【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スパイラルインダクタ間に発生する相互インダクタンスの変動や、スパイラルインダクタンスの金属や比透磁率が１とは大きく違う物質を利用した自己インダクタンスの変動を利用した、交角や回転角度，位置、速度、加速度、傾き、振動などの計測を行う装置に対する、ノイズに強い測定手法を提供する。
【解決手段】本発明は、前記スパイラルインダクタを含めて構築された発振器を用いて、相互インダクタンスの変動や自己インダクタンスの変動を発振周波数の変動として検出するため、ノイズに強く、センサー部から測定部までの距離がある程度離れていても問題なく安易に安価に測定できるシステムを構築する。 （もっと読む）

【課題】正弦波発振出力を用いて検出器を励磁する検出器励磁回路において、検出器を励磁する電圧の変動を抑制し、所定の温度範囲で安定した測定を可能とする。
【解決手段】実施形態の検出器励磁回路の発振回路は、所定の周波数を有する発振出力信号を生成し増幅回路に出力し、増幅回路は、入力された発振出力信号を増幅して増幅発振出力信号を出力するとともに、発振回路の周囲温度に基づいて、発振回路における周囲温度に起因する発振出力信号の振幅の変動をキャンセルすべく増幅率を変更可能となっている。これにより、励磁電流供給回路は、増幅発振出力信号に基づいて、電流増幅を行い、検出回路に励磁電流を供給する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも検出可能な範囲を拡大する。
【解決手段】検出体50の回転角度が０°のときは検出コイル30の右端と検出体50の最大寸法の端部の左端とが隣接し、検出コイル30と検出体50の対向面積がゼロとなるので、検出コイル30のインダクタンスが最大値をとる。ここから検出体50が反時計回りに回転すると、回転角度が大きくなるに従って対向面積が増加するので、検出コイル30のインダクタンスが単調減少する。そして、検出体50の回転角度が約340°のときに検出コイル30全体が検出体50に被われることで対向面積が最大となり、検出コイル30のインダクタンスが最小値をとる。故に、対象物の回転角度を０°から約340°の範囲まで連続して検出することが可能であり、従来よりも検出可能な範囲を拡大することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 金属製の被検出体１に対して所定の変位方向Ａ１に相対的に変位可能に保持された検出コイル２と、検出コイル２の電気的特性の変化に基いて検出コイル２に対する被検出体１の変位量を検出する検出回路とを備える。被検出体１は、検出コイル２の可動範囲を変位方向Ａ１に直交する方向において挟む２個の被検出部１１，１２を有する。被検出部１１，１２毎に、変位方向Ａ１での寸法がそれぞれ異なっている。被検出部１１，１２が１個だけ設けられる場合や被検出部１１，１２の寸法が共通とされる場合に比べ、検出可能な変位量の幅が大きくなる。すなわち、検出可能な変位量の幅に対して検出コイル２の寸法を小さくすることができるから、小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 出力直線性の改善が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 金属製の被検出体１に対して所定の変位方向（図での左右方向）に変位可能とされた検出コイル２の電気的特性の変化に基いて、検出コイル２に対する被検出体１の相対的な変位量を検出する。被検出体１に対する検出コイル２の可動範囲は、変位方向に直交する所定の対向方向（図での紙面に直交する方向）から見て被検出体１に重なる範囲と重ならない範囲とを含む。被検出体１において、検出コイル２に対する相対的な変位の過程で対向方向から見て検出コイル２に重なる可能性があるコイル側端縁１１は、変位方向に対して傾斜している。また、検出コイル２は、コイル側端縁１１に平行な並行部２３を有する。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】高温領域内で渦電流を感知することができるインダクタおよびインダクタを含む渦電流センサの提供。
【解決手段】インダクタ１００は絶縁基板１０６上に配置されたパターン化金属層１０２を含む。パターン化金属層１０２は、金属材料に限定されず、任意の好適な誘導材料を含む。パターン化金属層１０２に好適な材料には、限定はしないが、白金、モリブデン、タングステン、タンタル、ニッケル、チタン、銅、クロム、金、アルミニウム、銀、または動作温度に適合する他の導電性材料が含まれる。インダクタ１００は、約５００℃（９３２°Ｆ）までの温度である領域の渦電流を感知することができる。 （もっと読む）

