工作機械などの座標位置決め装置のための測定プローブ（２）が、記述される。プローブハウジング（４）に撓み可能に設置される触針ホルダー（１０）を含む。プローブハウジングに対する触針ホルダーの撓みを感知するために、１つ以上のセンサー（２０）が設けられる。１つ以上のセンサー（４６）により感知された撓みが撓みしきい値などのトリガー条件を満たしている時には、プロセッサ（２２；４０）は、トリガー信号（Ｔ）を生成する。プローブは、測定プローブの加速度を測定するための加速度計（２８）も含む。プロセッサにより適用されるトリガー条件は、加速度計（２８）により測定された加速度に応じて使用中に変更可能である。この方法において、誤トリガーは抑制される。
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【課題】接触式プローブ方式と非接触式プローブ方式の両方に対応し、被測定物によって簡単に切り替えることの可能な三次元形状測定装置を実現する。
【解決手段】接触式プローブ方式では、プローブ先端球１０９を被測定物１１０に接触させてＺ軸アーム１０３によって倣い走査させ、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１とプローブ軸ターゲットミラー１１４を用いて被測定物１１０の表面形状のデータを得る。非接触式プローブ方式においては、プローブ軸１０６及びプローブ軸ターゲットミラー１１４をＺ軸アーム１０３から取り外して、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１を用いた同じレーザ測長器によって被測定物１１０の表面形状のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】重量のある大きいワークピースを、その重量が測定精度に悪影響を及ぼすことなく、迅速で且つ信頼性の高いやり方で測定できるようにする、測定装置及びワークピース受け具を提供する。
【解決手段】ワークピース（２）測定用の測定装置（１００）は、ワークピースを受け合うターンテーブル（１）と、ターンテーブル軸受を有するベースプレート（３）と、該ベースプレートが載置される基台（１２）とを備えている。前記ターンテーブルは、当該ターンテーブルの下側に位置し、ターンテーブル軸受によってベースプレートに保持される、鉛直方向の軸（Ｗ）を備えている。前記ターンテーブル軸受は、ターンテーブルから離間した軸の底部端面（１３）にアキシャル軸受（９）を備えている。前記軸は、ワークピースの重量（Ｇ）が、ターンテーブルによって受け止められるときは、ターンテーブル，軸及びアキシャル軸受を介して、基台に伝えられるように、アキシャル軸受に回転可能に保持されている。 （もっと読む）

携帯型計測装置のための方法及びシステムが記載される。本発明の１実施形態は、第１のリンクと、第１の自由度で移動するように動作可能な第１の連結器によって第１のリンクと連結される第１のプローブと、第２の自由度で移動するように動作可能な第２の連結器によって第１のリンクと連結される第２のプローブと、第１の連結器の動作と関係付けられる第１のセンサ信号を出力するように動作可能な第１のセンサと、第２の連結器の動作と関係付けられる第２のセンサ信号を出力するように動作可能な第２のセンサとを有する装置である。また、実施形態は、第１及び第２のセンサと連絡するプロセッサであって、第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号を受信し、且つ少なくとも部分的に第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号に基づいて第１のプローブと第２のプローブとの間の距離を判断するように動作可能なプロセッサを有する。
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【課題】座標測定機の使用の際の障害を減らし、大量のキャリブレーションデータを管理する重荷を軽減する。
【解決手段】複数のサブシステム（１０）から成り、サブシステム（１０）の一部を個別にキャリブレーションし、その後、各サブシステム（１０）に個別のキャリブレーション情報を提供し、マップ・ファイル（２０）を生成し、キャリブレーションされたサブシステム（１０）に関連づけられる、座標測定機を取り付ける手順に先立つ、事前のキャリブレーション手順と、前記キャリブレーション情報を保存する保存手順と、前記事前のキャリブレーション手順を通じて収集された前記キャリブレーション情報を処理する最終調整手順とから構成する。 （もっと読む）

【課題】関連ユニットの真正性を確認するための認証モジュールを備えた測定システムを提供する。
【解決手段】物体を測定するための測定部と、関連ユニットからデータを受信および／またはこれにデータを送信するためのデータ伝送部とを具えた接触トリガー測定プローブ。測定機器はまた、関連ユニットの真正性を確認するための認証モジュールをも具えている。この認証モジュールは、一方向性ハッシュアルゴリズムを実行するためのプロセッサを含むことができる。真正性は、チャレンジ・レスポンス認証処理を用いて確認することができる。 （もっと読む）

