【課題】圧力抵抗性が高く、構造が簡単であり、位置決めの精度が高く、使用の安全性が高く、操作性が優れる。
【解決手段】一つのプラットホーム装置と、三つ以上の駆動装置と、三つ以上の変位装置と、三つ以上の変位軸受プラットホームとを含む超高正方向負荷用位置合せ装置において、前記プラットホーム装置には、台座と、作動プラットホームとが設けてあり、前記駆動装置は、前記台座の隅に設けられ、モータと、ねじ軸と、接合具とを有し、前記変位装置は、前記台座に設けられ、前記駆動装置と連接しており、合せ具と、第一リニアガイドウェー装置と、第二リニアガイドウェー装置と、軸受具とを有し、前記変位軸受プラットホームは、前記台座の前記駆動装置に近接する箇所に位置し、一端が前記作動プラットホームを支えることを特徴とする、超高正方向負荷用位置合せ装置。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ作業が簡単で測定機の計測用基台に対する試料載置台の位置が低く機構が簡単で価格が低廉な可動テーブルを提供する。
【解決手段】可動テーブル１０は磁石１２の磁力で不図示の計測用基台に固定される。固定前の位置合わせのときは、指で二つの操作レバー１８がつままれ、開放位置Ｆから移動位置Ｍへ回動される。操作レバー１８に一体なシャフト部２１が回転し、シャフト部２１に形成されているカム部２２が逃げ部２４から下方に回動してその先端が計測用基台の面を押しやり相対的に天板１１を計測用基台から浮き上がらせる。指で二つの操作レバー１８をつまんだまま天板１１を所望の方向へ移動させて位置決めし、指を離すと磁石１２の磁力で天板１１が計測用基台の面に密着して固定される。 （もっと読む）

【課題】 ２軸で構成される平面内の任意の位置に、０．１ｎｍ以下の精度でステージを高速に位置決めするときに、X軸及びY軸方向の推力によってステージがθ軸周りの回転モーメントを作用させない機構を備えた位置決め機構を提供する。
【解決手段】 推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介してＸ軸方向に伝達する第１のアクチュエータ３と、同じく推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に伝達する第２のアクチュエータ４とをベース２の同一平面内に取り付けると共に、これら第１のアクチュエータ３の推力伝達部１３ｘと、第２のアクチュエータ４の推力伝達部１３ｙとに平行リンク構造をなす第１のリンク機構６及び第２のリンク機構７を介して移動体となるステージ５を連結した構成である。また、ステージ５は、弾性支持機構となる弾性バネ機構８ａ等を介してベース２に浮動状態で支持している。 （もっと読む）

【課題】低姿勢・低重心を実現することができるステージ装置、及びこれを備える半導体検査装置を提供する。
【解決手段】
ステージ装置１は、開口部３ａを有する定盤３と、該定盤３の開口部３ａに設けられるＹ軸シャフトモータ５と、該Ｙ軸シャフトモータ５と平行に設けられる２つのＹ軸ガイドレール１２Ａと、該Ｙ軸ガイドレール１２Ａに案内されながらＹ軸シャフトモータ５の駆動により定盤３に対して可動であり、凹部４ｂを有するＹ軸ステージ４と、該Ｙ軸ステージ４の側部に設けられるＸ軸シャフトモータ６と、該Ｘ軸シャフトモータ６と平行に設けられる２つのＸ軸ガイドレール１５Ａと、該Ｘ軸ガイドレール１５Ａに案内されながらＸ軸シャフトモータ６の駆動によりＹ軸ステージ４に対して可動に設けられたＸ軸ステージ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部分が軽量化されており、かつ、可動子にエアパッドを用いないＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸＹ座標軸で定義されたＸＹ平面内の位置決めに用いるＸＹ位置決め装置において、Ｎ極を上方向とした永久磁石１２ＢおよびＳ極を上方向とした永久磁石１２Ｃを、少なくとも位置決めが必要な領域について、ＸＹ平面方向に磁極の方向が交互となるように敷き詰めてなるステータ１２と、Ｘ軸方向の列およびＹ軸方向の列それぞれに３個以上の同数のコイル１８Ａが均等に配置されて、コイル１８Ａが正方格子状に配置されており、ステータ１２に対して平行方向に相対的に移動することができる可動子１８と、可動子１８をステータ１２に対して所定の間隔をもってＸＹ平面方向に移動可能に支持するガイド機構１４、１６と、を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】加減速時のスライダの加速度を大きくすることができる粗微動装置を実現する。
【解決手段】粗動スライダと微動スライダを有し、位置司令部からの位置指令値に基づいてそれぞれのスライダを位置制御する粗微動装置において、前記微動スライダが使用すべき位置指令値を複数の位置指令値の中から選択する切り替え手段を備える。 （もっと読む）

【課題】レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上を図ることのできるチルトステージを提供する。
【解決手段】ベースとなる基台と、基台に対し支点部を介して組み付けられた傾斜台と、基台と傾斜台を近接させる方向に付勢する付勢部材と、基台に対する傾斜台の角度を調整する調整ネジと、を有するチルトステージにおいて、基台と傾斜台の調整後の位置関係を固定する固定部を設けたチルトステージとする。 （もっと読む）