【課題】単一のコイルでインダクタンスの変化を効果的に検出し、小型でありながら高精度な変位センサを実現するためのインダクタンス変化検出回路と、これを用いる変位検出装置及び金属検出装置を提供する。
【解決手段】矩形波交流電圧源にコイルを接続し、コイルに流れる交流電流を電圧信号に変換した後、ヒステリシス特性を有するコンパレータを通すことで、コイルのインダクタンス変化をパルスの立ち上がりの位相変化として検出する。従来技術のように二つのコイルを設ける必要がなく、部品点数が少なくなるので、低コストで高精度な変位センサを実現できる。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく構造が簡単で，しかも高度の製作精度を必要としないインダクタンス検出式の車両のアクセル開度検出装置を提供する。
【解決手段】センサケース５に互いに離間して支持される第１及び第２支軸２０，２１と，第１支軸２０に巻回される検出コイル部２２ａ及びこの検出コイル部２２ａから引出されて第２支軸２１に支持されるコイル引出し部２２ｂを有するコイル２２と，ロータ６に支持されてコイル引出し部２２ｂに係合して，アクセルグリップＧの開閉操作に伴なうロータ６の回転角度変化に応じコイル引出し部２２ｂの長さを変化させて検出コイル部２２ａの巻き数を変化させるコイル引出し制御部材２４と，検出コイル部２２ａのインダクタンスを検出してロータ６の回転角度に対応する信号を出力するインダクタンス検出回路２８とでアクセル開度センサ２３を構成した。 （もっと読む）

【課題】変位検出装置において、全長を短縮する。
【解決手段】変位検出装置１は、検出コイル２と、検出コイル２に対して変位可能に設けられた変形可能な変位体３と、外部からの作用を受けて変位することにより、変位体３を変位させる変位取り出し部５と、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる巻取り部４ａ、４ｂとを備える。巻取り部４ａ、４ｂは、変位体３が変位取り出し部５により変位させられるときに、変位体３の少なくとも一部を巻取ることによって、変位体３の少なくとも一部を変形させて曲線軌道で変位させる。変位体３は、変位取り出し部５により変位させられるとき、巻取り部４ａに巻取られると共に巻取り部４ｂから繰り出され、又は、巻取り部４ｂに巻取られると共に巻取り部４ａから繰り出される。これにより、変位検出装置１の全長を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 検出コイルの位置の誤差が出力に与える影響を抑えられ、且つ、検出コイルが被検出体の両側に設けられる場合に比べて製造コストの低減が可能な変位量検出装置を提供する。
【解決手段】 検出コイル３と被検出体４との位置関係の変化に伴う検出コイル３のインダクタンスの変化に基いて変位量が検出される。検出コイル３に対する被検出体４の変位方向に直交する方向から検出コイル３を挟むように２個の被検出体４を配置した。被検出体４間の隙間の大きさを一定とすれば、検出コイル３において上記直交する方向の位置ずれが生じたとしても、検出コイル３が一方側において被検出体４に近くなった分だけ他方側において被検出体４から離れることで、出力の変動が相殺され抑えられる。また、上記とは逆に被検出体４が検出コイル３に挟まれる配置とする場合に比べ、製造コストの低減が可能である。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、検出感度を向上させたロータリセンサを提供する。
【解決手段】ロータリセンサ１のハウジング２は検知部３を収納して、二輪車の車体に取り付けられる。ロータ４は導電材料により形成され、ハウジング２に対して回転自在に設けられ、スタンド１０１の回転に伴ってスタンド１０１とともに回転する。このロータ４の一部で被検知部４２が構成されている。検知部３は回路基板３０を有し、回路基板３０には平面コイルからなるコイル３１が形成されている。コイル３１は、回路基板３０に実装された集積回路３２によって高周波で駆動され、ロータ４の回転に伴い被検知部４２との距離が変化することによって、そのコンダクタンスが変化する。集積回路３２では、コイル３１のコンダクタンスの変化から、スタンド１０１が起立位置にあるか、或いは、格納位置にあるかを検出する。 （もっと読む）

【課題】高速回転する回転軸であっても、回転バランスの崩れを懸念することなく静止時の絶対的な角度又は角度範囲を高精度に検出する。
【解決手段】回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する磁気式の回転角検出装置１であって、回転角に応じて磁気的な特性が変化するように回転軸２の表面に周方向に沿って成膜される薄膜パターン３と、薄膜パターン３の対向位置に配置され、薄膜パターン３の磁気的な特性をインダクタンスの変化として検出する検出コイルＬと、検出コイルＬを交流励磁しつつ、検出コイルＬのインダクタンス変化に応じて交流励磁波に位相ズレを生じさせる交流励磁回路４と、交流励磁回路４から出力される交流励磁波の位相ズレを検出し、該位相ズレにもとづいて、回転軸２の静止時の絶対的な角度又は角度範囲を検出する検出回路５とを備える。 （もっと読む）