【課題】形状計測を短時間に行うと共に、測定対象物のエッジ部分の外挿精度を向上することができる形状計測装置および形状計測方法を提供する。
【解決手段】測定対象物Ｔの形状データを取得する測定装置３と、測定装置３により取得された所定数の測定点の位置情報に基づいて、測定対象物Ｔ上の全ての点の位置情報を推定する形状推定手段を有する制御装置５と、を備えた形状計測装置１において、形状推定手段は、測定対象物Ｔにおける非測定点の位置情報を、所定数の測定点の位置情報と、測定点および非測定点の目標形状を表すひずみ量とから推定可能に構成されている。 （もっと読む）

ウエハーの反りを定量化するための配置構造に関する。プラズマ処理システム内に位置する配置構造が提供される。配置構造はウエハーを保持するための支持機構を含む。配置構造は、ウエハー上の複数のデータポイントの第１測定データセットを収集するように構成された第１センサセットをも含む。第１測定データセットは、第１センサセット及びウエハーの間の最小ギャップを表す。第１センサセットは、プラズマ処理システムの処理モジュールの外部にある第１位置に位置している。 （もっと読む）

計測プローブのタスクモジュールまたはスタイラスを交換するための装置を開示する。一の実施形態において、スタイラスモジュール（１８）がプローブの保持モジュール（１６）に磁気的に保持される。水平ピン（３８）は保管装置（３２）から延在し、スタイラスモジュール（１８）の開口（４0）に係合する。これは、スタイラスモジュールが保持モジュールの垂直方向の移動により分離されることを可能にする。保持モジュールに対するスタイラスモジュールの傾斜をコントロールするために、ピン（３８）は、スタイラスモジュールと保持モジュールとの間の磁気結合力の合成ベクトルに達する又はこれを越えて延在し、合成ベクトルは、この実施形態においては、スタイラスモジュールの中心線（４２）に沿っている。
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【課題】穴の形状を測定するにあたり、測定時間を長引かせずに測定することができる形状測定装置、形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒状の形状を有するワークの形状を測定する形状測定方法であって、前記ワークの形状を検出し、前記ワークが載せられる搭載盤を回転させながら、前記センサを前記ワークの回転軸方向に移動させ、移動される前記センサから出力される検出データを記憶部に書き込み、前記記憶部に書き込まれた検出データを参照し、前記ワークの１回転に応じた区間の区間データを抽出し、前記抽出した区間データに基づいて、前記ワークの形状を演算することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】ベルマウス模型の３次元計測を用いることによって、ベルマウス図面の精密な製作と同時に図面製作時間の短縮を可能にするベルマウス模型を用いたベルマウス図面製作方法を提供する。
【解決手段】実際のベルマウスの模型の３次元計測を用いることによって実際のベルマウスの図面を製作する方法であって、実際のベルマウスから縮尺したベルマウス模型を複数の断面に分割するステップと、縮尺したベルマウス模型の複数の断面を複数の曲線で表示するステップと、複数の曲線の座標を計測するステップと、計測された座標を利用してベルマウス模型の複数の断面図を形成するステップと、断面図を拡大することによって実際のベルマウスの図面を製作するステップとを含む方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】所定の基準面と直角の方向における位置を測定する形状測定において、従来よりも簡易な構成によって、基準面に対して大きな傾斜角をなしかつ任意の方向を向いた測定面における測定を可能とする。
【解決手段】形状測定装置１を、少なくとも２軸方向（Ｘ、Ｙ）に試料Ｗとプローブ２０とを相対運動させて試料Ｗの表面をプローブ２０で走査させる多次元移動手段（１１、３０）と、試料Ｗを置くための、２軸方向（Ｘ、Ｙ）に対して直角な軸Ｚに対して傾斜した傾斜面を有する試料台１２と、傾斜面の垂直軸Ａを回転軸として試料台１２を回転させる回転手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】偏心位置が回転軸から大きく離れている場合であっても、高精度で偏心位置が求められる真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラムを提供する。
【解決手段】真円度測定装置は、回転駆動手段によるワーク４の回転角、及びその回転角に対応する回転軸からワーク４の表面までの距離を測定値Ｐとして取得する測定値取得部を備える。また、真円度測定装置は、中心位置（ａ，ｂ）を変動可能なパラメータとする円形状の補正円ＣＬを設定し、測定値Ｐから補正円ＣＬの中心位置に向かう方向の、各測定値Ｐと補正円ＣＬとの間の距離の２乗和が、最小値となるように、補正円ＣＬの中心位置及び半径値を計算し、その計算した補正円ＣＬの中心位置（ａ，ｂ）を偏心位置とする偏心計算部を備える。 （もっと読む）

