【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。ステージ３０は、Ｙ方向に移動するＹステージ３６と、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動するＸステージ３８とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。そのため、一対のθリニアモータ７４は、コイルユニット７８に通電することによりピボット軸８０を中心とする偶力を発生させてθテーブル４０を側面からθｚ方向に回動させる。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】ロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置と、これを採用した情報保存機器を提供する。
【解決手段】Ｘ−Ｙステージと、Ｘ−Ｙステージを弾性支持し、Ｘ−Ｙステージのコーナーを支持する弾性ビームを具備する支持部とＸ−Ｙステージを第１方向と、第１方向と直交する第２方向とに駆動する駆動部と、Ｘ−Ｙステージの回転を阻止するスティフナと、スティフナを静電気力で固定するロッキング装置とを具備することを特徴とするロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置である。 （もっと読む）

【課題】自動的にスライダの回動状態を検出し、回動状態を所定の基準に対して自動的に修正復帰できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテンにスライダが配置されたＸＹステージにおいて、前記プラテンの一方の側面に設けられた補助台と、この補助台に設けられ前記プラテンの一方の側面に沿ってこの補助台を摺動するあるいは所定位置に固定される取り付け台と、この取り付け台と前記スライダとに設けられ前記スライダの回動を検出する回動検出手段と、前記スライダに設けられこの回転検出手段の信号に基づき前記スライダの回動を復帰させるスライダ回動復帰手段とを具備したことを特徴とするＸＹステージ。 （もっと読む）

【課題】移動テーブルがベースの上を移動する際、移動テーブルを移動させる際の摩擦の低減化を図ったＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＳは、ベース１と、このベース１に対向して設けられ、移動する移動テーブル５と、この移動テーブル５を移動テーブル５のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段３と、移動テーブル５を移動テーブル５のＹ軸方向に移動させる第２の移動手段４と、前記Ｙ軸方向は前記Ｘ軸方向に対して直交する方向であり、移動テーブル５のベース１に面する側には、移動テーブル５がベース１の上を移動する際、移動テーブル５とベース１との摩擦を軽減する摩擦軽減手段６が設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、減衰が大きく、かつばね定数を広範囲にかつ容易に設定できるダンパ機構を備えた高精度な位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】位置決めテーブルは、外周面にねじ溝１３ａを有するボールねじ軸１３と、ねじ溝１３ａに配置されたボール１４と、ボール１４を介してボールねじ軸１３に対して相対的に回転および直線運動するボールねじナット１２と、そのボールねじナット１２が取り付けられたテーブル可動部１１と、ダンパ機構とを有している。ダンパ機構は、素線１ａを網状に編成した弾性体１と、その弾性体１に組み合わされたおもり２とを有している。 （もっと読む）

【課題】長ストロークで高い応答性の微動動作が可能であるとともに圧電アクチュエータの破損を防止することができる回転機構付軸方向微動機構を提供する。
【解決手段】粗動機構は、基台に回転可能に支持されたねじ軸と、ねじ軸に螺合し、移動台に固定されたナットとを有し、ねじ軸の回転により移動台を基台に対して軸方向に移動させる。回転機構付軸方向微動機構は、対向配置して予圧を付与した２つの転がり軸受装置と、基台に固定され、転がり軸受装置のそれぞれの外輪が嵌合するハウジングと、伸縮方向に対して直列に配置した２つの圧電アクチュエータとを有し、転がり軸受装置のそれぞれの内輪をねじ軸に嵌合させ、内輪をねじ軸に軸方向に固定し、外輪の一方を軸方向に拘束し、外輪間の軸方向の距離を複数の圧電アクチュエータの伸縮により変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。
【解決手段】 ミラーを搭載したスライダ部をプラテン上で２次元的に位置決め制御するＸＹステージにおいて、
前記プラテンの一辺に沿って移動するマザーステージと、
前記プラテンの所定位置を基準点とした前記マザーステージの位置である第１位置を計測する計測手段と、
このマザーステージに搭載され、前記スライダ部のミラーに照射したレーザ光の反射光を受光し、前記マザーステージを基準点とした前記スライダ部の位置である第２位置を計測するレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】重い定盤を使用することなく、平面ステージ表面を高い精度で平面に保つことができ、装置重量が軽く、かつ製作コストも安い平面ステージ装置を提供すること。
【解決手段】ワークを載置する平面板１を支持部材１０で３ヵ所以上で支持する。また、この平面板１をＸＹ軸方向に移動させる駆動機構を設ける。上記支持部材１０は、平面板１と対向して配置されるエアベアリングを備え、該支持部材１０により上記平面板１を浮上させるとともに、平面板１を、該平面板１の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させる。そして、平面板の変位状態を、選択された変位状態に保持させ、上記平面板のワークが載置される面を水平かつ平面に保つ。 （もっと読む）

【課題】本発明はステージ駆動時の反力を受けた駆動手段の支持部を介してステージに伝達されることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ガントリ部を移動させるガントリ移動型ステージであり、コンクリート製の床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された石定盤１４と、石定盤１４上に支持されたワーク載置台１６と、ワーク載置台１６の上方を跨ぐように横架されたＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０と、リニアモータ２０が受ける反力を緩衝する緩衝部材５０とを有する。リニアモータ２０の駆動力によりＹステージ１８をＹ方向に移動させる際に発生する反力は、緩衝部材５０に吸収されると共に、リニアモータ支持部４６を介してコンクリート床面に伝達される。 （もっと読む）

