【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】可動部材の移動によって発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムに発生する振動を低減し得る、移送システム及びそれを備えたアレイテスト装置を提供しようとする。
【解決手段】本発明は、目的物を所定位置に移送させる移送システムに関するもので、目的物を移動させる可動部材の移動から発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムの振動を低減し得る構成を提供する。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成かつ小型化を実現し、オペレータの手作業による位置決め調整を容易にする。
【解決手段】ステージ装置１は、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０が積層して構成される。回転方向の位置決めは、Ｙベース２０のスタンドピン２９を用いて、回転用調整器具１００により行う。Ｙ方向の位置決めは、Ｙベース２０のＹカムフォロア（ナット）２３及びＸベース３０のＹカムフォロア３２を用いて、Ｙ軸調整器具２００によりＹカムフォロア３２をＹガイド穴３３内に移動させることで行う。Ｘ方向の位置決めは、Ｘベース３０のＸカムフォロア（ナット）３４及びＺ／チルトベース４０のＸカムフォロア４２を用いて、Ｘ軸調整器具３００によりＸカムフォロア４２をＸガイド穴４３内に移動させることで行う。Ｚ／チルト方向の位置決めは、Ｚ／チルトベース４０のＺ／チルト調整ネジ４５により行う。 （もっと読む）

【課題】位置決め機構により二次元平面内で位置決めされる位置決め対象物の、装置内での可動範囲を拡張できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】墨出し装置１０（位置決め装置）は、スタンプ部１４（位置決め対象物）をｘ´−ｙ´平面（二次元平面）内で位置決めするｘ−ｙ調整機構３０と、ｘ−ｙ調整機構３０を、ｘ´−ｙ´平面と直交する回転支軸４２の周りに回転させる回転角調整機構４０と、を備えることを特徴とする。この墨出し装置１０において、回転支軸４２は、ｘ´−ｙ´平面の中心からずれて配されている。 （もっと読む）

【課題】モータの発熱による位置決め精度の低下をより効果的に抑制することができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】ベース２上に設けられたモータ３と、モータ３によって回転されるねじ軸４と、複数のボールを介してねじ軸４に連結され、ねじ軸の回転によってベース２上を移動可能なステージ５と、を備える位置決め装置１において、モータケースに取り付けられ、装置１全体の温度を略均一にすべくモータ３の温度を調節可能な伝熱素子を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的軽量で、加速度を受けても変形が少ない搬送部材を提供する。
【解決手段】対象物を搬送するための搬送用部材であって、前記対象物が載置される一方主面１２Ａを備える、セラミックスを主成分とする板状部１２と、該板状部１２の他方主面に接合された、前記板状部１２と略同一のヤング率を有する肋材部１４と、前記板状部１２の前記他方主面１２Ｂと前記肋材部１４とを接合する接合層とを有しており、該接合層の厚さをＴ、前記接合層のヤング率をＹ１、前記板状部１２および前記肋材部１４のヤング率をＹ２としたとき、Ｙ１≦Ｙ２であり、下記式（１）で表すαが、０＜α≦１．１６を満たすことを特徴とする搬送用部材を提供する。
（もっと読む）

【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置決めを高精度に実行することができる位置決め装置の設計方法、位置決め装置の製造方法、位置決め装置、及び露光装置を提供する。
【解決手段】第１方向に移動可能なＸステージ１００と、結合部により該Ｘステージ１００に結合され、該Ｘステージ１００に対して第２方向に移動可能なＹステージ２００と、Ｘステージ１００を第１方向に移動させるモータ（不図示）と、を備える位置決め装置において、モータ（不図示）がＸステージ１００を移動させる力と、第１方向における該Ｙステージ２００の位置と、の関係を表す伝達関数に基づく、剛体モードと、１次共振と、２次共振と、の関係に基づいて、位置決め装置のＸステージ１００及びＹステージ２００の少なくとも一方の作製上の諸元が定められる。 （もっと読む）

【課題】電磁石ターゲットを挟むように電磁石および永久磁石を設けた構成において、支持する浮上体の重量が変化した場合にも、所望の磁気軸受特性を維持することが可能な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このスラスト磁気軸受装置１００（磁気軸受装置）は、浮上体１１０に取り付けられ、磁性材からなる電磁石ターゲット１と、上側磁極部２１と励磁コイル２２とを含み、電磁石ターゲット１に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により支持するスラスト電磁石２と、電磁石ターゲット１のスラスト電磁石２とは反対側の部分に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により吸引する永久磁石３１を含むスラスト磁極３とを備え、電磁石ターゲット１とスラスト磁極３との距離を調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】全体形状がコンパクトな構成であり、各種の機能を選択して追加することが可能な多機能円盤アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能円盤アリ溝ステージ１は、締結具により土台に固定され、一方向に摺動する第１送りねじ式アリ溝ステージ２と、第１送りねじ式アリ溝ステージ２に対して交差する方向に摺動する第２送りねじ式アリ溝ステージ３と、精密機器が取付けられる回転摺動ステージ４と、を備え、第１送りねじ式アリ溝ステージ２、第２送りねじ式アリ溝ステージ３、及び回転摺動ステージ４は、それぞれ円盤状の外形を有して上下方向に積層される。 （もっと読む）