【課題】エラーがなく、正確に測定でき、高速走査に耐えられる座標測定システムを提供する。
【解決手段】 回転軸（６５）を中心にロータ（１００）が回転することで、接触プローブ（１５）の半径アーム（１４９）先端に針（１２３）を介して取り付けた接触ボール（１２０）が移動する座標測定システムについて、回転軸（６５）のスライド移動とロータ（１００）の回転の組み合わせから生じる経路に沿って、測定対象部品の測定地点の座標を接触ボール（１２０）の接触で測定するに際し、測定対象地点の接触ボール（１２０）の位置が、ロータ（１００）の回転軸（６５）に対して距離（ｒ）だけオフセットしている。 （もっと読む）

本発明は、例えば、最大速度、最大加速度、移動範囲の限界位置又は信号検出の限界値などの、動作中有効性を保持すべき少なくとも一つの動作パラメータを算定する、座標測定器（１１）の動作を制御する方法に関する。座標測定器（１１）の複数のコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）にそれぞれ動作パラメータの値、動作パラメータを算定するための規則及び動作パラメータを算定するための情報の中の一つ以上を割り当てる。複数のコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に対して、動作パラメータの算定シーケンスを規定する。規定された算定シーケンスで動作パラメータを算定する際、各コンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に対して、次の措置を実施するものとして、シーケンスの第一の位置に有るコンポーネント（１１）から開始し、ｉ）動作パラメータの値がコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に割り当てられている場合には、その値を動作に関して有効な動作パラメータの値として採用する措置、ii）動作パラメータの値がコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に割り当てられていない場合には、それまでの有効な動作パラメータの値を引き続き有効なままとする措置、iii ）シーケンス内に更に別のコンポーネント（１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）が存在する場合、そのコンポーネントに関して前記の措置を繰り返す。
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【課題】プリセット処理における測定基準値の誤差の発生を効率的に排除できる測定器を提供する。
【解決手段】操作部からの指令に応じて検出手段に変位量を検出させ、検出された変位量を測定基準値Ｘ_ｃとして記憶部に記憶させるプリセット処理と、現在の変位量と記憶部に記憶された測定基準値Ｘ_ｃとの差を基に測定値を算出する測定値算出処理と、を実行する測定器であって、プリセット処理は、所定時間Ｔ_１おきに検出手段により検出された変位量の変動量が許容範囲内である状態が一定時間継続した場合に可動部材が固定部材に対し静止していると判定する判定処理を有し、判定処理において、可動部材が固定部材に対し静止していると判定された場合に、変位量を測定基準値Ｘ_ｃとして記憶部に記憶させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】互換性のある工具に対応する工具懸架台であって、従来の装置にあるような制約のないものを提案する。
【解決手段】
工具２００を収納する為の工具懸架台２０であり、各工具２００は、その座標計測器の可動アームに取り外し可能なように連結可能で、工具２００を収納する為の工具懸架部位があって、該懸架部位には、工具２００を、第一の方向に沿ってその懸架部位の中に挿入することができ、その第一の方向に沿ってその懸架部位の中から取り除くことができるような複数のガイド６０と、その工具２００が第二の方向に向かう動きをするのを制限する複数の保持表面とがあり、そのような複数のガイド６０と複数の保持表面とが、その工具２００に傾きを生じさせるように配置されている。 （もっと読む）

被加工物の表面を測定するための装置が説明される。装置は、座標位置決め機械のような機械（２６）の可動アームに取り付けられ、そして、第１回転軸（１Ａ）および第２回転軸（２Ａ）まわりに回転でき、それら軸がそれぞれ第１モーター（Ｍ１）および第２モーター（Ｍ２）によって駆動される、支持体（７）を備える。装置は、付加的に、第３回転軸（４Ａ）まわりに回転できる、被加工物の表面を感知するための表面感知デバイス（４）を備える。この第３回転軸（４Ａ）は、第１回転軸（１Ａ）に合わさることができ、合わされた場合、表面感知デバイス（４）に対する支持体（７）の回転は、表面感知デバイス（４）がホルダー（７０）によって動かないように保持されるとき、第１モーター（Ｍ１）によって作動可能である。被加工物の表面を測定するための装置を使用するための方法は、また説明される。
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