【課題】単一のコイルでインダクタンスの変化を効果的に検出し、小型でありながら高精度な変位センサを実現するためのインダクタンス変化検出回路と、これを用いる変位検出装置及び金属検出装置を提供する。
【解決手段】コイルとコンデンサを直列接続した共振回路に対し、所定の電圧と接地とを交互に接続する。また、フリーホイールダイオードを二つ設けて、電圧或は接地から切断した直後にコイルから生じる起電力を受け流し、コンデンサに電荷を蓄積させると共に回路を安定化させる。その後、コンデンサ或はコンデンサとコイルの直列接続よりなる負荷の両端電圧を取得して、コイルに非磁性体金属が近接しているときと近接していないときに生じるインダクタンスの変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】径方向における軸ずれの影響を低減してカムシャフトの位置を検出可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】軸方向に沿って移動するカムシャフト４の位置を検出するセンサ装置であって、前記カムシャフト４の軸方向に沿って巻回されて内径部に前記カムシャフト４が挿入される検出コイル２２を有したコイルブロック２と、前記検出コイル２２と電気的に接続されて当該検出コイル２２のインダクタンス変化に基づく信号を出力する制御基板３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出コイル等の異常による高周波での発振のために対象物の変位を誤って検出するのを防ぐことのできるポジションセンサを提供する。
【解決手段】検出コイル１と、検出体２と、検出体２の変位に応じて変化する検出コイル１のインダクタンスに対応した周波数の発振信号を出力する発振部３と、発振部３から出力された発振信号の発振周期に基づいて対象物の変位を検出する信号処理部５とを備え、発振部３の後段に、発振部３から出力される発振信号の有無を検出するとともに、発振信号が無い場合に異常が発生した旨を信号処理部５に知らせる無信号検出部７を設け、発振部３と無信号検出部７との間に、少なくとも発振信号の周波数よりも高い周波数の信号を遮断するローパスフィルタ８を設けた。 （もっと読む）

【課題】磁気飽和が生じることにより、コイルのインダクタンスが等しくプランジャとステータの底とのエアギャップが異なる２点が存在しても、プランジャの位置を正確に検出できる電磁アクチュエータの可動子の位置検出方法およびその検出装置を提供する。
【解決手段】コイル５に変動電圧を印加する第１工程と、変動電圧の印加によって生じるコイル５に流れる電流の立ち上がりまたは立ち下がりの状態を、立ち上がりまたは立ち下がりの間に複数回測定を行う第２工程と、第２工程で得られた複数の測定値と、基準となる測定値または計算値とをそれぞれ比較して可動子６の位置を求める第３工程と、を備える。 （もっと読む）

渦電流距離センサ（１１）のコアに取り付けられたコイル（１６）における誘導性の調整は、コイル（１６）が、プラスティックのコイル形成具（１５）の巻き付け用支持具（１７）とそのフランジ（１８−１９）との間における、物理的に予め定められた空間を充填し、並びに、後側の小さいフランジ（１８）を覆うよう配置された、強磁性材料から構成されたポット（２０）の壁部（２１）およびその端面（２１）が、ポット（２０）と同一の直径を有する前側の大きいフランジ（１９）の環状の領域に対してもたれる、という場合に避けられ得る。巻き付け用支持具（１７）において同軸的に係合する強磁性コイルのコア（３１）は、従って、ポット（２０）における基部（２４）上に配置されることができ、従って、ポット（２０）の一部として取り付けられることができる。
（もっと読む）

【課題】直線的に変位する検出対象物体の動作パターンに関わらず当該検出対象物体の位置検出が可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、巻軸方向が所定の直線方向となるように配置される検出コイル２１と、検出コイル２１の筒内への挿入量が変化するように検出対象物体の変位に応じて上記巻軸方向に移動自在に配置される導電性筒体３１と、導電性筒体３１の変位に応じた検出コイル２１のインダクタンス変化に基づいて検出対象物体の変位に比例した位置信号を出力する制御基板４とを備えている。 （もっと読む）