【課題】テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な２軸直交案内装置、３軸直交案内装置、３軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供する。
【解決手段】一対の第１移動体１０ａ、１０ｂと、互いに直交する２軸を想定した場合に、該２軸のうちの第１の軸方向に一対の第１移動体１０ａ、１０ｂをそれぞれ独立して移動自在に案内する第１案内機構と、第２移動体２０と、該第２移動体２０を支持し、一対の第１移動体１０ａ、１０ｂにおける第１の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第２移動体２０における２軸のうちの第２の軸方向の運動に変換し、第２移動体２０を第２の軸方向に沿って移動自在に案内する第２案内機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージのテーブルを所定位置にミクロン単位で移動させた際、テーブルが傾斜してしまうことを精度高く抑制することができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０１に対し、テーブル１０２を、水平方向或いは揺動方向或いは鉛直方向に摺動組み付けする位置決めステージにあって、固定ベース体１０１とテーブル１０２とをクロスローラガイド機構を介して摺動組み付けし、テーブル１０２側のクロスローラガイド機構のローラレース１０９に対向する固定ベース体１０１面に磁石１０５を配した構成で、テーブル１０２を所定位置に移動させた状態で固定ベース体１０１とテーブル１０２とを磁石１０５相互磁着させることによりテーブル１０２の静止状態を確実に維持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、両端部にハンドル８との連結部を有する雄ネジ棒７と、固定部品２の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒７を回転自在に保持する第１支持台９及び第２支持台１０と、連結部を介して雄ネジ棒７と着脱自在に連結して雄ネジ棒７を回転させるハンドル８と、を備え、摺動部品３は、固定部品２と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。 （もっと読む）

【課題】真空容器への適用が可能で、設計自由度及び設置の自由度が高く、メンテナンス性の良い２軸ステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る２軸ステージ装置は、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブル４と、Ｙテーブル４上に載置された中間テーブル１５と、中間テーブル１５上に載置され、該中間テーブル１５上に設けられたＸ方向ガイド１１によってＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸテーブル９を有している。Ｙ送りねじ５はＹモータ２の回転をＹ軸方向への直線運動に変換し、Ｙテーブル４をＹ軸方向に移動させる。一方、ボールスプライン軸１４はＸモータ７によりＹ軸方向を回転中心として回転する。スプラインナット１４１には歯車１３が固定されており、この歯車１３とＸテーブル９に固定されたラック１２によってボールスプライン軸１４の回転がＸ軸方向への直線運動に変換され、Ｘテーブル９をＸ軸方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の上面に配置された複数個の球体１２、上側の開口の直径が球体の直径よりも小さく、かつ下側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔１３を備え、そして各保持孔に上記球体を収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板１６を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板が、支持板とテーブル板との間に配置された上記球体と同径の球体２２を回転可能に収容している球体収容孔２３を更に備え、この収容孔の上側の開口２４ａの直径が球体の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口２４ｂの縁部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】小さな倣い力で高精度の倣いを実現できる倣い機構を安価に提供する。
【解決手段】この発明による倣い機構は、摺動保持部２２と摺動部２１を備えて２次元に摺動可能なスライダ機構２の下面中心から下方に突出する中空の吸排気部３を設け、この吸排気部３に吸着した倣い対象物７を倣い基準物１０に押し当て、倣い対象物７と倣い基準物１０の接点Ｃ１と、吸排気部３と倣い対象物７の接点が共に摺動しないように吸排気部３の吸排気エアの流量を制御して倣い対象物７を倣い基準物１０に倣わせるものである。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の上面に配置された複数個の球体１２、１２〜、上下に開口し且つ上側の開口１４ａの直径が球体の直径よりも小さな値に設定された複数個の透孔１３、１３、〜を備え、そして各透孔に上記球体を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板１６を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板の複数個の透孔のうちの少なくとも一個の透孔１３ａの下側の開口１４ｂの縁部の少なくとも一部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供する。
【解決手段】手動ステージ２００のベース板２０６を支持する支持板５と、球状の球体８とを有する屈析部２と、球体８を側方から屈析自在に保持する球体保持部９と、球体８と共に回転する回転板とを有する回転部３と、球体８を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛２１が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部１１と、土台に固定されるベース部１５とを有する台座部４と、を備える。 （もっと読む）