【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの全長を延長できることを課題とする。
【解決手段】 ステージ装置１０は、金属部材を組み合わせた架台１２と、架台１２上に支持された平板状の吸着板１４と、吸着板１４の両側に平行に配置された一対のガイドレール１６と、ガイドレール１６に沿って移動する移動体１８と、移動体１６の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０とを有する。ガイドレール１６は、石材を加工した四角柱形状の第１ガイドレール部品１６ａと第２ガイドレール部品１６ｂとを結合させた構成であり、ガイドレール部品１６ａ，１６ｂは、夫々全長が石材加工機により加工可能な６ｍ程度に加工されている。よって、ガイドレール１６の全長は、複数のガイドレール部品１６ａ，１６ｂを結合することにより、延長することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 電子回路によるサーボ手段を用いないでヨーイングを抑制できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】 スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御するＸＹステージにおいて、 前記スライダ部に搭載されたジャイロ手段を備える。前記ジャイロ手段は回転軸がＸ軸方向又はＹ軸方向に平行に配置され、前記スライダ部のＸ軸方向又はＹ軸方向のヨーイングを抑制することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールに非接触でガイドされるスライダの静圧軸受けパッドを削減することを課題とする。
【解決手段】 ステージスライダ機構２９のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。ガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄは、スライダ１８をガイドする一対のガイド面として機能しており、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向するスライダ１８の傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられている。３個の静圧軸受けパッド３２〜３４によりスライダ１８を浮上させて低摩擦で移動可能に支持する構成であり、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を半分以下に減らすことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの加工及び位置調整を容易に行えることを課題とする。
【解決手段】 ステージガイド機構２８のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。調整機構３６は、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧する一対の調整ブロック５０,５１と、調整ブロック５０をベース１４の上面（水平面）に固定する固定用ボルト５２と、調整ブロック５０を側方から押圧して取付位置を調整する調整ねじ５４と、調整ブロック５０,５１に螺入され調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する締結ボルト５６とを有する。調整機構３６により、ステージ装置１０を設置した後にガイドレール３０の歪みがなくなるように調整することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部のピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸モータ及びＹ軸モータによりスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部のＸ方向ピッチング角を検出する第１のＺ軸センサと、
前記スライダ部のＹ方向ローリング角を検出する第２のＺ軸センサと、
前記第１及び第２のＺ軸センサの測定値に基づき、前記Ｘ軸モータ又はＹ軸モータの少なくともいずれかの励磁電流にこれと位相が直交する電流を重畳させる直交電流生成手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】 安価で耐環境性に優れたＸＹ位置検出器で構成でき、ＸＹスライダの可動範囲に制約を受けず複数台のＸＹスライダを駆動できるＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って格子状に形成されたプラテン１００と、プラテン１００とギャップを介して対向配置されたＸＹスライダ１と、ＸＹスライダ１をＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、より構成されるＸＹ位置決め装置において、プラテン１００上に配置され、Ｘ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケール１０４と、ＸＹスライダ１に配置され、ＸＹスケール１０４の目盛を検出するＸＹ位置検出器８とよりなる平面エンコーダを備え、ＸＹ位置検出器より得られたＸ軸位置とＹ軸位置の位置情報をもとにＸＹスライダの位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

試料台（６）を基体部（４）に対して動かすための位置決め部材（２）が記載されている。位置決め部材は、駆動軸に沿って膨張及び収縮するように配置された圧電素子によって駆動されており、圧電素子は、基体部に取り付けられた入力端と、圧電素子の駆動軸から離間するように反対方向に延在する第１の出力レバー（１４）及び第２の出力レバー（１６）とを備えている。それぞれの出力レバーは、圧電素子が膨張するときに圧電素子によって作用されるように配置された内側アーム部と、試料台が台支持部（２６，２８）を介して取り付けられた出力アーム部とを備えている。出力レバーは、圧電素子が出力レバーの内側アーム部に作用し、外側アーム部を、駆動軸を含む平面内で動かすように取り付けられている。出力レバーのこの動きは、台支持部を介して試料台に伝導し、試料台を基体部に対して駆動軸に平行な方向に沿って動かす。
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多軸圧電位置決め装置（１６、３６、５６、１１６）について述べる。位置決め装置には、面内で可動部（２２、６２、１２２）を基準にして移動し得る固定部（２０、６０、１２０）が含まれる。可動部には、面内において膨張及び収縮し得るように構成された圧電素子（２４、６４Ａ−Ｄ、６６Ａ−Ｄ、１２４）が含まれる。可動部は、対応する第１、第２及び第３の解放可能なクランプ機構（２８Ａ−Ｃ、３４Ａ−Ｃ、６３Ａ−Ｄ、１２８Ａ−Ｃ）によって、第１、第２及び第３位置における固定部を基準にした所定の位置において選択的にクランプし得る。可動部は、従って、圧電素子が膨張又は収縮する間、解放可能なクランプ機構の幾つかを選択的に作動することによって、固定部に相対的に面内で移動し得る。これによって、平行機構多軸圧電位置決め装置が提供される。三軸位置決め装置を規定する面に対し垂直な方向に沿って配置し得る支持体を備えてよい。
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【課題】リニア駆動方式の精密位置決めシステムで、リニアステージに搭載する装置の大きさや取付け位置を変更しても高性能を安定して実現することを目的としている。
【解決手段】リニアステージに搭載するワークの取付け位置と質量に応じて、リニアモータのマグネットヨーク取付け位置を移動方向に対して直角方向にスライド調整して固定することでヨーイングを抑え、可動部に垂直方向にスライドして固定できる釣合い錘を取付けることでピッチングを抑え、両方を調整することで可動部に搭載するワークが変わっても推力位置と重心位置を常に一致させることができる構造とした。 （もっと読む）