【課題】 ステージの駆動機構をシンプルな構成とする。
【解決手段】 ベース１５上の一端縁部寄り位置に、Ｘ方向スライドバー１６を設ける。Ｘ方向スライドバー１６に、摩擦駆動機構１８を備えたＸステージ１７を取り付ける。Ｘステージ１７のベース中央寄り端部に、Ｙ方向スライドバー１９の一端部を取り付ける。
Ｙ方向スライドバー１９に、摩擦駆動機構２１を備えたＹステージ２０を取り付けて、ＸＹステージ装置を形成する。Ｘステージ１７は、摩擦駆動機構１８によりＸ方向スライドバー１６に沿って駆動させ、Ｙステージ２０は、摩擦駆動機構２１によりＹ方向スライドバー１９に沿って駆動させる。 （もっと読む）

【課題】
位置検出センサの出力信号の減衰を懸念することなく当該位置検出センサとコントローラを接続することが可能であり、コントローラの小型化に資することが可能な位置検出機能付きアクチュエータを提供する。
【解決手段】
位置検出センサとコントローラとを接続する信号ケーブルとして湾曲自在なフレキシブルプリント基板を用い、かかる信号ケーブルは、前記Ｘ方向センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動余裕部とから構成されており、前記信号ケーブルの固定配設部には、前記Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータを実装した。 （もっと読む）

【課題】患者配置システム用の単純及びコンパクトで信頼性、実用性及び費用効率の高い駆動システムを提供する。
【解決手段】支持テーブルを第一の方向に移動させるように構成されている第一の駆動アセンブリ（８０５）と、支持テーブルを第二の方向に移動させるように構成されている第二の駆動アセンブリ（８１０）と、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び第二の駆動アセンブリ（８１０）に結合されている駆動モータ（８１５）とを含むテーブル駆動システム（８００）を提供する。駆動モータ（８１５）は、第一の駆動アセンブリ（８０５）及び前記第二の駆動アセンブリ（８１０）を駆動するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 平行配置されたリニアガイド間の不平行性を吸収する機能を備える位置決めステージを実現する。
【解決手段】 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備える。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】推力発生時におけるスライダの傾きを防止できる平面モータを提供する。
【解決手段】コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＸ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＹ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。 （もっと読む）

【課題】 連続配置された２個のプラテン夫々に適正な補正信号を切り替えて出力すると共に、プラテン接続部近傍の補正信号を適正値に計算して出力可能なＸＹステージを実現する。
【解決手段】 互いに一辺を接して同一面に連続配置された第１のプラテン及び第２のプラテンと、
これらプラテン上でＸ軸モータ及びＹ軸モータへ供給する交流信号によりＸ軸方向又はＹ軸方向に移動制御されるスライダと、
前記スライダが前記第１のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第１の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第１のリップル抑制手段と、
前記スライダが前記第２のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第２の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第２のリップル抑制手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】高速で走査を行っても振動の発生の少ない小型で軽量な駆動ステージと、該駆動ステージを有し、高速に鮮明な像を取得できるＳＰＭや、高速に情報の記録再生を行っても振動によるエラーの生じにくい情報記録再生装置や、高速に加工を行っても精度の低下しない加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体と、前記支持体に支持された少なくとも２つ以上の複数の可動部と、前記複数の可動部を駆動する１つ以上のアクチュエータからなる駆動ステージにおいて、
前記アクチュエータの駆動時に、前記複数のそれぞれの可動部の生じる慣性力が互いに相殺する方向に駆動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 電磁継手の力のよって生じる天板の変形を抑える。
【解決手段】 本発明の位置決め装置は、位置決め対象物を搭載する第１ステージ２０２と、第１ステージを搭載して移動する第２ステージ２０６と、第２ステージに対して第１ステージを駆動するアクチュエータ２０４とを備える。また、第１ステージが中空構造となっており、アクチュエータ２０４の発生する力の方向及びそれと直交する方向に沿った断面が四角形で第１ステージの側板を構成する第１リブ２１３と、第１リブに対し角度をなして接合された断面がひし形の第２リブ２１１とを備える。さらに、第１ステージは、さらに、アクチュエータ２０４の発生する力の方向に略平行で、該力のかかる箇所を通る第３リブ２１２を前記中空内部に備える。 （もっと読む）

【課題】移動体計測用干渉計の測定精度を向上させること。
【解決手段】ステージ装置１０１は、ステージ１０の位置又は姿勢を計測するＸ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３と、Ｘ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３のレーザビームの波長変化を補償する波長補償器１と、温度制御された気体を供給する温調器１２に接続され、Ｘ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｘ、１４ｙと、温調器１２に接続され、波長補償器１に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｃと、を備える。前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 （もっと読む）

【課題】回動自在にテーブル上に載置された被載置物の回転方向の位置決めを精度良く行うことができる回動位置決め装置を提供する。
【解決手段】本発明の回動位置決め装置Ａは、被載置物ｂを載置すると共に、回動自在に支持するテーブル１と、このテーブル１の側方に設けられた側方部材２と、この側方部材２に当接し、テーブル１を回動させる回動部材３と、この回動部材３の端部に側方部材２を押し付けるように付勢する付勢手段４とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。
【解決手段】 一の方向に移動自在な第１の移動体と、前記第１の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第２の移動体と、を備えたステージにおいて、
前記第１の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第１の超音波モータと、前記第２の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第２の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）