動距離分上電極体が下電極体に近接する。非接触状態で水晶振動板Ｑの周波数の測定を行う。そして水晶振動板Ｑは排出ステーションＯから第２の移載装置により収納箱に移載される。 （もっと読む）

【課題】 複雑な装置構成を採ることなく側面の傾斜方向を問わずに形状測定可能な形状測定装置、該形状測定装置に備わる形状測定装置用プローブ、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】 取付用部材１１０に対してスタイラス１２１を有する揺動部材１２０を任意方向に傾斜可能にして取付用部材１１０に連結する連結機構１３０を設け、上記揺動部材の傾斜角度の大きさがほぼ一定になるよう制御しながら、被測定面５１を走査する。この構成により、Ｚ方向にはほぼ平行で、ＸＹ方向の任意方向に傾斜した側面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 マスタを間違えた誤った校正処理を防止できる寸法測定システムの実現。
【解決手段】 寸法測定装置10と、所定の寸法値の部分を有する複数のマスタ50A,50Bとを備え、所定の寸法値の部分を測定して寸法測定装置を校正する寸法測定システムであって、各マスタは、寸法測定装置がマスタの所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出する測定状態検出手段55と、寸法測定装置が所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出したことを示す測定状態信号を送信する無線通信手段とを備え、寸法測定装置は、測定状態信号を受信する無線通信手段37を備え、無線通信手段が測定状態信号を受信している時に校正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】加工後のワークの形状をより容易に測定することが可能なＮＣ加工装置を提供する。
【解決手段】先端部ＴＳＳが所定方向に付勢されており、当該所定方向にスライド可能であるとともに、前記先端部ＴＳＳが前記所定方向に平行に移動した距離に関する信号を出力するタッチセンサＴＳと制御手段とを備える。制御手段３０は、ワークＷの表面に対して前記所定方向からタッチセンサＴＳの先端部ＴＳＳを押し付け、タッチセンサＴＳを移動させた方向及び速度と、ワークＷの表面の形状に応じて出力されるタッチセンサＴＳからの信号とに基づいて、ワークＷの表面の形状を連続的に測定した測定形状データを作成する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物を入れ替えながら繰り返し測定を行う場合に適したプローブ姿勢の補正技術を提供し、入れ替え測定の作業効率を改善する。
【解決手段】 本発明の三次元座標測定装置は、プローブ姿勢制御部、座標設定部、基準座標記憶部、角度差検出部、および姿勢補正部を備える。プローブ姿勢制御部は、プローブの姿勢を制御する。座標設定部は、被測定物の配置状態を取得して、三次元座標値の基準とする基準座標を設定する。基準座標記憶部は、第１被測定物に設定された第１基準座標を記憶する。角度差検出部は、第２被測定物に設定された第２基準座標を取り込み、基準座標記憶部の第１基準座標と、第２基準座標との角度差を求める。姿勢補正部は、第２被測定物の三次元測定に際して、第１被測定物に対して調整されたプローブの姿勢を角度差に応じて姿勢補正する。 （もっと読む）

【課題】 検出器を回転させて測定を行う場合でも、検出器の回転角度位置に応じた最適な補正が行える表面性状測定機およびその真直度補正方法を提供する。
【解決手段】 粗さ検出器が異なる回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、Ｘ軸駆動装置の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部に記憶する補正データ記憶工程と、測定時に、検出器回転ユニットによって粗さ検出器が被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、触針が被測定物の測定面に接触された状態において、Ｘ軸駆動装置を駆動させながらＸ軸駆動装置の各移動位置および粗さ検出器の変位量を測定データとして取り込む測定データ取得工程と、測定時における粗さ検出器の回転角度位置と一致または最も近い回転角度位置に対応する検出器補正データを補正データ記憶部から読み出し、測定データを補正する補正演算工程とを備える。
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【課題】 ロー付けにおいてロー材が正常に部品間に挿入されているか否かを検出可能にする。
【解決手段】 ２つの部品をロー材により接合する接合方法において接合状態を検査するための接合検査方法は、２つの部品間にロー材を挿入する挿入手順と、ロー材を加熱して溶融する加熱手順と、加熱を停止して加熱されたロー材を凝固させて、２つの部品を接合する接合手順とを具備する。前記接合検査方法は、挿入手順後で加熱手順の開始前に２つの部品の外面間の距離（第１の高さ）Ｈ0を計測する第１の計測手順と、加熱手順において、加熱開始後に２つの部品の外面間の距離（第２の高さ）Ｈ１を計測する第２の計測手順と、第１の高さＨ0と第２の高さＨ１との高さの差を求めることにより、ロー材の有無を判定する判定手順とを具備する。第２の高さＨ１の計測のタイミングはロー材が軟化する状態を検出して決定される。 （もっと読む）

【課題】 携帯型測定部を無線通信不能な場所でも使用可能にした寸法測定システムの実現。
【解決手段】 端末無線装置42、寸法測定値を生成する寸法測定部21、及び寸法測定値を表示する表示器24を有する携帯型寸法測定装置16-1,16-2,16-3,16-4と、ベース無線装置35を有するベース装置10とを備え、携帯型寸法測定装置は、生成した寸法測定値をベース装置10に送信する寸法測定システムであって、携帯型寸法測定装置は、端末無線装置がベース無線装置に対して通信可能であるかを検出する無線通信状態検出回路を備え、通信不能状態の時には、寸法測定値をベース装置に送信する動作を自動的に停止すると共に寸法測定値を表示器に表示するようにし、通信可能状態になった時に、生成した寸法測定値をベース装置に送信する動作を自動的に再開する。 （もっと読む）

【課題】 高価な表示装置を共通に使用しても操作性が低下しない寸法測定装置の実現。
【解決手段】 複数の寸法測定値を生成する複数の寸法測定部15-1,15-4;16-1,16-4と、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値を表示する表示部11とを備える寸法測定装置であって、表示部が同時に表示できる寸法測定値の個数は、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値の個数より少なく、表示部に表示する寸法測定値を、複数の寸法測定部の生成する寸法測定値に応じて自動的に選択する表示制御部を備える。 （もっと読む）

測定装置のための関節機構（２２、４１０）を移動させる方法が開示されており、相対的な移動を可能とする関節機構を形成する二つの物体（１４、１６、４１０ａ，４１０ｂ）を解放し、所望の位置に到達するまで二つの物体のうちの一方を他方に対し移動させ、おそらく、固定工程の一部として相対的に固定されるように二つの物体を再拘束する方法において、所望される位置で再拘束される以前に相対的な移動が、特定の条件のもとで起きることを特徴とする。その特定の条件は、同一方向からの移動、および、停止、減速などを含み、また、所望される位置に隣接した位置でその条件を維持する。また、ポテンショメーターおよび測定装置用コントローラ（１１）により制御される測定装置用の関節機構（２２、４１０）を位置決めする方法も開示されている。
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【課題】 高精度・高速で且つ安定な倣い測定を実現可能とする。
【解決手段】 三次元測定装置の倣い測定に用いられ、先端にスタイラス１８を装着してなるプローブにおいて、スタイラス１８の先端球３２の表面にＤＬＣ膜３５が形成され、その摩擦係数が０．１以下に設定されている。 （もっと読む）