【課題】 レーザ干渉計自身に初期位置回転の検出機能を持たせ、スライダ部の回転方向及び回転角度を自動的に検出することを可能とするＸＹステージを実現する。
【解決手段】 レーザ干渉計とこのレーザ干渉計の照射ビームを反射するバーミラーを有し、スライダ部の移動に応じて前記レーザ干渉計と前記バーミラーが相対的に移動し、前記レーザ干渉計により位置が検出される前記スライダ部をプラテン上で２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーの反射ビームを検出し、検出した反射ビームから前記スライダ部の回転を検出する回転検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 バーミラーのサイズに制限を受けることなく、複数のスライダ部を同一プラテン上の任意位置に位置制御できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、
前記プラテンの四辺の少なくとも二辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）

一実施例によれば、線形平行移動ステージが提供される。前記線形平行移動ステージは、互いに対する相対平行移動のために構成された第１の部分（例えば、基盤部分）および第２の部分（例えば、ステージ部分）を含む。前記第１の部分または前記第２の部分のうちの一方は、それに関連するコイルを有し、前記第１の部分または前記第２の部分のうちのもう一方はそれに関連する磁気源を有する。前記磁気源は、電流が前記コイルを介して前記コイルに与える力を発生させ、それによって前記第２の部分に関連して前記第１の部分を平行移動させるように、一般的に前記コイルを包含する磁場を生成するために１つ以上の磁石を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】 原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で２個のスライダ部を夫々２次元方向に位置制御するにＸＹステージにおいて、
前記四辺形の対角点位置又は一辺の両端位置に、前記スライダ部の夫々に対応する原点位置検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】可動部の温度を高精度に制御し得る駆動ステージ装置を提供する。
【解決手段】駆動ステージ装置１は、ベースプレート２と、ベースプレート２の上面を移動するステージ３と、ステージ３を駆動する駆動部４と、ベースプレート２及びステージ３の間で熱を移動させる伝熱手段５と、ステージ３を温度制御するための制御手段６とを備えている。制御手段６は、決定した使用温度範囲において熱輻射によって移動する熱を求めるための熱輻射関数に熱伝導関数が近似するように、実測に基づいて予め求めた熱伝導関数の比例係数を用いるため、この比例係数を含む熱伝導関数は熱輻射関数と近似されるものとなる。これにより、絶対温度の４乗に比例する熱輻射関数が温度に比例する熱伝導関数に置き換えられ、可動部の温度を高精度で制御することができる。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉除去パッドと可動体の当接面との隙間から摩耗粉が逃げ出して外部に摩耗粉が飛散するのを防ぐ超音波モータ用の案内装置を提供する。
【解決手段】楕円運動する振動体と、該振動体の楕円運動を伝達するための摩擦部材５６とを有する超音波モータ５００と、摩擦部材５６に当接する当接面６４ａを有し、摩擦部材５６と前記当接面６４ａとの摩擦駆動により移動可能に設けられた可動体６４と、超音波モータ５００を包囲し、可動体６４側に開口する筐体１とを含む案内装置において、前記可動体６４の当接面６４ａに摺接する摺接面２ａを備えるとともに、超音波モータ５００に対応する開口部を備えた封止体２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面精度を確保する面を最小にでき、駆動を精度良く行える位置決め装置を提供する。
【解決手段】不図示の駆動装置を駆動することによって、Ｘ軸ステージ５はＹ軸ステージ３に対して第１の方向に駆動されるが、この駆動力は、連結部材１０とテーブル９に伝達され、更に棒部材７を介してスライダ８に伝達される。このとき、連結部材１０は、第１の方向においては剛性が高いので、Ｘ軸ステージ５に対して遅れなくテーブル９とスライダ８が追従することができ、第１の方向において高精度な駆動を実現できる。 （もっと読む）

【課題】簡素且つコンパクトでありながら、ワークに与えられた外力を支持できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】所定値以上の外力が付与されたときに、板ばね９により弾性支持されたテーブル１０の下面が当接部１ａに当接するため、ステージ３，６、８のガイドには、比較的小さい板ばね９の弾性力のみが付与されるのみであり、ホルダＨから付与された外力のほとんどは、当接部１ａで支持されることから、ステージ３，６、８のガイドの容量を小さくでき、また力伝達経路中の部材の強度を低くできるので、位置決め装置の構成を簡素化しコンパクトにできる。 （もっと読む）

【課題】 格別に高度な加工を行わなくても部品同士のガタツキやバックラッシュを解消できるテーブル姿勢調整装置を提供すること。
【解決手段】 走行子１４の一面２７に雌ネジ部２８を形成して送りネジ１３を螺合すると共に、他方の面２９には送りネジ１３に螺合した雌ネジ部材３０を挿入するための貫通孔３１と固定手段３２（ネジ穴３２ａ，セットスクリュー３２ｂ）を設け、走行子１４の一方の面２７と雌ネジ部材３０とによって姿勢変化許容部１５（部分円弧部材４５，４５）と距離変化許容部１６を予圧した状態で雌ネジ部材３０を貫通孔３１に固定することで部品のガタツキを解消する。 （もっと読む）

【課題】精度向上と薄型化の両面を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２と、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づくように付勢する付勢手段３と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第１の部位２１に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第１の揺動手段４と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第２の部位２２に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第２の揺動手段５と、平面視で第１の部位２１、プレート２の揺動中心Ｏ、第２の部位２２がなす角度が９０度である。 （もっと読む）